ICS 17.080 CCS L 85 13 河北省地方标准 DB 13/T 5874 2023 电子工业 用氟化氢 中杂质的 测定 色谱 法 2023-10-25 发布 2023-11-25 实施 河北省市 场监督 管 理局 发 布 DB 13/T 5874 2023 I 前 言 本文件 按照GB/T 1.1 2020 标准 化工 作导 则 第1 部分：标准 化文 件的 结构 和起草 规则 的 规定起草。文件的 某些 内容 可能 涉及 专利。本文 件的 发布 机构 不承担 识别 专利 的责 任。本文件 由邯 郸市 市场 监督 管理局 提出。本文件 起草 单位：中 船（邯郸）派瑞 特种 气体 有限 公司。本文件 主要 起草 人：殷 越 玲、郑 秋艳、柳 彤、李帅 楠、崔 雯、刘海 芳、袁攀 攀。DB 13/T 5874 2023 1 电 子工业 用氟化氢 中杂质 的测定 色 谱法 1 范围 本文件规定了电子工业用 氟化氢中杂质的测定原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果 处理 等。本文件 适用 于 电 子工 业用 氟化氢 中氢 气、氧 气+氩气、氮 气、甲烷、一氧 化碳、二氧化 碳的 测定。氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含 量测定的检出 限不大于0.01 10-6（体积 分数）。2 规范性 引用 文件 下列文件中的内容通过文 中的规范性引用而构成本 文件必不可少的条款。其 中，注日期的引用文件，仅该 日期 对应 的版 本适用 于本 文件；不 注日 期的引 用文 件，其最 新版 本（包 括所 有的 修改 单）适用于 本文 件。GB/T 4844 纯氦、高 纯氦 和超纯 氦 GB/T 28726 气 体分 析 氦 离子化 气相 色谱 法 3 术语和 定义 本文件 没有 需要 界定 的术 语和定 义。4 氢气、氧气+氩 气、氮气、甲烷、一氧 化碳 和二 氧化 碳含量 的测 定 原理 采用配备气路切换装置和 氦离子化检测器的气相色 谱仪对各组分分析。当样 品气体经色谱柱分离后进入氦离子化检测器 时，与亚稳态的氦发生非 弹性碰撞而电离，在检测 器的收集极输出相应 的微电流，微电流经放大器 放大后的电流讯号在一定 范围内与组分含量成正比。将样品气体的色谱 峰与标准 气体 进行 比较，根 据保留 时间 定性，电 流讯 号大小 定量，从 而测 定样 品气体 中各 组分 的含 量。试剂或 材料 载气：高纯 氦气，纯 度 9 9.999 10-2（体 积分 数）；标准气 体：氦中氢 气标 准气 体，含量 为51 0-6（体积 分数）；氦中氧 气+氩气 标准 气体，含量为51 0-6（体积 分数）；氦中氮 气标 准气 体，含量 为51 0-6（体积 分数）；氦中甲 烷标 准气 体，含量 为51 0-6（体积 分数）；氦中一 氧化 碳标 准气 体，含量为51 0-6（体积 分数）；氦中二 氧化 碳标 准气 体，含量为51 0-6（体积 分数）。仪器设 备 采用配 备气 路切 换装 置（见附录A）和氦 离子 化检 测 器（PDHID）的 气相 色谱 仪，仪器 对氢 气、氧气+氩 气、氮气、甲 烷、一 氧化碳、二 氧化 碳含 量测 定的检 出限 不大 于0.01 10-6（体 积分 数）。a)色谱柱；色谱柱1：长2.0 m，内径3.2 mm，内 部装 填颗 粒度 为（6080）目的Carboblack W 的 色谱 柱；色谱柱2：长2.0 m，内 径3.2 mm，内 部装 填颗 粒度 为（6080）目的13X 分子 筛 不锈钢 色谱 柱；色谱柱3：长4.0 m，内径3.2 mm，内部 装填 颗粒 度为（6080）目的Hayesep Q 不锈钢 色谱 柱。b)仪器气 路分 析流 程见 附 录A。DB 13/T 5874 2023 2 样品 电子工 业用 氟化 氢样 品质 量应符 合表1的 要求。表1 氟化氢 的技 术指 标 项 目 技术指标 氢气（H2）含量（体积分数），10-6 10 氧气+氩气（O2+Ar）含量（体 积分数），10-6 1.0 氮（N2）含量（体积分数），10-6 1.0 甲烷含量（体积分数），10-6 1.0 一氧化碳（CO）含量（体积分 数），10-6 1.0 二氧化碳（CO2）含量（体积分 数），10-6 1.0 测定步 骤 4.5.1 测定前 准备 按GB/T 28726 的要 求启 动 仪器，并严 格试 漏，以 保 证管路 气密 性。调整 仪器 各部件 达到 测定 条件，待 仪器 稳定 后即 可测 定。测定推 荐条 件如 下：a)载气流 速：120 mL/min；b)衰减：10-9；c)色谱柱 温度：70 C；d)检测器 温度：120 C；e)进样体 积：0.5 mL。4.5.2 标准气 体测 定 标准气应选用有证标准物 质认定证书的标准气体。在符合规定的测定条件下 定体积进样，待测定组分峰出完后，测其峰 面积，取平行测定两次峰 面积的算术平均值为定量 标准，两次峰面积的 相对偏差 应不 大于5%。4.5.3 样品气 体测 定 将待测样品气用取样阀及 取样管与仪器进样阀入口 连接，充分置换取样阀及 其 管道。按仪器操作规程，以定标时同样的 测定条件定体积切换进待 测样品气。平行测定待测 样品气至少两次，取 其平均值。结果处 理 按公式（1）分 别计 算氢 气、氧气+氩 气、氮气、甲 烷、一氧 化碳、二 氧化 碳的 含量。（1）DB 13/T 5874 2023 3 式中：i 样品 气中 待测 组分i的 含 量（体 积分 数，10-6）；si 标准 气中 待测 组分i的 含 量（体 积分 数，10-6）；i A 样品 气中 待测 组分i的 峰 面积；si A 标准 气中 待测 组分i的 峰 面积；i 代 表待 测组 分。5 精密度 和准 确度 氟化氢 中杂 质的 测定 结果 的相对 标准 偏差 不大 于10%。DB 13/T 5874 2023 4 A A 附录A（资料 性）氟化氢 中氢 气、氧气+氩 气、氮气、甲 烷、二氧 化碳、一氧 化碳 含量 测定 气路 示意图 注：1.定量环1、定量环2 的体积均 为0.5mL；2.针阀均为放空阀；3.氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳经气动阀1、Carboblack W、13X 分子筛进入PDHID 检测器；4.二氧化碳经气动阀2、Hayesep Q-1、Hayesep Q-2 进入PDHID 检测器；图1 氟化 氢中 氢气、氧气+氩气、氮 气、甲烷、二 氧 化碳、一氧 化碳 测定 气路 示意图