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1 2 3 SiC GaN 4 SiC GaN 5 2019 第三代半导体材料产业演进及投资价值研究白皮书目录 Contents 01 02 03 04 05 06 07 08 09 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 01 2 Si SiC GaN 2.3 50% 75% GaN SiC SiC/GaN 3 1947 Ge 1958 Si Si Ge GaAs InP GaAs 1954 1962 LED GaAs 1985 (VGF) GaAs InP 1995 AXT 4 GaAs InP Si GaN SiC 1969 GaN 1994 GaN LED 1891 SiC 1955 Lely SiC ( PVT ) PVT SiC Si Ge Ge 95% 99% Si GaAs InP GPS GaAs InP InP SiC GaN 2eV 4 1886 Ge 1952 Si 1928 GaN 1994 MOCVD GaN LED 4H-SiC 1985 GaN 1989 Akasaki GaN P PN 1995 Nakamura GaN 1997 GaN Cree 2 6H-SiC 1992 GaN Shuji Nakamura GaN 1959 Lely SiC 1967 HVPE GaN 1991 Lely 6H-SiC 2014 8 SiC GaN 1824 SiC 1885 Acheson SiC 1907 SiC 1970 RCA GaN LED 1978 Lely 1979 SiC 1981 Matsunami Si SiC 2000 4 6H-SiC 5 Si Si SiC GaN eV 1.1 3.3 3.4 10 7 cm/Vs 1350 1000 2000 10 7 cm/s 1.0 2.2 2.7 11.9 9.7 8.9 W/cmK 1.49 4.9 1.3 MV/cm 0.3 2.8 3.3 175 600 800 Si : 602 7 上游下游中游 SiC 粉料晶锭衬底 GaN 蓝宝石/Si/SiC/GaN 单晶生长切磨抛外延生长外延电力电子光电子微波射频单晶炉滚圆机内圆切割机多线切割机磨抛机 MOCVD 设计制造封测 E D A 仿真芯片制造芯片测试 E D A 软件光刻机刻蚀机离子注入机退火炉焊接机清洗设备减薄机划片机测试 SiC SiC SiC SiC SiC SiC SiC GaN GaN HVPE GaN GaN GaN Si GaN GaN SiC Si GaN GaN SiC Si LED 8 SiC Cree II-IV Rohm Norstel Dow Corning Aymont 46 2 Norstel GaN Kyma Monoecrystal SiC 4 6 SiC SiC SiC 4 6 6 GaN 2 4 6 4 6 9 / SiC GaN 10 4 2 1 0 GaN (HVPE ) GaN SiC PVT SiC PVT 8 4-6 GaN HVPE 6 2-4 SiC SiC (PVT Lely ) (HTCVD) (LPE) PVT PVT SiC SiC SiC SiC GaN GaN GaN ( SiC ) GaN GaN GaN HVPE HVPE HVPE GaN 100-200m/ 6 GaN GaN GaN GaN 1103 12 5G 2018 4.2 42.6% 2016-2018 -1.0% 21.2% 42.6% Y2016 Y2017 Y2018 增长率 2.43 2.94 4.19 Y2016 Y2017 Y2018 销售额（亿美元） 2019 02 2018 2018 5G 6.0 47.3% 2016-2018 7.6% 30.8% 47.3% Y2016 Y2017 Y2018 增长率 3.10 4.06 5.97 Y2016 Y2017 Y2018 销售额（亿元） 2019 02 13 2018 SiC 2.33 55.8% GaN 1.86 44.2% 2018 GaN 44.2% SiC 55.8% 2018 SiC 3.70 62.0% GaN 2.27 38.0% 2018 GaN 38.0% SiC 62.0% 14 2019 02 2019 02SiC SiC SiC SiC 2006-2020 SiC 2018 SiC 3.70 76.2% 2016-2018 SiC 2019 02 1.34 2.10 3.70 Y2016 Y2017 Y2018 销售额( 亿元） 9.8% 56.7% 76.2% Y2016 Y2017 Y2018 增长率 SiC 2018 SiC 32.5% 1.60 1.20 0.70 0.20 销售额（亿元） 43.2% 32.5% 18.9% 5.

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