半导体设备：长期动能和局部机会兼具.pdf

识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 1 / 13 Table_Page 跟踪分析 |机械设备 证券研究报告 Table_Title 广发机械“传道”系列之二 半导体设备：长期动能和局部机会兼具 Table_Summary 核心观点： 长期动能：下游投资高峰开启，设备需求有望持续景气 根据我们的整理统计（截止 2019 年 2 月），目前国内新建 /扩建 /产能爬坡的晶圆厂（ 8 寸及 12 寸）共 35 座，其中有披露投资金额的合计总投资 9,168亿元；而计划建设的晶圆厂（包括二期项目）共 6 座，其中有披露投资数据的合计投资金额 2,210 亿元，预计未来几年国内半导体设备需求将持续保持高景气。我们根据中国招标网公布的部分本土晶圆厂设备中标情况，我们测算 2018 年国产设备比率不足 10%，仍处于非常低的水平，国产空间巨大。当前国内在政策、资金等多方面给予半导体行业大力支持，都为国产替代提供了良好的环境，而外部环境不确定性将进一步推动国产化进程。 机遇：国产装备逐步突围，期待新业务 /产品逐步落成 目前国产半导体装备已形成系列化布局，特别是包括中微半导体、盛美半 导体、北方华创等部分企业已经在细分领域具备一定占有率。一方面，半导体设备企业持续研发，或进行外延并购，在产品深度和广度方面不断拓展；另一方面，部分在其他领域已形成领先地位的优秀企业也正积极布局发展半导体设备业务，国内半导体设备行业正迎来良好成长机遇。 全球市场景气有所回落，期待下半年逐步回暖 根据 SEMI 发布的 2018 年年终总设备预测报告，预计 2018 年全球半导体设备销售额 621 亿美元，同比增长 9.7%；同时预计 2019 将收缩 4.0%，但 2020 年将增长 20.7%，市场有望经历短期调整后，在 2020 年重回高增长。短期看，下游景气回调造成部分晶圆厂建设进程有所放缓，使得设备需求增速下行；但另一方面，成熟消费电子增长压力下，设计商将更加积极的投入新芯片解决方案；而晶圆厂也将更加仰赖新产品、新应用、新市场，对于先进制程以及新兴市场的投入显得尤为重要 。 投资建议 ： 当前国内晶圆厂建设正处于高峰期，预计未来几年国内半导体设备需求将保持高景气。而国产设备企业经历前期布局，正逐步迎来破局。对于半导体设备行业个股而言，我们建议关注高端 IC 工艺装备龙头北方华创、积极布局半导体前道和后道检测设备的面板检测设备龙头精测电子、 后道检测设备领先的长川科技、单晶设备龙头晶盛机电（与广发电新联合覆盖）和清洗设备企业至纯科技等。 风险提示 ： 行业投资波动带来的收入不确定性；行业竞争加剧导致毛利率下滑；技术研发及国产化趋势推进不及预期；国家产业扶持政策变化或扶持力度不及预期；并购机会稀缺及并购后整合不确定性。 Table_Gr ade 行业评级 买入 前次评级 买入 报告日期 2019-03-06 Table_PicQuote 相对市场表现 Table_Author 分析师： 罗立波 SAC 执证号： S0260513050002 021-60750636 luolibogf 分析师： 许兴军 SAC 执证号： S0260514050002 021-60750532 xuxingjungf 分析师： 代川 SAC 执证号： S0260517080007 021-60750615 daichuangf 分析师： 刘芷君 SAC 执证号： S0260514030001 SFC CE No. BMW928 021-60750802 liuzhijungf 请注意，罗立波 ,许兴军 ,代川并非香港证券及期货事务监察委员会的注册持牌人，不可在香港从事受监管活动。 Table_DocReport 相关研究： 机械行业 2019 年春季策略：景气趋势放缓，细分领域有亮点 2018-11-16 Table_Contacts 联系人： 周静 021-60750625 zhoujinggf -35%-28%-20%-12%-4%4%02/18 04/18 06/18 08/18 10/18 12/18机械设备 沪深 300识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 2 / 13 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备重点公司估值和财务分析表 股票简称 股票代码 评级 货币 股价 EPS(元 ) PE(x) EV/EBITDA(x) ROE(%) 2019/2/26 2018E 2019E 2018E 2019E 2018E 2019E 2018E 2019E 精测电子 300567 买入 RMB 74.4 1.77 2.51 42.1 29.6 31.6 23.7 23.6% 25.1% 至纯科技 603690 买入 RMB 24.2 0.30 0.46 82.1 52.8 21.0 15.6 19.4% 38.9% 数据来源： Wind、广发证券发展研究中心 识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 3 / 13 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备目录索引 长期动能：下游投资高峰开启，设备需求有望 持续景气 . 5 机遇：国产装备逐步突围，期待新业务 /产品逐步落成 . 7 全球市场景气有所回落，期待下半年逐步回暖 . 9 投资建议与风险提示 . 11 识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 4 / 13 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备图表索引 图 1：中国大陆半导体设备销售额（亿美元） . 5 图 2：几家海外半导体设备巨头 FY2018 的收入增速 . 5 图 3：北方华创营业收入与归母净利润（百万元） . 8 图 4：精测电子营业收入与归母净利润（百万元） . 8 图 5：全球半导体设备单季度销售额（十亿美元） . 9 图 6：全球半导体销售额（亿美元） . 9 图 7：全球半导体销售额增速与设备销售额增速 . 9 图 8：全球半导体设备年度销售额（亿美元） . 10 图 9：费城半导体指数 . 10 图 10：台积电收入结构 . 10 表 1： 国内主要在建 /计划建设晶圆厂项目 . 6 表 2：长江存储及华力二期中国产装备中标情况 . 7 识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 5 / 13 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备长期动能：下游投资高峰开启 ，设备需求有望持续景气 自 2016年开始大陆晶圆厂逐步掀起兴建浪潮，带动半导体设备需求快速提升。根据SEMI数据， 2018年中国大陆半导体设备销售额 128.2亿元，同比增长 55.8%，是 2015年销售额的 2.62倍，占全球半导体设备销售额的 20.7%，是全球第二大市场；预计到2020年中国大陆半导体设备销售额将达到 170.6亿元，占全球需求的 23.7%。 国内众多晶圆厂项目积极推进中，未来几年设备需求保持高景气。 根据我们的整理统计（截止 2019年 2月），目前国内新建 /扩建 /产能爬坡的晶圆厂（ 8寸及 12寸）共 35座，其中有披露投资的合计总投资 9,168亿元；而计划建设的晶圆厂（包括二期项目）共 6座，其中有披露投资数据的，合计投资金额 2,210亿元（注：各项目信息来自于各公司官网新闻、集微网、中国招标网、新浪网等其他新闻报道）。根据我们的测算， 2002-2017年行业总投资不到 3000亿元；而参考目前国内在建项目，预计未来几年将持续推动设备需求处于高景气。 国产替代空间巨大 ， 内外力量共同形成激励环境 。 我们根据中国招标网公布的部分本土晶圆厂设备中标情况，我们测算 2018年国产设备比率不足 10%，仍处于非常低的水平，国产空间巨大。从海外巨头发布的最新 的财报看， 2017-2018年多数海外半导体设备公司已享受到中国市场的高增长，其中 ASML、应用材料、泛林半导体在FY2018来自中国的收入增速分别达到 100%、 86%、 74%。 一方面 ，贸易摩擦背景下，国内半导体行业发展面临更加激烈的竞争和技术封锁，这将倒逼本土的半导体行业积极推动国产化，形成良好的产业链互动环境；另一方面，包括中国制造 2025、大基金等，国内在政策、资金等多方面给予半导体行业大力支持，都为国产替代提供了良好的环境。 图 1：中国大陆半导体设备销售额（亿美元） 图 2：几家海外半导体设备巨头 FY2018的收入增速 数据来源： SEMI，广发证券发展研究中心 数据来源： Bloomberg，广发证券发展研究中心 0%5%10%15%20%25%-20.040.060.080.0100.0120.0140.0160.0180.020052006200720082009201020112012201320142015201620172018E2019E2020E中国大陆半导体设备销售额（亿美元） 占比-20%0%20%40%60%80%100%120%ASML 应用材料 泛林 泰瑞达 东京电子FY18总收入增速 中国地区收入增速识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 6 / 13 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备表 1： 国内主要在建 /计划建设晶圆厂项目 数据来源： 中芯国际 等公司官网，集微网 ， 芯思想等 ， 广发证券发展研究中心 状态 晶圆厂晶圆尺寸（英寸）总投资（亿元）产能（千片 /月）进度华力二期 12 387 40 2018 年 10 月正式投片，开始 2 8 n m 工艺芯片制造长江存储 12 1600 300 2 0 1 8 Q 4 一期工程正式投产， 32 层 3 D N A N D 闪存芯片成功实现量产合肥长鑫 12 470 125 2018 年 7 月正式投产台积电（南京） 12 200 20 2018 年 10 月量产，当前产能 1 万片 /月英特尔半导体（大连） 12 360 30 2 0 1 8 Q 2 投产中芯（宁波） 8 2018 年 11 月 N1 投产， N2 产线开工建设燕东微电子 8 48 50 2018 年 12 月投产芯睿电子 6 2018 年 6 月投产中车时代 6 英寸碳化硅 2018 年 1 月首批芯片试制成功世纪金光 6 英寸碳化硅 2018 年 2 月生产线成功通线中芯国际（深圳） 12 66 40 2 0 1 7 Q 4 投产， 2018 年月产能 3000 片合肥晶合（一期） 12 128 40 2018 年 12 月产能 1 万片联芯 12 400 50 2 0 1 8 Q 4 月产能 1 . 7 万片士兰微 8 84 2 0 1 7 Q 1 量产， 2018 年 12 月产能 3 万片上海新进芯 8 2018 年年底产能 1 万片英诺赛科 8 2018 年 8 英寸硅基氮化镓生产线产能进一步提四川广义微电子 6 2018 年 12 月产能 3 万片， 2019 年计划扩充至 6 万片，冲击 8 万片三星 12 460 802018 年 3 月第二条 N A N D 闪存芯片生产线的奠基仪式，预计 2019 年投产SK 海力士 12 570 2002018 年 SK 海力士半导体 12 英寸集成电路生产线 6 期技术升级和洁净厂房扩建正在施工中武汉新芯 12 110 13 2018 年 8 月现场推进会中芯国际（天津） 8 100 150 2 0 1 8 Q 4 月产能 6 万片中芯南方 12 675 352018 年完成厂房建设和无尘室装修，预计 2 0 1 9 Q 1 进行风险投产；1 4 n m 研发设施已经具备月产能 3500 片规模华虹半导体（无锡）一期12 165 40 2018 年底主厂房结构封顶，预计 2 0 1 9 H 2 逐步实现达产紫光（南京）一期 12 700 100 2018 年 9 月开工紫光（成都） 12 1600 300 2018 年 10 月开工福建晋华 12 370 60 项目暂停厦门士兰集科一期二期 12 70 80 2018 年 10 月开工万国半导体一期 12 30 20 2018 年 3 月开始搬入设备并装机，还未投产粤芯半导体 12 70 40 2018 年 12 月洁净室正压送风，预计 2019 年 6 月投产时代芯存 12 43 30 2018 年 4 月光刻机进厂积塔半导体 1 2 / 6 359 80 2018 年 8 月正式开工海辰半导体 8 68 126 2018 年 5 月开工中芯国际（绍兴） 8 59 50 2018 年 5 月奠基仪式厦门士兰明 6 50 2018 年 10 月开工双仪微电子 6 10 20 预计 2019 年初投产使用华润微电子 12 100矽力杰半导体 12 180 40华虹半导体（无锡）（不包括一期项目）12 500紫光（南京）（不包括一期项目）12 1300 200厦门士兰集科三期 12 100万国半导体二期 12 30 5011378合计2018 年投产产能爬坡扩建在建规划识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 7 / 13 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备机遇 ：国产装备逐步突围，期待新业务 /产品逐步落成 我们统计了截止 2019年 2月中国招标网上有关长江存储及上海华力二期的设备招标中标情况，按照主要设备中标数量，具备以下特点： （ 1）国产装备已经形成系列化布局。包括在核心设备如沉积设备、刻蚀、清洗、过程工艺控制，均有国内企业中标。此外，在氧化炉、研磨抛光设备、匀胶设备、高纯系统也有国内企业中标。但仅从长江存储与华力二期的中标情况看，测试设备、光刻机国产设备是空白。 （ 2）部分国产装备企业在细分领域已经具有一定的占有率，获得重复订单，在单条产线的累计中标比例超过 10%。比如中微半导体的介质刻蚀设备、盛美的清洗设备。其他的有中标的重要本土 企业还包括上海睿励、沈阳芯源、华海清科等。 表 2： 长江存储及华力二期中国产装备中标情况 设备类型 企业 中标数量 （台） 总数量（台） 占比 薄膜沉积设备 北方华创 4 221 1.81% 沈阳拓荆 2 221 0.90% 光刻胶处理设备 沈阳芯源 1 7 14.29% 清洗设备 盛美半导体 16 42 38.10% 北方华创 3 42 7.14% 刻蚀设备 中微半导体 22 152 14.47% 北方华创 1 152 0.66% 过程工艺控制 睿励 2 279 0.72% 热处理设备 北方华创 12 64 18.75% 屹唐半导体 1 64 1.56% 研磨抛光设备 华海清科 1 34 2.94% 离子注入设备 北京中科信 1 36 2.78% 数据来源： 中国招标网， 广发证券发展研究中心 一方面， 半导体设备企业持续研发 ， 或进行外延并购 ， 在产品深度和广度方面不断拓展 ；另一方面，部分在其他领域已形成领先地位的优秀企业， 包括精测电子 、 至纯科技等正积极布局发展半导体设备业务 ，国内半导体设备行业正迎来良好成长机遇。 北方华创 ： 根据公司 2018年中报，北方华创 12英寸集成电路工艺设备产品包括刻蚀机、 PVD、 CVD、氧化 /扩散炉、清洗机、 ALD等。其中， 12英寸 90-28纳米集成电路工艺设备实现了产业化， 12英寸 14纳米集成电路工艺设备进入了工艺验证阶段。此识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 8 / 13 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备外公司利用集成电路设备关键技术的延伸应用，开发了泛半导体领域的刻蚀机、 PVD、CVD、扩散炉、退火炉、清洗机等产品，广泛应用于光伏、半导体照明、微机电系统、功率器件、化合物半导体、平板显示等领域，成为行业内的主要设备供应商之一，其中多个产品在细分市场占有率名列前茅。公司发布 2018年业绩快报， 2018年实现营业收入 33.2亿元，同比增长 49.4%；实现归母净利润 2.31亿元，同比增长 84.3%。业绩大幅增长主要源于电子装备业务实现快速增长。 精测电子 ： 一方面公司继续加快在面板设备领域的新产品研发，包括 Mura设备 /激光修复仪 /宏微观检查机等，产品从 Module段向 Cell段、 Array段延伸。此外，公司积极拓展半导体检测业务，根据此前公告，公司跟韩国 IT&T在国内成立合资公司布局 ATE领域，在上海成立子公司布局半导体前道 PC设备，公司在产品开发和研发上保持高强度，积极布局，为未来打开成长新空间。公司发布 2018年业绩快报， 2018年实现营业收入 13.9亿元，同比增长 55.2%；实现归母净利润 2.89亿元，同比增长 73.1%。 图 3：北方华创营业收入与归母净利润（百万元） 图 4：精测电子营业收入与归母净利润（百万元） 数据来源： Wind，广发证券发展研究中心 数据来源： Wind，广发证券发展研究中心 长川科技 ： 公司产品包括测试机与分选机，并在核心性能指标上已接近国外先进水平。根据公司 2018年中报，未来公司产品拓展方向包括：探针台已完成研发进入验证阶段，有望切入 CP测试领域；测试机方面目前主要包括大功率测试机、模拟 /数模混合测试机来将进一步重点开拓数字测试机。前期公司公告拟收购 IC检测设备商 STI，STI为新加坡集成电路封装检测设备商，主营高精度 AOI检测设备，可进行晶圆级测试，核心客户包括德州仪器、美光等国际半导体商，并且在马拉西亚、韩国、菲律宾及中国台湾拥有 4家子公司，具备完善的销售网络。此次并购，长川科技与 STI有望形成产品、市场的良好互补，进一步丰富公司的半导体测试产品业务。 至纯科技 ： 根据公司 17年年报，公司获得了上海华力、中芯国际、合肥长鑫、武汉长江存储、无锡海力士等订单，行业地位进一步巩固，积累重要客户资源。 17年底公司形成了槽式与单片式湿法清洗设备产品系列，加码半导体清洗设备，并且已经取得批量订单。 05010015020025005001,0001,5002,0002,5003,0003,500营业收入 归母净利润（右轴）05010015020025030035002004006008001,0001,2001,4001,600营业收入 归母净利润（右轴）识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 9 / 13 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备全球市场景气有所回落， 期待 下半年 逐步回暖 短期景气有所回落 。 根据 WSTS数据， 2018年 Q3-Q4全球半导体销售额分别同比增长 13.7%、 0.6%，增速回落明显，产业链库存水平随之走高，晶圆厂代工产能利用率也出现下滑。由于下游景气不佳， 行业 资本开支增速开始放缓，根据 SEMI数据，2018Q2-Q3全球半导体设备销售额同比增长 18.6%、 10.5%，增速逐季下滑。 图 5： 全球半导体设备 单季度 销售额 （十 亿美元） 数据来源： SEMI，广发证券发展研究中心 图 6：全球半导体销售额（亿美元） 图 7：全球半导体销售额增速与设备销售额增速 数据来源： WSTS，广发证券发展研究中心 数据来源： WSTS， SEMI，广发证券发展研究中心 期待市场逐步回暖 。 一方面，手机微创新持续提升存量市场下半导体需求；另一方面，汽车电子、 5G、人工智能、物联网等新兴应用将不断带动半导体行业成长。对-100%-50%0%50%100%150%200%250%300%02468101214161805Q105Q306Q106Q307Q107Q308Q108Q309Q109Q310Q110Q311Q111Q312Q112Q313Q113Q314Q114Q315Q115Q316Q116Q317Q117Q318Q118Q3全球半导体设备销售额（十亿美元） YoY-40%-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%70%020040060080010001200140008Q108Q409Q310Q211Q111Q412Q313Q214Q114Q415Q316Q217Q117Q418Q3全球半导体销售额（亿美元） YoY-40%-30%-20%-10%0%10%20%30%40%50%60%70%-10%-5%0%5%10%15%20%25%30%11Q111Q312Q112Q313Q113Q314Q114Q315Q115Q316Q116Q317Q117Q318Q118Q3半导体销售额增速 设备增速（右轴）识别风险 ， 发现价值 请务必阅读末页的免责声明 10 / 13 Table_PageText 跟踪分析 |机械设备设备商而言， 短期看，下游景气回调造成部分晶圆厂建设进程有所放缓，从而使得设备需求增速下行；但另一方面，由于诸如手机等成熟消费电子增长压力下 ， 设计商将更加积极的投入新芯片解决方案；而晶圆厂也将更加仰赖新产品、新应用、新市场，对于先进制程以及新兴市场的投入 显得尤为重要。 根据 SEMI发布的 2018年年终总设备预测报告，预计 2018年全球半导体设备销售额达到 621亿美元，同比增长9.7%；同时预计 2019将收缩 4.0%，但 2020年将增长 20.7%。 全球半导体设备市场有望在 2019年经历短期调整后，在 2020年重回高增长。 全球半导体产业景气的主要指标之一的费城半导体指数 在 18年 9月开始下行，而从2019年 1月以来，费城半导体指数一路回升， 截止 2019年 2月 28日，费城半导体指数1350点， 较 2018年 12月最低点上涨 26.6%。反映前期市场预期已下修到位。 图 8： 全球半导体设备 年度 销售额（亿美元） 数据来源： SEMI，广发证券发展研究中心 图 9： 费城 半导体指数 图 10： 台积电收入结构 数据来源： Wind，广发证券发展研究中心 数据来源： 台积电季报 ，广发证券发展研究中心 -20%-10%0%10%20%30%40%01002003004005006007008002010 2011 2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018E 2019E 2020E日本 北美 欧洲 韩国中国台湾 其他地区 中国大陆 全球增速8009001,0001,1001,2001,3001,4001,5002017-012017-032017-052017-072017-092017-112018-012018-032018-052018-072018-092018-112019-01 0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%14Q114Q214Q314Q415Q115Q215Q315Q416Q116Q216Q316Q417Q117Q217Q317Q418Q118Q218Q318Q440nm及以下 28nm 16/20nm 10nm 7nm