20220829-光大证券-机械行业周报2022年第35周_光伏设备和半导体设备业绩表现强劲_国内晶圆代工龙头逆周期加大投资力度_31页_2mb.pdf

敬请参阅最后一页特别声明 -1- 证券研究报告 2022 年 8 月 29 日 行业研究 光伏设备和半导体设备业绩表现强劲，国内晶圆代工龙头逆周期加大投资力度 机械行业周报2022年第35周（8.21-8.27） 机械行业 重点子行业观点 1)半导体设备：大陆晶圆厂逆周期加大投资力度，拓荆科技继续提升产品线竞争力。在全球芯片周期存在不确定性的环境下，中芯国际公告拟在天津投入 75 亿美元扩建 10 万片/月的 12 英寸晶圆代工产能，代表中国大陆晶圆厂逆周期投资趋势不变。半导体设备公司中报业绩中收入普遍大幅增长，扣非净利率显著上升，且存货、合同负债等仍保持快速攀升趋势，订单大幅增长趋势不变。拓荆科技在原有 PECVD+ALD+SACVD 基础上，增加 HDPCVD+ UV Cure 新产品，并积极开拓多边形高产能平台和多类六站式机台。 2)机器人及通用自动化：机器人是典型的机电强耦合产品，机器人技术已成为衡量各国科技创新和高端制造水平的重要指标，要关注机器人“卡脖子”问题。 3)激光设备：受消费电子疲软影响，精密激光加工市场不及预期，重点关注光伏、动力电池激光加工设备。近日，锐科激光发布半年报，营业收入约 15.47 亿元，同比减少 3.87。归母净利润约 2189 万元，同比减少 91.6。宏观加工激光器竞争激烈挤压利润空间。受消费电子周期影响，今年来消费电子激光设备需求疲软，动力电池、光伏领域持续景气，建议关注帝尔激光、海目星、联赢激光。 4)光伏设备：迈为股份、晶盛机电、奥特维、高测股份保持强劲的收入增长及盈利能力。通威公司长期看好 HJT 电池技术的发展潜力，并持续围绕 HJT 电池的降本增效进行系列攻关，但公司认为当前 HJT 电池暂不具备明显优势，仍需要进一步研发攻关。上半年迈为股份、晶盛机电、奥特维、高测股份收入增速依次是 42%、91%、64%、124%，净利率依次是 22%、28%、19%、18%。 5)锂电设备：四川工业企业让电于民，反映电力系统配储紧迫性。2022 年 7 月新增新型储能以锂电为主，压缩空气储能表现不俗。据CNESA数据，2022 年 7月国内新增锂电储能项目合计规模达 7.1GW/18.6GWh，功率规模占比超过80%；其次是压缩空气储能，功率占比达 9%。压缩空气储能、飞轮储能、液态和固态锂离子电池储能、钠离子电池储能等高效储能技术受重视，成为能源绿色低碳转型支撑技术。 6）工程机械：下半年销量降幅有望继续收窄，边际变化将带来反弹机遇。2022年7月份中国工程机械市场指数同比降幅收窄3.72个百分点，环比降幅扩大3.64个百分点，表明国内工程机械市场受高温、汛期和疫情反复等影响导致终端工程开工不足，但同比降幅短期内会继续收窄。推荐三一重工、恒立液压、中联重科。 7）风电设备：钢材价格回落及招标规模上升双重因素催化下半年迎来风电产业盈利拐点。22H1 新增招标量接近 2021 年全年，5MW 及以上机型位招标市场的主流。据金风科技业绩展示材料，2022H1，国内公开招标市场新增招标量51.1GW，较去年同期同比增长 62.3%。自今年 5 月份以来钢材价格不断回落，截至 8 月 26 日 Myspic 综合钢价指数为 153.59，较年内高点下降 19.7%。 近期推荐组合：推荐三一重工、中联重科（A/H）、恒立液压、伊之密、陕鼓动力；建议关注新时达、绿的谐波、埃斯顿、禾川科技、汇川科技、大族激光、德龙激光、天准科技、赛腾股份、新莱应材、英杰电气、联赢激光、帝尔激光、海目星、大金重工、恒润股份、新强联。 风险分析：宏观经济波动风险；基建投资不及预期的风险；国际贸易摩擦的风险；市场竞争加剧的风险。 买入（维持） 作者 分析师：杨绍辉 执业证书编号：S0930522060001 021-52523860 分析师：陈佳宁 执业证书编号：S0930512120001 021-52523851 联系人：林映吟 行业与沪深 300 指数对比图 - 3 5 %- 2 4 %- 1 3 %- 1 %10%0 8 /2 1 1 1 /2 1 0 2 /2 2 0 5 /2 2机械行业 沪深 300 资料来源：Wind 相关研报 科技创新再次带来机械设备崛起，国产机器人关键零部件大概率将受益于Tesla Bot产业链机械行业周报 2022 年第 31 周（7.24-7.30） 锂电设备大规模招标有望开启，半导体设备处于快速国产化窗口期机械行业周报 2022 年第30 周（7.17_7.23） 半导体设备穿越芯片周期，风电设备受益于钢价下行降本明显机械行业周报 2022年第 29周（7.10-7.16） 要点 敬请参阅最后一页特别声明 -2- 证券研究报告 机械行业 目 录 1、 行业观点更新 . 4 2、 行业动态 . 20 3、 重点上市公司公告 . 21 4、 新股动态 . 23 5、 重点数据跟踪 . 24 6、 风险提示 . 30 图目录 图1：半导体设备国产化率 . 10 图2：2016-2021 年激光设备产量及其增速 . 14 图3：2021年中国激光设备行业产量结构 . 14 图4：激光器国产替代情况 . 15 图5：2016-2021 国产纳秒紫外激光器出货量及其增速 . 15 图6：2022年7 月新型储能技术功率规模占比 . 17 图7：2022年7 月新型储能应用场景功率规模占比. 17 图8：中国分散式风电新增和累计装机容量. 20 图9：基建投资有所反弹，地产投资景气仍处低位 . 24 图10：2022 年7月份房屋新开工面积累计同比下滑36.1% . 24 图11：挖掘机月度销量变化 . 24 图12：挖掘机销量同比降幅收窄 . 24 图13：挖掘机国内销量变化 . 24 图14：挖掘机国内销量同比降幅收窄 . 24 图15：挖掘机出口销量快速增长 . 25 图16：挖掘机出口维持快速增长 . 25 图17：挖掘机出口占比快速提升 . 25 图18：挖掘机开工小时数有所回弹，仍处于相对低位 . 25 图19：2022 年7月份美国CPI 同比+8.5%，中国CPI同比持续增加 . 25 图20：2022 年7月份PMI 指数回落至荣枯线以下（48.5%） . 26 图21：2022 年1-7月份制造业固定资产投资额累计同比+9.9% . 26 图22：2022 年7月份工业机器人当月产量同比-8.8% . 26 图23：2022 年17 月份金属切削机床产量累计同比-10.1% . 26 图24：2022 年7月份新能源汽车销量当月值 59.3万辆 . 26 图25：2022 年7月份新能源汽车销量当月同比+119% . 26 图26：2022 年7月份新能源乘用车产量 57.9 万辆，同比+118.5% . 27 图27：2022 年7月份新能源乘用车零售销量 48.6万辆 . 27 图28：2022 年7月份新能源乘用车批发销量 56.4万辆，同比+129.6% . 27 图29：2022 年7月份新能源乘用车零售销量同比+118.7% . 27 敬请参阅最后一页特别声明 -3- 证券研究报告 机械行业 图30：2022 年7月份动力电池装车量当月值 24.18 GW . 27 图31：2022 年7月份动力电池装车量当月同比+114.2% . 27 图32：截至2022/8/24，多晶硅致密料均价301元/kg . 28 图33：截至2022/8/24，本周硅片价格维持稳定（元/片） . 28 图34：截至2022/8/24，光伏电池片略有上涨（元/W） . 28 图35：截至2022/8/24，光伏组件价格均价1.98元/W（元/W） . 28 图36：截至2022/8/26，Myspic 综合钢价指数较6月初下跌14% . 28 图37：2022 年7月份风电新增并网容量 1.99GW . 29 图38：2022 年1-7月份风电新增并网容量14.93GW . 29 图39：2017-2022年Q2国内各季度风电季度公开招标量（GW） . 29 表目录 表1：工程机械行业数据 . 4 表2：主要人形机器人参数对比 . 5 表3：美方在机器人领域出台政策与制约手段. 6 表4：各国针对机器人发展出台的部分文件. 6 表5：我国未来机器人领域可能受到的影响. 7 表6：机器人及自动化估值表现 . 8 表7：中芯国际近年来公布的新建12英寸晶圆厂计划 . 9 表8：半导体设备企业产品布局 . 12 表9：半导体核心零件服务的设备类型、工艺步骤及主要供应商 . 13 表10：主要激光器及其应用领域 . 15 表11：激光设备企业产品布局 . 16 表12：储能技术路线对比 . 18 表13：2022 年国内部分压缩空气储能项目 . 19 表14：一周IPO统计表 . 23 表15：行业重点上市公司盈利预测、估值与评级 . 30 敬请参阅最后一页特别声明 -4- 证券研究报告 机械行业 1、 行业观点更新 工程机械：下半年销量降幅有望继续收窄，边际变化将带来反弹机遇 国内市场：受疫情及地产投资低迷拖累，加上行业自身更新周期影响，工程机械行业国内销售仍然处于同比负增长区间；但由于去年下半年行业周期下行，基数降低，未来销量同比降幅有望继续收窄。 海外市场：受通胀预期升温后加息等影响，工程机械需求存在不确定性，但由于国内工程机械企业产品已具备优异性价比，在发展中国家市场仍然有巨大的成长空间。通过大力开拓海外市场，下半年海外出口仍然有望维持较好增长。 根据中国工程机械工业协会统计，2022年1-7月纳入统计的26家主机制造企业，共计销售各类挖掘机械产品 161,033 台，同比下降 33.2%。其中，国内市场销量 100,378 台，同比下降 51.5%；出口销量 60,655 台，同比增长 72.6%。 单月销量同比增速转正。2022 年 7 月，行业共计销售各类挖掘机械产品 17,939台，同比增长 3.4%；其中，国内市场销量 9,250 台，同比下降 25.0%；出口销量 8,689 台，同比增长 73.2%。对应下游基建投资同比增长 11.5%，房地产投资下滑 12.3%，房地产新开工面积下滑 45.4%。 表 1：工程机械行业数据 7 月数据 同比变动 2022年 1-7月 累计数据 同比变动 挖掘机销量/台 17,939 3.42% 161,033 -33.2% 国内 9,250 -25.0% 100,378 -51.5% 出口 8,689 73.2% 60,655 72.6% 固定资产投资/亿元 48,382 3.75% 319,812 5.70% 基建投资 16,470 11.48% 109,172 9.58% 房地产投资 11,148 -12.33% 79,462 -6.40% 房地产新开工面积/万 m2 9,643 -45.39% 76,067 -36.10% 美国 CPI 8.5% 中国 CPI 2.7% 资料来源：中国工程机械协会，Wind，光大证券研究所整理 根据“今日工程机械”公众号，2022 年 7 月份中国工程机械市场指数（CMI）为 96.55，同比降低 12.18%，环比降低 5.49%。7 月份中国工程机械市场指数同比降幅收窄 3.72 个百分点，环比降幅扩大 3.64 个百分点，表明国内工程机械市场受高温、汛期和疫情反复等影响导致终端工程开工不足，但同比降幅短期内会继续收窄。 2022 年 7 月小松挖掘机国内开工小时数为 100.1 小时，同比下降 5.4%，降幅有所收窄。开工小时数仍处于相对低位，显示挖掘机在淡季的短期需求较为一般。 进入下半年，随着去年高基数效应的减退，工程机械行业销量降幅有望继续收窄。专项债资金的释放将逐渐传导至基建及地产行业，带来工程机械行业需求的复苏。出口方面，由于国内工程机械产品性价比具备巨大优势，海外出口的增长趋势仍将延续。 我们认为，工程机械产业链仍处于调整期，销量下滑与原材料成本相对高位的双重压力对工程机械企业的盈利能力提出挑战；但随着下半年国内稳增长环境下基建与地产投资在一定程度上有望边际变好，工程机械国内销量降幅可能逐步收窄。 敬请参阅最后一页特别声明 -5- 证券研究报告 机械行业 考虑到挖机利用小时数处于历史低位，以及工程机械显著的季节性，全年工程机械销售压力持续存在，全面好转还有待于观察基建及地产投资恢复程度，以及存量挖机的消化程度。 我们看好边际变化带来的反弹机遇，维持推荐三一重工、中联重科（A/H）、恒立液压等工程机械产业链龙头公司。 通用自动化设备：机器人是典型的机电强耦合产品，机器人技术已成为衡量各国科技创新和高端制造水平的重要指标，要关注机器人“卡脖子”问题 通用机械 22Q1 受疫情影响，下游需求不振，叠加原材料价格上涨，整体表现疲软。2022 年 7 月，受传统生产淡季、市场需求释放不足、高耗能行业景气度走低等因素影响，我国 PMI新订单指数为 48.5%，环比下降 1.9pct，PMI 指数回落至荣枯线以下。 特斯拉人形机器人Optimus(擎天柱)原型机即将现身于 9 月30日的特斯拉人工智能日，Optimus 结合了特斯拉的 AI技术，即基于视觉神经网络神经系统预测能力的自动驾驶技术；其头部配备与特斯拉汽车相同的 Autopilot 智能驾驶摄像头，搭载 DOJOD1 超级计算机芯片，配合特斯拉自创的高带宽、低延迟的连接器，算力高达 9PFLOPs（9 千万亿次）。而 8 月 11 日，小米发布了人形机器人“CyberOne”，CyberOne 高 1.77 米，重 52kg，高 1.77 米，重 52kg，有聪明的大脑，能感知 45 种人类语义情绪，分辨 85 种环境语义，采用小米自研全身控制算法，协调运动 21 个关节自由度，同时四肢强健，全身 5 种关节驱动，峰值扭矩 300Nm，虽然性能上仍与波士顿动力的阿特拉斯有较大差距，但仿人机器人赋予机器“生命”，“机器代人”正在落地。 表 2：主要人形机器人参数对比 单位 Optimus Asimo Walker Atlas Cyberone 中文名 擎天柱 阿西莫 阿特拉斯 铁大 企业 Tesla 本田 优必选 波士顿动力 小米 身高 M 1.72 1.30 1.30 1.50 1.77 体重 KG 57 48 63 75 52 自由度/驱动关节 个 30 57 41 21 行走速度上限 km/h 8 9 3 全身/背部负载 KG 20 10 双手负载 KG 5 3 资料来源：网易新闻，爱集微，优必选网站、光大证券研究所整理 机器人始终是美国等发达国家长期关注的焦点领域。美国自 2011 年起 4 次修订国家机器人计划，并对我国机器人行业的发展采取遏制手段。自 2018 年中美贸易摩擦起，美国政府出台出口管制改革法案 ECRA，针对 14 项新兴前沿技术出口管制，并对机器人等行业的 1300 项商品类别加征 25%关税，同时加大机器人领域出口技术管控。2021 年美国国会参议院推出无尽前沿法案新版本，持续加大机器人领域管控，封锁我国机器人技术，同时加大本国用于机器人等领域的研发投入。2022 年美国国家科学技术委员会发布新一版新兴技术领域清单，其中对自主系统与机器人领域列出子领域清单，涉及地面、空间、海洋、航空四大方面，作为保持关键领域优势的参考依据。 敬请参阅最后一页特别声明 -6- 证券研究报告 机械行业 表 3：美方在机器人领域出台政策与制约手段 时间 措施/手段 涉及领域和内容 2011 年 美国国家机器人 1.0计划 机器人发展计划 2018 年 美国国家机器人 2.0计划 机器人发展计划 2018 年 美国发起“301 调查” 对机器人行业等领域的1300 项商品类别加征25%关税 2018 年 出口管制改革法案 ECRA 对机器人技术进行出口管制 2018 年 744补充文件 对以下几项技术加大出口管控 1、微型机器人系统 2、集群技术 3、自组装技术 4、分子机器人学 5、机器人编译器 智能灰尘 2020 年 第4 次修订并发布机器人发展路线图 机器人发展路线 2021 年 美国国家机器人 3.0计划 机器人发展计划 2021 年 通过无尽前沿法案，成立NSF科技与创新局 加大机器人、人工智能等十项科技研发力度，加大资金投入，未来五年投入1千亿美金用于机器人等技术研发 评估与遏制中国国际高端科技领域领导力度，持续加大对中国机器人、自动化系统技术封锁 2022 年 新一版“关键和新兴技术（CETs）清单” 对关键和新兴技术领域列表调整，在自主系统与机器人领域列出4大子领域 资料来源：中科院网信工作网、经济形势报告网、NSF 官网、中国新闻网、美国出口管理条例（EAR）目录、光大证券研究所整理 表 4：各国针对机器人发展出台的部分文件 主体经济体 发布时间 主要规划政策 主要内容 美国 2011 年 “国家机器人计划” 目标是建立美国在下一代机器人技术及应用方面的领先地位，助理美国制造业回归。 2013 年 美国机器人技术路线图：从互联网到机器人 强调机器人技术在美国制造业和卫生保健领域的重要作用，描绘了机器人技术在创造新市场、新就业岗位和改善人们生活方面的潜力。 2017 年 国家机器人计划2.0 该计划的目标是支持基础研究，加快美国在协作机器人开发和实际应用方面的进程。 欧盟 2014 年 “民用机器人项目” 该计划是目前全球最大的民用机器人研发计划，到 2020 年将投入 28 亿欧元，并为增强欧洲工业竞争力插上新的翅膀。 2016 年 “2020地平线机器人项目” 在机器人领域将资助 21 个新项目，主要面向工业机器人和服务业机器人的开发和应用，投资总额近1亿欧元，执行期25 年。 日本 2014 年 机器人白皮书 为解决老龄化社会等重大课题，政府将大力推广机器人技术的运用。 2015 年 机器人新战略 制定了三大核心目标及五年战略目标。 韩国 2014 年 第二次智能机器人行动计划 明确要求2018年韩国机器人国内生产总值达到20万亿韩元，出口70亿美元， 2017 年 机器人基本法案 旨在确定机器人相关伦理和责任的原则，建立机器人与机器人技术的推进体系。 中国 2013 年 关于推进工业机器人产业发展的指导意见 突破一批关键零部件制造技术和核心技术，提升主流产品的可靠性和稳定性指标，在重要工业制造领域推进工业机器人的规模化示范效应。到 2020 年，形成较为完善的工业机器人产业体系。 2016 年 机器人产业发展规划（2016-2020） 力争五年内，形成较为完善的机器人产业体系关键零部件取得重大突破，基本满足市场需求。 资料来源：科普中国、光大证券研究所整理 机器人是典型的机电强耦合产品，机器人技术已成为衡量各国科技创新和高端制造水平的重要指标，要关注机器人“卡脖子”问题。日前，习近平总书记在辽宁新松机器人公司考察时，强调要只争朝夕突破“卡脖子”问题；早在 21 年 5 月的两院院士大会上，习总书记已经指出必须尽早解决“卡脖子”问题，把技术和发展的主动权牢牢掌握在自己手里。 关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的。习近平总书记在关于核心技术的论述中提及：“关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的”；“我国要以关键共性技术、前沿引领技术、现代工程技术、颠覆性技术创新为突破口，敢于走前人 敬请参阅最后一页特别声明 -7- 证券研究报告 机械行业 没走过的路，努力实现关键核心技术自主可控”。在机器人领域，近年一些核心零部件、本体制造等技术的国产替代化进程有所加快，但仍有大部分核心技术尚未突破。在 2021 年 5 月 8 日的两院院士大会上，习近平总书记也提出，“要加快构建龙头企变之下机器人企业牵头、高校院所支撑、各创新主体相互协同的创新联合体，发展高效强大的共性技术供给体系，提高科技成果转移转化成效”。 在俄乌冲突背景之下，俄罗斯机器人发展受到多重影响。俄乌冲突以来，美国通过全面切断学术交流、停止国际合作、切断向俄提供高端机器人系统等方式遏制俄罗斯机器人发展，结合近年来美国对中国机器人产业通过一系列政策进行针对性打压、封锁来看，这或将波及我国机器人研发软件使用、核心零部件进口、机器人维护升级以及产业链安全等领域，我国机器人发展可能会面临多重困难和挑战。因此我国机器人产业，诸如减速器、伺服系统、控制器、本体制造等核心零部件/技术的突破需要进一步加快速度，只争朝夕突破这些“卡脖子”问题。我们建议关注机器人产业链国产替代相关公司，上游零部件的绿的谐波、汇川技术、禾川科技，中游本体制造的埃斯顿、新时达。 表 5：我国未来机器人领域可能受到的影响 所受到的影响 涉及到的具体领域 高档机器人及核心零部件禁运 汽车制造业、航空制造业、自主高端工业机器人关键核心零部件 全面禁用机器人研发用各种软件 MATLAB已禁用，CAD、Solidworks、ADMs、操作系统面临禁用可能 已有机器人维护和更新停止 高端机器人，停止维护或工艺包供给 海外机器人企业的收购受到影响 美的、新松、埃夫特、大疆收购的国外企业，尤其KUKA、Segway 受长臂管辖的机器人产业安全 底层芯片、传感器、ARM、FPGA等其他信息部件 资料来源：新浪财经、芯语网，光大证券研究所整理 关注MEMS 器件柔性化。本届国际机器人大会提到智能感知与机器人的新结合，其中柔性（MEMS）传感器对于不同领域机器人智能化、便捷化、安全化等帮助值得关注。MEMS，即微机电系统，是一种微电子技术与机械工程融合到一起的工业技术，按产品划分可分为 MEMS 传感器和 MEMS 执行器，其最大特点是微型化，一般尺寸在 20 微米-1 毫米之间，可以在小面积空间填充更多 MEMS 的组件，使工业机器人等产品具备更多功能，此外 MEMS 支持的微机电一体化也符合工业自动化趋势。常见的 MEMS 器件多为刚性 MEMS，但已无法满足表皮电子监控系统、物联网等新兴应用的要求，所以将 MEMS 器件柔性化使其具备柔韧性、延展性、弯折性等特点，拓宽了 MEMS 场景应用。根据 Data Bridge Market Research 预计，2029 年全球柔性传感器市场规模达 90亿美元左右，2022-2029的 CAGR 为 6.8%。目前国外柔性传感器公司有 Brewer Science、KWJ Engineering、Interlink Electronics 等，国内相关企业有钛深科技、能斯达电子、慧闻科技和三三智能等。 敬请参阅最后一页特别声明 -8- 证券研究报告 机械行业 表 6：机器人及自动化估值表现 证券代码 公司名称 机器人产品 竞争对手及细分市场的市占率 公司市占率 市值 （亿元） 收入（亿元） 净利润（亿元） EPS（元） PS(x) 21A 22E 23E 21A 22E 23E 21A 22E 23E 21A 22E 23E 零部件 000837.SZ 秦川机床 全系列（5Kg-800Kg）RV减速器，在中大规格领域的优势明显 RV减速器： 纳博特斯克（53%）、住友（5%）、双环传动（14%）、中大力德（3%） RV减速器：约2% 84 51 2.81 0.31 2 002031.SZ 巨轮智能 机器人、RV减速器 72 22 -4.69 -0.21 5 002008.SZ 大族激光 谐波减速器 327 163 185 229 19.94 20.87 25.84 1.90 1.98 2.45 2 2 1 688017.SH 绿的谐波 谐波减速器、机电一体化减速模组 谐波减速器： 哈默纳克（约45%） 谐波减速器：约25% 256 4 7 9 1.89 2.57 3.65 1.12 1.53 2.16 58 39 27 300503.SZ 昊志机电 谐波减速器 34 11 1.55 0.51 3 002896.SZ 中大力德 RV减速器、谐波减速器、半个机器人 谐波减速器： 哈默纳克（约45%）、绿的谐波（25%左右） 谐波减速器：市占率很小 RV减速器：3%左右 43 10 0.81 0.56 4 002472.SZ 双环传动 工业机器人用全系列RV减速器产品 RV减速器： 纳博特斯克（53%）、住友（5%） RV减速器：约14% 256 54 71 87 3.26 5.30 7.61 0.42 0.68 0.98 5 4 3 伺服电机 300124.SZ 汇川技术 工业机器人、伺服系统 伺服系统： 安川（10.5%）、松下（9.6%）、三菱（8.8%） 伺服系统：16.30% 1,596 179 237 309 35.73 41.99 54.28 1.35 1.59 2.06 9 7 5 688320.SH 禾川科技 伺服系统 伺服系统： 汇川（16.3%）、安川（10.5%）、松下（9.6%）、三菱（8.8% 伺服系统：3% 86 8 11 15 1.10 1.61 2.52 0.73 1.07 1.67 11 8 6 603728.SH 鸣志电器 移动服务机器人、电机驱动控制系统 184 27 33 44 2.80 3.36 5.33 0.67 0.80 1.27 7 002050.SZ 三花智控 热管理系统控制部件 966 160 211 262 16.84 22.65 29.16 0.47 0.63 0.81 6 5 4 机器人 300024.SZ 机器人 工业机器人、移动机器人和特种机器人 159 33 38 44 -5.62 1.76 3.11 -0.36 0.11 0.20 5 4 4 002527.SZ 新时达 工业机器人、运动控制器、伺服驱动器、伺服电机、运动控制及机器人工程 47 43 1.50 2.29 0.23 0.37 1 688165.SH 埃夫特-U 运动控制器、伺服系统、机器人整机、机器人系统集成 46 11 -1.93 -0.37 4 002747.SZ 埃斯顿 工业机器人 177 30 42 54 1.22 2.35 3.46 0.14 0.27 0.40 6 4 3 603666.SH 亿嘉和 特种机器人 105 13 17 22 4.83 5.85 7.65 2.32 2.70 3.53 8 6 5 688290.SH 景业智能 为核工业系列机器人和核工业智能装备 70 3 5 7 0.76 1.14 1.56 0.93 1.39 1.89 20 14 11 资料来源：Wind 及wind一致预期，中商情报网，华经产业研究院，各家公司公告，光大证券研究所整理 市值时间为2022-08-26，注：市占率为2021 年国内市场各细分行业的相关数据 半导体设备：大陆晶圆厂逆周期加大投资力度，拓荆科技继续提升产品线竞争力 大背景：全球芯片竞赛已经开启。美国芯片与科学法案，一方面将通过投资补贴和税收优惠吸引半导体企业在美设厂，另一方面也明确限制了接受补贴的企业在中国增产先进制程芯片。美国 BIS联邦公报披露一项新增的出口限制，即对具有 GAA 结构的 EDA/ECAD、以金刚石和氧化镓为代表的超宽禁带半导体材料、包括压力增益燃烧（PGC）在内的四项技术实施新的出口管制，这将推动我国半导体国产化加速，为本土设备厂商提供了较好的国产化机遇窗口。英特尔（INTC.US）与 Brookfield（BIP.US）达成 300 亿美元协议，共同扩产芯片厂：基于美国芯片法案中为扩大本土半导体生产提供 520 亿美元的补助政策，英特尔与加拿大 Brookfield 基础设备（BIP.US）达成协议，将共同出资 300 亿美元用来亚利桑那州钱德勒市的芯片厂扩产计划，预期将在年底完成出资。据彭博社报道，美光科技正在考虑计划斥资 1600 亿美元在得克萨斯州中部新建一家半导 敬请参阅最后一页特别声明 -9- 证券研究报告 机械行业 体工厂。 资本开支：大陆晶圆厂龙头逆周期加大投资力度。中芯国际拟在天津投建 10 万片/月的 12 英寸 28-180nm 晶圆代工厂，总投资 75 亿美元。自 2020 年以来，中芯国际陆续公布中芯京城、中芯深圳、中芯东方（临港）、中芯天津（西青）四条产线合计产能 34 万片/月，合计投资 263.2 亿美元（=76+23.5+88.7+75），按最新 Wind 汇率数据折合约 RMB1800 亿元。 表 7：中芯国际近年来公布的新建 12 英寸晶圆厂计划 项目 公布时间 技术节点 产能 投资金额 单位投资 中芯京城 2020 年8月 28nm 及以上 首期10万片/月 76 亿美元 7.6 亿美元/万片/月 中芯深圳 2021 年3月 28nm 芯片 4 万片/月 23.5 亿美元 5.9 亿美元/万片/月 中芯东方 2021 年9月 28 纳米及以上 10 万片/月 88.7 亿美元 8.9 亿美元/万片/月 中芯西青 2022 年8月 28-180nm 10 万片/月 75 亿美元 7.5 亿美元/万片/月 合计 34 万片/月 263.2亿美元 7.7 亿美元/万片/月 资料来源：中芯国际公司公告，光大证券研究所 设备突破：新品设备交付密集、业务版图持续扩大。盛美上海 ECP设备系列第500 个电镀腔出机，顺利交付客户；精测电子首台 12 寸晶圆外观光学检测设备成功交付客户；北京烁科中科信中束流离子注入机顺利交付。8 月 22 日，盛美上海 ECP 设备系列第 500 个电镀腔出机，顺利交付客户，公司的电镀设备在客户端产线上表现出对比竞争对手更优异的性能，截至 8 月 23 日，产品订单达 67台，金额超过 12 亿，累计出机电镀腔 500 个腔体。8 月 23 日，精测电子首台12 寸晶圆外观缺陷光学检查机在精测电子苏州产业园顺利出机正式交付客户，这是精测电子自主研发的晶圆外观检测设备首次成功交付客户，标志着精测电子在泛半导体检测领域取得又一重要技术突破。 设备招标：北方华创中标杭州积海 1 台刻蚀、中标浙江创芯 3 台设备。近期招标集中在上海积塔、杭州积海、上海新昇、浙江创芯，其中，上海积塔的中标数据中，北方华创中标 1 台刻蚀设备，华大九天中标 1 套 EDA 软件，概伦电子中标闪烁噪声分析仪 1 台。浙江创芯的中标数据中，北方华创中标掺杂多晶硅退火立式炉管 1 台、多晶硅刻蚀系统加腔体 1 台、铝溅射沉积系统加腔体 1 台。上海新微半导体的 7 台半自动晶圆测试直流探针台均为矽电半导体中标。 设备国产化率：仍有大幅提升空间。根据已有中国招标网数据，光刻机、电镀、Track、离子注入、Epi、ALD、CVD 等国产化率较低，而 CMP、PVD、清洗、刻蚀、去胶、热处理设备国产化率达到 10%以上。 敬请参阅最后一页特别声明 -10- 证券研究报告 机械行业 图 1：半导体设备国产化率 资料来源：中国国际招标网、光大证券研究所 中报业绩：订单增长强势，规模效应带动扣非净利率大幅提升。 （1） 收入方面：盛美中报收入增长 75%、华海清科中报收入增长 144%、中微公司中报收入增长 47%，华峰测控收入增长 67%，拓荆科技 5.23 亿收入同比增长 365%，芯源微收入同比增长 44%； （2） 订单方面：中微公司上半年新增订单金额30.6亿元，同比增长62%，22H1华海清科新订单 20.19 亿元，同比增长 133%； （3） 合同负债：2021Q4、2022Q1、2022Q2 拓荆科技的合同负债规模依次是4.88、7.80、10.87 亿元，华海清科依次是 7.79、8.36、10.03 亿元，芯源微依次是 3.53、4.34、6.28 亿元； （4） 扣非净利率：拓荆科技 Q2 扣非净利率 17%，中微公司 Q2 扣非净利率25%，华海清科扣非净利率 18%。 拓荆科技：PECVD+SACVD+ALD+ HDPCVD+ UV Cure，丰富薄膜沉积产品线及工艺，积极开拓多边形高产能平台和六站式机台。 （1） 上半年 5.23 亿收入，同比增长 365%，扣非净利润 0.5亿元，去年同期-0.68 亿元； （2） 产品结构：PECVD 收入4.67 亿元同比增长 345%；SACVD 收入 0.41 亿元，ALD 收入 0.085 亿元； （3） 盈利水平：上半年毛利率 46.76%（Q1=47.4%，Q2=46.6%），2021H1毛利率 38.3%，2021 全年 44.0%。Q2 扣非净利率 17%，Q1 为-20%； （4） 存货：2021Q4、2022Q1、2022Q2 依次是 9.53、12.94、15.63 亿元，发出商品 2021Q4、2022Q2 依次是 7.56、9.31 亿元。 （5） 合同负债：2021Q4、2022Q1、2022Q2 依次是 4.88、7.80、10.87 亿元。 （6） 公司设备在客户端产线生产运行稳定性表现优异，平均机台稳定运行时间（Uptime） 超过 90%（业内标准通常为大于 85%）； 敬请参阅最后一页特别声明 -11- 证券研究报告 机械行业 （7） 新产品：TS-300（多边形高产能平台）（已有订单）、 基于高产能平台的热处理原子层沉积 Thermal ALD（已有订单）、 HDPCVD（已有订单）、紫外线固化处理（UV Cure）（已有订单）； （8） 六站式：PECVD【NF-300H（六站式）】在 DRAM 存储芯片制造领域实现首台产业化应用，可以沉积 Thick TEOS 介质材料薄膜。 （9） TS-300（多边形高产能平台）: 公司多边形高产能平台可以搭载 PECVD 反应腔、 ALD 反应腔及 HDPCVD 反应腔，已取得现有及新客户订单。 华海清科的产品系列：CMP+减薄+清洗+量测+供液系统+晶圆再生+关键耗材与维保服务。22H1 收入 7.17 亿元同比增长 144%，净利润 1.86 亿元同比增长163%： （1） CMP 进一步提升逻辑、存储等集成电路制造领域市占率的基础上，公司持续推进面向更高性能、更小节点的 CMP设备开发及其工艺验证； （2） 减薄12英寸减薄抛光一体机在客户端验证进展顺利，针对封装领域的 12英寸超精密减薄机按计划顺利推进； （3） 清洗、量测基于公司在湿法工艺、量测技术领域的长期技术积淀，面对客户细分领域的清洗、量测等需求，公司积极开展新产品研发； （4） 供液系统满足湿法工艺设备所用研磨液、清洗液等化学品供应需求的供液系统已获得批量订单； （5） 关键耗材与维保服务业务规模随着公司 CMP设备批量化应用而随之扩大，公司客户端维护机台超 200 台； （6） 晶圆再生进展顺利，已实现双线运行，并通过多家客户验证，产能已经达到 50K/月，获得多家大生产线批量订单并实现长期稳定供货。 中微公司的产品布局：CCP+ICP+ALE+LPCVD+ALD+EPI+MOCVD 的七大类设备平台。中微公司 2022H1 订单同比增长 61.83%达到 30.57 亿元，营业收入同比增长 47.30%达到 19.72 亿元，扣非归母净利润同比增长 615.26%达到 4.41 亿元。产品布局方面： （1） CCP：先进逻辑电路方面，成功取得 5 纳米及以下逻辑电路客户的重复订单。存储电路方面，在 64层、128 层及更高层数 3DNAND 的生产线得到广泛应用。 （2） ICP：有序推进进行下一代 ICP刻蚀产品的技术研发，以满足 5 纳米以下的逻辑芯片、1X 纳米的 DRAM 和 200 层以上的 3DNAND 存储芯片等产品的 ICP刻蚀需求，并进行高产出的 ICP 刻蚀设备的研发。 （3） LPCVD：wu-CVD 设备获得了阶段性进展。能满足先进逻辑器件接触孔填充应用，以及 64 层、128 层和 200 层以上 3DNAND 中的多个关键应用，目前已通过关键客户的工艺验证，并积极推进设备在客户产线进行量产验证。 （4） ALD：正进一步开发 CVD 和 ALD，实现更高深宽比和更小的关键尺寸结构的填充。 （5） EPI：研发进展顺利，已进入样机的制造和调试阶段，满足客户先进制程中锗硅外