半导体设备：招标迎来加速，国产份额提升.pdf

识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 / 21 Table_Page 跟踪分析 |机械设备 证券研究报告 Table_Title 广发机械“传道”系列之 五 半导体设备：招标 迎来加速，国产份额提升 Table_Summary 核心观点： 设备招标迎来向上拐点，需求景气有望持续 我们统计 了中国招标网披露的、 国内几条主要产线开建后主要设备的招标情况，受 外部环境 影响以及部分产线完成阶段性采购进入试产阶段， 18Q3-Q4 国内产线投资处于相对较低水平。但从 18 年底到 19 年初，国内晶圆厂设备招标重新进入集中期。其中长江存储开始新一轮集中招标，密集程度较上一轮明显提升，而诸如华虹宏力等新产线正在释放新的设备需求。 国产化进程加快，国产化率逐步提升 我们统计 了中国招标网披露的、 国内几条主要产线开建后主要设备的 中 标情况， 虽然在总中标数量方面 19Q1 中标数量不及 17Q4-18Q2 阶段，但国产设备商中标数量却创下新高， 19Q1 国产设备中标比例达到 10%左右，18 年平均水平在 5%左右。其中原因包括：国产设备经受验证受到认可；部分产线前期倾向海外设备，逐步采购国产设备；一些低工艺水平 的产线开始建设等。从几条产线中标情况看，华力集成国产设备中标比例 6%；长江存储自开建以来国产设备中标比例 5%，但 19Q1 中标比例达到 8%；华虹宏力国产设备中标比例达到 10%。 国产设备商渐入佳境，持续看好成长 性 目前国产设备商按照布局及参与深度，可以分为两类：（ 1）产品成熟度较高，实现国产替代，公司业绩开始有明显释放，这一类公司包括中微半导体、盛美半导体、北方华创等。（ 2）新产品推出，处在客户验证阶段，预计19 年将逐步迎来破局，这类公司包括精测电子、至纯科技、长川科技等。根据公司年报， 盛美半导体 2018 年公司实现营业收入 7464 万美元，同比增长 104.5%；实现归母净利润 657 万美元，上年同期为 -32 万美元。公司2018 年业绩释放明显，进一步聚焦大客户、在单一客户的收入规模和份额得到明显提升。未来客户扩产、份额提升、切入新客户、新产品打开更多市场是国产半导体厂商共同的发展之道。 国内 产业链相关标的 ： 北方华创 （ IC 高端装备企业 ） 、精测电子 （ 布局半导体检测设备的面板检测设备龙头 ） 、长川科技 （半导体 后道检测设备 企业） 、晶盛机电（ 单晶设备龙头， 与广发电新联合覆盖）和 盛美半导体 （ ACMR.O）（ 清洗设备企业 ） 、 至纯科技 （ 清洗设备企业 ） 等。 风险提示 ： 行业投资波动带来的收入不确定性；行业竞争加剧导致毛利率下滑；技术研发及国产化趋势推进不及预期；国家产业扶持政策变化或扶持力度不及预期；并购机会稀缺及并购后整合不确定性。 Table_Gr ade 行业评级 买入 前次评级 买入 报告日期 2019-04-09 Table_PicQuote 相对市场表现 Table_Author 分析师： 罗立波 SAC 执证号： S0260513050002 021-60750636 luolibogf 分析师： 许兴军 SAC 执证号： S0260514050002 021-60750532 xuxingjungf 分析师： 代川 SAC 执证号： S0260517080007 021-60750615 daichuangf 分析师： 刘芷君 SAC 执证号： S0260514030001 SFC CE No. BMW928 021-60750802 liuzhijungf 请注意，罗立波 ,许兴军 ,代川并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。 Table_DocReport 相关研究： 机械设备行业 :全球视野下的高端装备需求和竞争格局 2019-04-07 Table_Contacts 联系人： 周静 021-60750625 zhoujinggf -35%-28%-20%-12%-4%4%02/18 04/18 06/18 08/18 10/18 12/18机械设备 沪深 300识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 2 / 21 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备重点公司估值和财务分析表 股票简称 股票代码 评级 货币 股价 合理价值 （元 /股） EPS(元 ) PE(x) EV/EBITDA(x) ROE(%) 2019/4/8 2018E 2019E 2018E 2019E 2018E 2019E 2018E 2019E 精测电子 300567 买入 RMB 82.76 75.30 1.77 2.51 46.8 33.0 31.4 23.6 23.6% 25.1% 至纯科技 603690 买入 RMB 21.49 0.30 0.46 71.6 46.8 21.0 15.6 19.4% 38.9% 数据来源： Wind、广发证券发展研究中心 备注 ： 精测电子合理价值及盈利预测来自于 2019 年 2 月 17 发布的广发报告精测电子： OLED 和 AOI 推动公司业绩持续高增长 识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 3 / 21 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备目录索引 行业动态更新：设备招标迎来向上拐点 . 5 年初 以来设备招标进入新一轮集中期 . 5 多重因素叠加，设备需求有望持续高景气 . 6 公司动态更新：国产设备商渐入佳境 . 10 国产化进程加快，国产化率逐步提升 . 10 破局：步入高增长阶段，业绩释放明显 . 13 布局：期待新产品 /新业务逐步落成 . 16 国内产业链相关标的 . 18 风险提示 . 19 识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 4 / 21 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备图表索引 图 1： 几条产线开建后主要设备招标数量（台） . 5 图 2： 几条产线开建后主要设备招标条数（条） . 5 图 3：中芯国际净利润与产能利用率（右轴） . 6 图 4： 中芯国际单季度资本开支（千元） . 6 图 5： 中芯国际资本开支结构（万元） . 7 图 6：长江存储开建后主要设备招标数量（台） . 8 图 7：华力微开建后主要设备招标数量（台） . 8 图 8： 华虹半导体净利润与产能利用率（右轴） . 8 图 9： 华虹半导体资本开支（千美元） . 9 图 10： 几条产线开建后主要设备中标数量及国产中标情况（台） . 10 图 11： 长江存储、上海华力、华虹无锡国产设备中标情况（台） . 10 图 12：长江存储、华力二期及华虹宏力 各设备类别的主要中标商 . 12 图 13： 盛美半导体营业收入与发货额（千美元） . 13 图 14： 盛美半导体净利润与研发投入（百万美元） . 13 图 15： 盛美半导体来自主要客户的收入（万美元） . 14 图 16： 2018 年盛美半导体客户结构 . 14 图 17： 2017 年盛美半导体客户结构 . 14 图 18： 全球半导体清洗设备市场及盛美半导体产品覆盖空间（十亿美元） . 15 图 19： 精测电子部分半导体设备新产品 . 16 图 20： 长川科技部分半导体设备新产品 . 17 图 21：北方华创营业收入与归母净利润（百万元） . 18 图 22：精测电子营业收入与归母净利润（百万元） . 18 表 1：国内主要在建 /计划建设晶圆厂项目 . 9 表 2： 19Q1 以来长江存储、华力二期及华虹宏力招标中国产装备中标情况 . 11 表 3：长江存储、华力二期及华虹宏力招标中国产设备中标情况 . 11 表 4：盛美半导体主要客户未来清洗设备需求预测 . 15 识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 5 / 21 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备行业动态更新：设备招标迎来向上拐点 年初 以来设备招标进入新一轮集中期 我们统计 了中国招标网披露的、 国内几条主要产线开建后主要设备的招标情况，受外部环境 影响以及部分产线完成阶段性采购进入试产阶段， 18Q3-Q4国内产线投资处于相对较低水平。但从 18年底到 19年初，国内晶圆厂设备招标重新进入集中期。其中，长江存储开始新一轮集中招标，招标密集程度较上一轮明显提升，而诸如华虹宏力等新一批产线正在释放新的设备需求。 图 1： 几条产线开建后主要设备招标数量（台） 数据来源：中国招标网，广发证券发展研究中心 图 2： 几条产线开建后主要设备招标条数（条） 数据来源：中国招标网，广发证券发展研究中心 010020030040050060070016Q4 17Q1 17Q2 17Q3 17Q4 18Q1 18Q2 18Q3 18Q4 19Q1华虹宏力 华力集成 晋华集成 长江存储05010015020025030035016Q4 17Q1 17Q2 17Q3 17Q4 18Q1 18Q2 18Q3 18Q4 19Q1华虹宏力 华力集成 晋华集成 长江存储识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 6 / 21 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备多重因素叠加，设备需求有望持续高景气 19年国内半导体设备招标迎来向上拐点的推动因素： （ 1） 18年下半年全球半导体行业景气回落，下游需求减弱导致部分企业放缓资本开支，预计 19年随着景气逐步回暖，以及企业对先进制程的持续投入，资本开支将得到改善。以中芯国际为例，其净利润、产能利用率从 17年下半年开始处于相对低位，对应资本开始有明显放缓。 根据中芯国际公告， 2018年 公司 计划用于晶圆厂运作的资本开支为 23亿元，实际为 17.56亿元，完成计划的 76%。 图 3：中芯国际净利润 （左轴） 与产能利用率 （右轴） 数据来源：中芯国际公告，广发证券发展研究中心 图 4： 中芯国际单季度资本开支（千元） 数据来源：中芯国际公告，广发证券发展研究中心 中芯国际在上海建有一座 300mm晶圆厂和和一座 200mm晶圆厂；在北京建有一座75%80%85%90%95%100%-20,000020,00040,00060,00080,000100,000120,00016Q116Q216Q316Q417Q117Q217Q317Q418Q118Q218Q318Q4净利润（千美元） 产能利用率-100,000200,000300,000400,000500,000600,000700,000800,000900,00016Q1 16Q2 16Q3 16Q4 17Q1 17Q2 17Q3 17Q4 18Q1 18Q2 18Q3 18Q4识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 7 / 21 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备300mm晶圆厂和一座控股的 300mm先进制程晶圆厂；在天津和深圳各建有一座200mm晶圆厂 ； 在江阴有一座控股的 300mm凸块加工合资厂；在意大利有一座控股的 200mm晶圆厂。 根据中芯国际公司公告 ，其第一代 FinFET14nm技术进入客户验证阶段 ， 产品可靠度与良率进一步提升 。 同时 12nm工艺开发也取得突破。 根据公司公告 ， 2018年中芯国际用于晶圆厂运作的资本开支共 17.56亿元，主要投入于北京 300mm晶圆厂、天津 200mm晶圆厂以及上海 300mm晶圆厂的产能扩充、以及研究发展设备。公司计划 2019年用于晶圆厂运作的资本开支为 21亿元，较上年增加近 20%，主要用于上海 300mm晶圆厂的机械及设备以及用于 FinFET研发线 。 图 5： 中芯国际资本开支结构（万元） 数据来源：中芯国际公告，广发证券发展研究中心 （ 2）新建产线在完成初期的产能投资后，需要进行工艺验证，等到稳定量产后才会进行后续产能爬坡投资，代表性的包括长江存储、华力微、合肥晶合等。特别的，这些产线因为前期需要重点把控稳定量产能力，所以前期设备采购倾向于进口设备，国产设备可能同期进入产线验证。随着产线工艺水平达到稳定，在后续的产能爬坡阶段，国产设备将有更多的机会。 以合肥晶合为例 ， 根据集微网， 其一期项目（ N1）总投资约 128亿元，已于 2017 年 10 月底正式投产，预计月产能 12寸 晶圆 4 万片，二期项目（ N2）正在建设中。根据集微网，公司在 2018年积极导入国产设备，截止 2018年 4月，已评估 6 家国产化设备厂商，其中 1 家已进厂进行产品验证， 2 家已进厂装机中。从招标网信息看，合肥晶合在 17年 10月投产后招标项目较少，但 2018年 10月开始进入新一轮集中招标。 目前从中国招标网披露的信息看 ， 长江存储继 17Q4后 ， 在今年年初 开始 新一轮集中招标 ，招标密集程度较上一轮明显提升；而华力微在 17Q4-18Q1集中招标后 ， 目前招标信息较少 。 根据上海华力官网 ， 2018年 12月上海华力 28纳米低功耗工艺进入量产。 -50,000100,000150,000200,000250,000300,0002016年 2017年 2018年 2019E北京 300mm 天津 200mm 上海 300mm深圳 300mm 研究发展设备 其他晶圆厂运作非晶圆厂运作 总晶圆厂运作资本开支识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 8 / 21 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备图 6：长江存储开 建后主要设备招标数量（台） 图 7：华力微开建后主要设备招标数量（台） 数据来源：中国招标网，广发证券发展研究中心 数据来源：中国招标网，广发证券发展研究中心 （ 3）一批新的产线开始建设，将逐步进行招标，其中包括以华虹半导体为代表的国内优秀半导体公司，在 8寸晶圆厂代工领域业绩表现优秀，向 12寸代工领域发展，并且将逐步从较低工艺向先进制程发展，将为国产设备商带来更多机遇。华虹半导体是全球领先的 200mm纯晶圆代工厂 ， 得益于公司特色工艺平台， 2018年公司实现销售收入 9.30亿美元，同比增长 151%；实现净利润 1.86亿美元，同比早增长 27.8%。 图 8： 华虹半导体净利润 （左轴） 与产能利用率 （右轴） 数据来源：中芯国际公告，广发证券发展研究中心 根据公司公告 ， 华虹半导体在上海金桥和张江建有三座 200mm晶圆厂，月产能约17.4万片；公司正在无锡高新技术产业开发区内新建一条月产能 4万片的 300mm集成电路生产线，华虹无锡项目总投资 100亿美元，一期投资 25亿美元，于 2018年 4月开建，计划 19年上半年完成土建，下半年完成洁净厂房建设的设备安装通线。根据公司公告， 2018年华虹半导体资本开支 2.39亿美元，同比增长 75.7%；其中用于华虹无锡项目资本开支 1.14亿美元。 05010015020025030035040017Q2 17Q3 17Q4 18Q1 18Q2 18Q3 18Q4 19Q105010015020025030035090%92%94%96%98%100%102%104%010,00020,00030,00040,00050,00060,00016Q1 16Q2 16Q3 16Q4 17Q1 17Q2 17Q3 17Q4 18Q1 18Q2 18Q3 18Q4净利润（千美元） 产能利用率识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 9 / 21 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备图 9： 华虹半导体资本开支（千美元 ，左轴 ） 与增速（右轴） 数据来源：华虹半导体公告，广发证券发展研究中心 目前国内晶圆厂建设已经形成良好梯队 ：（ 1）长江存储、华力微等在 18年开始投产，后续设备需求将随着工艺成熟程度及产能爬坡逐步释放；（ 2）华虹宏力、士兰微 12寸线、紫光等于 18年下半年开工，多数将于 19年进行集中设备采购；（ 3）三星、 SK海力士、武汉新芯等扩产项目 18年陆续开工，合计投资金额 1240亿元，预期后续的设备采购将带来更多的设备需求；（ 4）规划项目多为二期项目，随着一期项目的建成投产，二期项目也将紧随其后，适时启动，有望持续带来更多的设备需求。 （资料来源于 中芯国际等公司官网，集微网，芯思想等 ） 表 1：国内主要在建 /计划建设晶圆厂项目 数据来源： 中芯国际 等公司官网，集微网 ， 芯思想等 ， 广发证券发展研究中心 -100%-50%0%50%100%150%200%250%300%010,00020,00030,00040,00050,00060,00070,00080,00090,000100,00016Q116Q216Q316Q417Q117Q217Q317Q418Q118Q218Q318Q4华虹宏力 华虹无锡 资本开支增速晶圆厂总投资（亿元）产能（千片 / 月）晶圆厂总投资（亿元）产能（千片 / 月）晶圆厂总投资（亿元）产能（千片 / 月）晶圆厂总投资（亿元）产能（千片 / 月）1 中芯南方 675 35 中芯国际（深圳） 66 40 华力二期 387 40 华润微电子 1002华虹半导体（无锡）一期165 40 合肥晶合（一期） 128 40 长江存储 1600 300 矽力杰半导体 180 403 紫光（南京）一期 700 100 联芯 400 50 合肥长鑫 470 125华虹半导体（无锡）（不包括一期5004 紫光（成都） 1600 300 士兰微 84 台积电（南京） 200 20紫光（南京）（不包括一期项目）1300 2005 福建晋华 370 60 四川广义微电子 英特尔半导体 360 30 厦门士兰集科三期 1006厦门士兰集科一二期70 80 上海新进芯 中芯（宁波） 万国半导体二期 30 507 万国半导体一期 30 20 英诺赛科 燕东微电子 48 508 粤芯半导体 70 40 三星 460 80 芯睿电子9 时代芯存 43 30 SK 海力士 570 200 中车时代10 积塔半导体 359 80 武汉新芯 110 13 世纪金光11 海辰半导体 68 126 中芯国际（天津） 100 15012 中芯国际（绍兴） 59 50 合计 1834 合计 3065 合计 221013 厦门士兰明 5014 双仪微电子 10 20合计 42692018 年开工 / 在建 产能爬坡/ 扩建 2018 年投产 规划序号识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 10 / 21 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备公司动态更新：国产设备商渐入佳境 国产化进程加快，国产化率逐步提升 我们统计了中国招标网披露的、国内几条主要产线开建后主要设备的中标情况， 虽然在总中标数量方面 19Q1中标数量不及 17Q4-18Q2阶段，但国产设备商中标数量却创下新高， 19Q1国产设备中标比例达到 10%左右， 18年平均水平在 5%左右。其中原因包括：国产设备经受验证受到认可；部分产线前期倾向海外设备，逐步采购国产设备；一些低工艺水平的产线开始建设等。从几条产线中标情况看，华力集成国产设备中标比例 6%；长江存储自开建以来国产设备中标比例 5%，但 19Q1中标比例达到 8%；华虹宏力国产设备中标比例达到 10%。 图 10： 几条产线开建后设备中标量 （左轴） 及国产中标情况 （右轴） （台） 数据来源：中国招标网，广发证券发展研究中心 图 11： 3条产线总中标数（左轴）及 国产设备中标情况 （右轴） （ 台 ） 数据来源：中国招标网，广发证券发展研究中心 05101520253035010020030040050016Q4 17Q1 17Q2 17Q3 17Q4 18Q1 18Q2 18Q3 18Q4 19Q1华虹宏力 华力集成 晋华集成长江存储 其中国产设备（右轴）0.0%2.0%4.0%6.0%8.0%10.0%12.0%01002003004005006007008009001000长江存储 华力集成 华虹宏力总中标数量 其中国产设备 国产设备占比