深度报告-20230113-民生证券-半导体电子特气深度报告_电子制造之_血液_国产替代浪潮将至_56页_4mb.pdf

本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 1 2023 01 13 110 5N 1 2022 49 189 43%14%2 Linx Consulting 2021 8.80 3.35 3 2020 CR4 75%Fab 1 2 3 EPS PE 2021A 2022E 2023E 2021A 2022E 2023E 688628 78.38 1.08 2.00 2.60 73 39 30 002549 15.27 0.22 0.35 0.56 77 43 27 688106 19.87 0.34 0.49 0.75 58 40 27 300346 30.59 0.32 0.48 0.67 144 64 45 002409 51.10 0.70 1.34 1.75 73 38 29 Wind;2023 1 12 wind Table_Author S0100521120004 S0100522080001 1.-2022/12/27 2.2022Q4-2022/12/17 3.-2022/12/05 4.-2022/11/25 5.2022Q3-2022/11/16 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 2 1“”.3 1.1.3 1.2.3 1.3.7 1.4.12 1.5.15 1.6.17 2.19 2.1.19 2.2.21 3.24 3.1.24 3.2.26 3.3.28 3.4.30 4.33 4.1.33 4.2.33 5.35 5.1.35 5.2.36 6.53.54.55 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 3 1 1.1 2018 1 2021 1.2 1 2 3 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 4 1.2.1 1 CVD TEOS TEB TEPO(Special Gas)2020 260 2 99.995%99.96%99.999%99.999%100/2,99.999%,99.99%,Bulk Gas /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 5 85%80%3 Ar UV CO DI()He H EUV O 10ppb LOX N 5 1.2.2 4 CVD /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 6 5 30%-40%60%-70%50%50%LED 50%-60%40%-50%60%40%30%-40%60%-70%LED 40%-50%60%1.2.3 6 14nm 7nm 5nm GaN Si3N4 LED Ar/F/Ne Kr/Ne Ar/Ne /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 7 Ar/Xe/Ne Kr/F/Ne-1.3 2 1 2 3 4 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 8 3 Cathay Chemical 1.3.1 CF 4 SF 6 C 2F 6 NF 3 Cl 2 Br 2 HBr O 2 H 2 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 9 4 1 2 3 5 1.3.2 PN III V /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 10 6 FindRF N P N P 7 8 FindRF 1.3.3 CVD CVD PVD SiH 4 DCS TCS SiCl 4 TEOS NH 3 N 2O WF 6 H 2 O 2 Si SiH 4 Si 4N 3 SiCl 4 NH 3 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 11 9 1.3.4 Ar/F/Ne Kr/Ne Ar/Ne Kr/F/Ne Ar/Xe/Ne 10 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 12 1.4 11 1.4.1 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 13 12 1.4.2 4.5N 5N 6N 7N 99.99%4N 99.999%5N99.9995%5N5 N 12 90nm 5N6N ppb(10-9);28nm 6nm10nm 6N ppt(10-12)7 99.9%3N 99.9%4N 5N 6N 1000ppm 100ppm 10ppm 1ppm 1.4.3 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 14 13 1.4.4 15.0Mpa-56 14 1.4.5 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 15 15 1.5 16 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 16 100 300 17 18 SR 20 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 17 19 20 SR 47L 400L TFT-LCD 15-20 1.6 1 2 3 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 18 5N 12 90 IC 99.999%-99.9999%5N-6N 10-9 ppb ppb 10-12 8(um)(cm2)1M 1.2 0.5 4M 0.8 0.9 16M 0.55 1.3 64M 0.35 2 256M 0.23 3 1G 0.16 7 28 ppm 10-6 ppb 10-9 0.5-1 1-2 2-3 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 19 2 2.1 2022 49 2023 2024 52 54 2022-2024 CAGR 4.98%21 2017-2024E 2021 167 2022 189 2024 230 2022-2024 CAGR 10.31%22 2017-2024E 35384144464952548.6%7.9%7.3%4.5%6.5%6.1%3.8%0%2%4%6%8%10%01020304050602017 2018 2019 2020 2021 2022E 2023E 2024E YOY10912213515016718920723011.9%10.7%11.1%11.3%13.2%9.5%11.1%0%4%8%12%16%20%0501001502002502017 2018 2019 2020 2021 2022E 2023E 2024E YOY/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 20 2021 43%14%23 2021 24 2020 2-3 Linx Consulting 2021 44.23 20%8%28%9 1 NF3 8.8 20%2 WF6 3.35 8%3 C4F6 3.11 7%4 NH3 1.85 4%5 Xe 1.75 4%6 SiH4 1.68 4%7 N2O 1.39 3%8 PH3 1.2 3%9 1.15 3%10 ClF3 1.09 2%Linx Consulting 43%21%13%6%17%LED 33%14%13%13%7%4%3%13%CMP /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 21 2022 82.34 2025 113.5 25 2017-2025 2017-2021 55%65%2022 68%26 2017-2022%2.2 TECHCET 2020 CR4 75%()2020 0204060801001202017 2018 2019 2020 2021 2022E 2023E 2024E 2025E 0%20%40%60%80%2017 2018 2019 2020 2021 2022E/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 22 86%27 2020 28 2020 TECHCET“”10 28%25%13%11%23%25%23%22%16%14%/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 23 29 1 2 3 Fab 2025 70%/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 24 3 3.1 30 LED 1 2020 2 3 EDO 2019 6 AMOLED /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 25-30%-10%10%30%50%70%90%050100150200250300350 YOY YOY 31 2021 2021 35.5 13%2022 254.65 13.20%2019 2021 12.86%32 2018-2022Q3 33 2018-2022Q3 Wind Wind 2021 39%EMEA 25%2021 20%84%2021 8%0%20%40%60%/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 26 34 2021 35 2021 2021 2021 3.2 1902 75 66,400 380 36 39%25%20%9%7%EMEA(APAC 21%19%19%13%10%10%8%/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 27 37 2021 235.62 14%25.72 6%2022 142.07 13.05 2021 60.15%38 2017-2022H1 39 2017-2021 Wind Wind 2021 8.45 40%8.32 37%4.79 22%97%2021 32%-10%0%10%20%0501001502002502017 2018 2019 2020 2021 22H1 YOY YOY0%20%40%60%80%2017 2018 2019 2020 2021 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 28 40 2021 41 2021 3.3 1940 42 IC LED 38%3%22%37%32%35%29%4%/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 29 0%10%20%30%40%FY2018 FY2019 FY2020 FY2021 FY2022-60%-40%-20%0%20%40%020406080100120140FY2018 FY2019 FY2020 FY2021 FY2022 YOY YOY 43 1 2 3 1 2 3 4()2021 103.2 17%20.99 11.2%2022 126.99 23%26%-35%44 2018-2022 45 2018-2022 Wind Wind /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 30 2021 42.3 41%29.9 29%26.8 26%96%2021 97%46 2021 47 2021-3.4 1 2 3 3.4.1 41%26%29%4%97%3%/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 31 48 3.4.2 2021 103.2 2021 17.41 49 3.4.3 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 32 50 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 33 4 4.1 2020 2017-2021 175 342 18%2026 808 2021-2026 18.76%2021 167 2022 13.2%189 2023 200 51 2017-2023 4.2 10912213515016718920711.9%10.7%11.1%11.3%13.2%9.5%0%20%0501001502002502017 2018 2019 2020 2021 2022E 2023E YOY/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 34 11 2022 2022 2022 14.03 1.86 27.79%14.37 1.69 35.95%5.45 1.16 44.46%12.59 2.11 47.00%31.67 4.63 31.53%63.93 7.56 25.99%7.40 1.47 32.03%18.04 1.37 27.62%9.48 0.51 23.62%wind /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 35 5 5.1 12 EPS PE 2021A 2022E 2023E 2021A 2022E 2023E 688628 78.38 1.08 2.00 2.60 73 39 30 002549 15.27 0.22 0.35 0.56 77 43 27 688106 19.87 0.34 0.49 0.75 58 40 27 300346 30.59 0.32 0.48 0.67 144 64 45 002409 51.10 0.70 1.34 1.75 73 38 29 Wind;2023 1 12 wind /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 36 5.2 5.2.1 52 2005 20 8 IC 80%/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 37 13 6N 6N 5.5N 2021 2021 13.47 34.78%1.29 21.46%2022 14.03 41.01%1.86 80.77%22H1 6.58 78.96%127.57%2019 53.09%22H1 70%53 2017-2022Q3 54 2019-2021 Wind Wind 0246810121416 0%20%40%60%01234567892019 2020 2021 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 38 30%2020-2021 22H1 55 2019-2021 56 2019-2022H1 Wind Wind 50 ASML GIGAPHOTON 15 14nm 10 7nm 30 2022 6 30 158 47 22H1 0.33 80.86%48/15 2022 2023 024681012142019 2020 2021 0%10%20%30%40%2019 2020 2021 2022H1 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 39 2022 5nm 10+2021 73%27%30%20%2022-2024 18.65/22.83/28.35 2.41/3.12/3.90 2022-2024 PB 5.9/5.2/4.5 PE 39/30/24 Table_Forcast 14/2021A 2022E 2023E 2024E 1,347 1,865 2,283 2,835%34.8 38.4 22.4 24.2 129 241 312 390%21.5 86.4 29.5 25.0 1.08 2.00 2.60 3.24 PE 73 39 30 24 PB 6.8 5.9 5.2 4.5 Wind 2023 1 12 5.2.2 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 40 57 2021 56 60 2018 2020 7 12 15 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 41 2021 2021 6.68 28.68%2022 5.45 12.08%1.16 13.09%22H1 0.66 84.67%7 2022 1 9 2.57 2021 13 58 2017-2022Q3 59 2018-2022H1 Wind Wind 60 2018-2021 Wind 2022 ASML 02468 024682018 2019 2020 2021 2022H1 0%20%40%60%80%01232018 2019 2020 2021 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 42 9 2023 6 200 2000 1.5 5.2.3 LED LED MO 2020 ArF ArF MO 16 MO TEOS TSA HCDS TMA ArF Wind /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 43 6N LED IC 61 2019-2022Q3 62 2019-2022H1 Wind Wind 2022 12.59 77.64%2.11 70.33%2022 6.69 114.42%51.35%1.32%“”63 2017-2022H1 64 2020-2022H1 Wind Wind 22H1 4368/5261 120.43%140 024681012142019 2020 2021 2022Q1-Q3 30%40%50%60%024682019 2020 2021 2022H1 0%20%40%60%80%2020 2021 2022H1 MO 024682017 2018 2019 2020 2021 2022H1 MO /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 44 70 1000 3800 17 2022H1 4368 120.43%2021 6900 82.31%2020 3900 94.09%2019 840.8 96.93%Wind 5.2.4 IC LCD OLED/SOD LDS LDS 18 SOD SOD STI PCB /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 45 CCL EMC LNG LNG LNG-161.5-165 5 0.1Mpa LNG 2021 2011 5N Intel 2017 40%2022 31.67 17.63%4.63 18.88%2.2 14.81%22H1 18.15%2022 65 2017-2022Q3 66 2018-2022H1 Wind Wind 2021 90%70%0510152025303540 0%20%40%60%0123452018 2019 2020 2021 2022H1 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 46 1 2000 12000 2000 19/1.00 90%0.90 1.20 2.20 0.20 70%0.14 0.20 0.40 2021 LNG 22/23/24 43.02/56.74/71.12 6.36/8.35/10.85 PE 38/29/22“”Table_Forcast 20/2021A 2022E 2023E 2024E 3,782 4,302 5,674 7,112%66.4 13.7 31.9 25.3 335 636 835 1,085%-19.0 89.9 31.4 29.9 0.70 1.34 1.75 2.28 PE 73 38 29 22 PB 4.1 3.8 3.5 3.1 Wind 2023 1 12 5.2.5 50 21 LOGIC DRAM 3D NAND 5N 6N 5N5 5N 5N /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 47 5N 6N 4N 5N 5N5 5N 90%2019-2022H1 97.52%95.75%96.92%92.50%2021 17.33 42.05%3.55 49.45%14.94 91.06%2022H1,9.55 8.58 2022H1 40%67 2019-2022H1 68 2019-2022H1 051015202019 2020 2021 2022H1 03691215182019 2020 2021 2022H1 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 48 69 2019-2022H1 70 2019-2022H1 2002 99.9%2007 5N 6N 6N 30 2021 9250 2,230 2025-2026 3,250 5.2.6 22 MOCVD GaN CVD PCB 30%40%50%051015202019 2020 2021 2022H1 0%20%40%60%2019 2020 2021 2022H1 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 49 2010 2010 7N 50%LED 50%LED LED 2022 14.37 16.46%1.69 34.47%2022 32%71 2018-2022Q3 72 2018-2021 Wind Wind 05101520 0%20%40%60%012345672018 2019 2020 2021 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 50 2022 8 SK TGM TGM 73 2017-2021 74 2017-2021 Wind Wind 100 2022 22/23/24 20.03/28.16/37.25 2.39/3.63/4.93 PE 40/27/20 Table_Forcast 03691215182017 2018 2019 2020 2021 0%20%40%60%2017 2018 2019 2020 2021 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 51 23/2021A 2022E 2023E 2024E 1,741 2,003 2,816 3,725%40.0 15.0 40.6 32.3 167 239 363 493%-15.3 43.3 51.4 36.0 0.34 0.49 0.75 1.01 PE 58 40 27 20 PB 3.6 3.4 3.2 3.0 Wind 2023 1 12 5.2.7 2019 FAB 2021 1 FAB 2021 5 6-8 12 FAB 2021 9 pre-A Database 2022 4 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 52 12 knowhow GN2)PN2 PO2)PH2 PAr PHe 75 76 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 53 6 1 2 3 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 54 1.3 2.7 3.8 4.9 5.9 6.10 7.10 8.10 9.11 10.11 11.12 12.13 13.14 14.14 15.15 16.15 17.16 18.16 19.17 20.17 21 2017-2024E.19 22 2017-2024E.19 23 2021.20 24 2020.20 25 2017-2025.21 26 2017-2022%.21 27 2020.22 28 2020.22 29.23 30.24 31.25 34 2021.26 35 2021.26 36.26 37.27 38 2017-2022H1.27 39 2017-2021.27 40 2021.28 41 2021.28 42.28 43.29 44 2018-2022.29 45 2018-2022.29 46 2021.30 47 2021-.30 48.31 49.31 50.32 51 2017-2023.33 52.36 53 2017-2022Q3.37 54 2019-2021.37 55 2019-2021.38 56 2019-2022H1.38 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 55 57.40 58 2017-2022Q3.41 59 2018-2022H1.41 60 2018-2021.41 61 2019-2022Q3.43 62 2019-2022H1.43 63 2017-2022H1.43 64 2020-2022H1.43 65 2017-2022Q3.45 66 2018-2022H1.45 67 2019-2022H1.47 68 2019-2022H1.47 69 2019-2022H1.48 70 2019-2022H1.48 71 2018-2022Q3.49 72 2018-2021.49 73 2017-2021.50 74 2017-2021.50 75.52 76.52.1 1.4 2.4 3.5 4.5 5.6 6.6 7.13 8.18 9.20 10.22 11.34 12.35 13.37 14.39 15.40 16.42 17.44 18.44 19.46 20.46 21.46 22.48 23.51 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 56。12 A 300 500 15%5%15%-5%5%5%5%-5%5%5%8 1 5F 200120 28 A 18 100005 6001 32 05 518026