20231128_民生证券_机械行业一周解一惑系列：芯片制造之光国产替代进行时_26页.pdf

本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 1 2023 11 28 8 12 2012 369.2 2022 1076.5 CAGR 11.29%2012 24.9 2022 282.7 CAGR 27.5%2020 2022 JW Insights 2022 17%23%30%CD NA k1 k1=0.25 ASML EUV 800 0 1 90nm(600)28nm 1 2 3 Table_Author S0100521110006 13681805643 lizhe_ 1.OLED-2023/11/19 2.3C 2023/11/06 3.+-2023/10/23 4.-2023/10/30 5.-2023/10/15 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 2 1“”.3 1.1.3 1.2.4 1.3.7 2.8 2.1.8 2.2.8 3.15 3.1 EUV.15 4“0”“1”.19 5.20 6.24.25.25 ZXCXzQrMsRqRtNpMmRoRqR6M8Q7NnPmMtRsRiNqRrQkPsQwP8OrQpMNZnQqQMYrNpP/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 3 1 1.1 8 12 1 20-30 IC 50%1/3 2012 369.2 2022 1076.5 CAGR 11.29%2012 24.9 2022 282.7 CAGR 27.5%2020 2022 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 4 2 SEMI 100 JW Insights 2022 17%23%30%3 2022 Gartner 1.2 8-(1 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 5(2(3(4(Alignment and Exposure)(5(Post Exposure Bake,PEB)i-i-(6)(Development)()(7(Hard Bake)(8(After Development Inspection,ADI)Rework /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 6 4 1.2.3.4.5./本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 7 5 1.3 CD=k/A CD NA k1 k1=0.25 30 CD ASML CD 6 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 8 2 2.1 ASML EUV 800 Zeiss ASML(Cymer 7 ASML 2.2 UV(DUV)EUV 1 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 9 436nm g-line 365nm i-line 2 DUV 1980 DUV laser KrF 248nm ArF 193nm F2 157nm ArF 134nm 3 EUV EUV ASML 13.5nm DUV 14,8 2.2.1 253.7nm(),404.7nm 435.8nm 546.1nm 577.0 579.0nm,365.0nm i-line 365nm g-line 436nm 0.8-0.35 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 10 9 2.2.2 DUV DUV ArF ArF 2 2 Ar F2 He Ar F2 He 248nm KrF 350-180nm 193nm ArF 193 nm ArF 10 nm /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 11 10 2.2.3 EUV EUVLL 13.5nm 11 EUV EUV CO2 LPP 25 70 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 12 EUV 50,000 12 EUV 2.3 DUV EUV /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 13 13 2.4 ASML /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 14 14 nm ASML ArFi TIS 15 16 TIS /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 15 3 1961,GCA 60 ASML 1955 1961 GCA 1978 1984 GCA 30%ASML 2000 ASML 2003 ASML ASML 2013 ASML EUV ASML EUV 0.55NA 0.33 0.55 2025 3.1 EUV 5 436nm 30 13.5nm 600nm 3nm g-line i-line KrF ArF EUV 1 nm EUV 13.5nm 7-3nm DUV ArF+immersion 193nm 134nm 45-7nm/130-65nm/F2 157nm 180-13nm ArF 193nm 180-13nm KrF 248nnm 180-13nm i-Line 365nm 800-250nm h-Line 405nm 800-250nm/g-Line 436nm 800-250nm 3.1.1 1961 GCA 20 60-70 1:1 4-5 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 16 15-25 1:1 2-4 20 70 17 18 Hong Xiao Hong Xiao 3.1.2 1973 Perkin Elmer 1mm 1 350-180nm 1978 GCA NSR-1010 0.18um 19 20 Shiyuan Liu Shiyuan Liu 3.1.3 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 17 2000 ASML 2003 7nm-45nm 1.44 1.00 21 3.1.4 EUV 2010 ASML EUV NXW:3100 EUV DUV 7nm 193nm ArF DUV 45/40nm DfM 28nm 193nm 7nm ETCH CMP 5nm 13.5nm EUV 193nm 1/14 OPC 2010 ASML EUV NXW:3100 EUV /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 18 22 EUV SOC 2()/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 19 4 0 1 ASML 2 1966 109 65 1977 GK-3 1985 45 2007 90nm 2019 90 90nm(600)28nm /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 20 5 5.1()(SMEE)FPD MEMS LED Power Devices 2002 2006 2009 SSB500/10A 2017 10 90nm 23 SMEE,90/110/280nm 8/12 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 21 3 TFT 200 SSB200 AM-OLED LCD TFT 2.5 6 TFT 6 1.5-2 m L/S LED MEMS Power Devices 300 SSB300 6 HB-LED MEMS Power Devices 0.8-1.5 m I line IC 500 SSB500 200mm/300mm Flip Chip Fan-In WLP Fan-Out WLP 2.5D/3D Bumping RDL TSV 1-2 m ghi line/gh line/I line 200/300mm IC 600 SSX600 IC 90nm 110nm 280nm 8 12 90-280nm ghi-line/gh line/i-line 200/300mm 5.2 002338.SZ 背 靠 中 科 院 光 机 所，国 防 领 域 优 势 突 出。2001 1958 2010 2022 2000/IC 20 IC /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 22 X Y 因 此，在 光 刻 机 中 需 设 置高 精 度 的 位 移 测 量 系 统 以 保 证 掩 模 台、工 件 台 的 运 动 精 度 和 定 位 精 度。2009 CPE-Bus 2012 2013 5.3 A20224.SH 3C IC-9 IC DWS DWS 65nm IC.3 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 23 24,/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 24 6 1 IDM 2 3 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 25 1.3 2.4 3 2022.4 4.6 5.7 6.7 7.8 8.9 9.10 10.11 11.11 12 EUV.12 13.13 14.14 15.14 16 TIS.14 17.16 18.16 19.16 20.16 21.17 22 EUV.18 23.20 24.23 1.15 2.19 3.21 /本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 26。12 A 300 500 15%5%15%-5%5%5%5%-5%5%5%8 1 5F 200120 28 A 18 100005 6001 32 05 518026