本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 1 688147.SH ALD+2023 01 07 ALD ALD TOPCon XBC 2018 0.42 2021 4.28 CAGR 117%ALD ALD 1 ALD 45nm High-k 3D Gartner 2021 ALD 13%27 2 N TOPCon HJT TOPCon 33-40%N 2022 2022 Q3 20 120%+High-k 28nm ALD ALD PECVD TOPCon ALD PEALD PECVD ALD ALD ALD 2022-2024 6.03/11.99/16.72 0.32/1.19/2.01 PE 398/107/63 ALD Table_Forcast/2021A 2022E 2023E 2024E 428 603 1,199 1,672%36.9 41.0 98.6 39.5 46 32 119 201%-19.1-30.7 273.4 68.3 0.10 0.07 0.26 0.44 PE 276 398 107 63 PB 14.4 6.6 6.2 5.6 Wind 2023 1 5 27.81 Table_Author S0100521120004(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 2 1 ALD.3 1.1 ALD.3 1.2.3 1.3.6 1.4.7 1.5.9 2 ALD.12 2.1 ALD.12 2.2 ALD.13 2.3 ALD.21 3+.26 3.1 0 1.26 3.2 TOPCon.28 4.32 5.33 5.1.33 5.2.34 5.3.34 5.4.35 6.36.38.38(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 3 1 ALD 1.1 ALD ALD High-K 28nm ALD 1 1.2 2019 2019-2021 2.16 4.28 40.81%2022 3.85 67%(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 4 2020 2020 2022 2 2019-2022 3 2019-2022 Wind Wind 2018 PERC ALD 2021 1.23 2020 447.79 2018 2021 ALD PECVD PEALD ALD 2022 H1 ALD 0.65 PEALD 0.48 PECVD 0.30 475 ALD 2021 2022 H1 PEALD PECVD ALD 0123452019 2020 2021 2022Q1-Q3 0%2%4%6%8%10%(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 5 4 5 1 2022 1-6 2021 2020 2019 5,110.79 18.53%8,079.57 27.43%7,282.63 30.09%4,829.60 36.22%1,323.66 4.80%754.96 2.56%872.24 3.60%790.65 5.93%4,355.59 15.79%3,644.94 12.38%5,083.44 21.01%1,291.65 9.69%1,149.74 4.17%1,278.84 4.34%1,050.02 4.34%911.96 6.84%10,734.59 38.93%7,409.93 25.16%4,104.49 16.96%2,259.69 16.94%1,284.46 4.66%2,122.97 7.21%2,117.48 8.75%524.57 3.93%1,064.48 3.86%3,244.43 11.02%1,479.24 6.11%2,098.48 15.74%1,005.33 3.65%1,174.15 3.99%958.42 3.96%333.84 2.50%1,547.52 5.61%1,740.21 5.91%1,252.94 5.18%295.47 2.22%27,576.16 100.00%29,450.01 100.00%24,200.90 100.00%13,335.90 100.00%2022 2022 7.62 72%4.4 101%2022 9 20 120%2022 012342019 2020 2021 22H1-ALD-PECVD-PEALD-ALD-0%20%40%60%2019 2020 2021 22H1-ALD-PECVD-PEALD-ALD-(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 6 6 7 Wind Wind 1.3 2015 ALD,TOPCon GW TOPCon 25%ALD High-k 28nm 8 0123452019 2020 2021 2022Q1-Q30123456782019 2020 2021 2022Q1-Q3(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 7 2019-2021 2022 H1 92.97%9 2021 10 2022 1-6 1.4 IPO 67.34%3C LIWEIMING LIXIANG 10.47%4.93%0.41%0.34%16.15%27.98%26.93%14.27%9.10%5.89%15.82%A 50.07%26.80%7.81%4.35%3.93%7.04%(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 8 11 LIWEIMIN 25 ALD ASM Microchemistry ASM Picosun AMAT ALD 2015 12 2016 1 2015 12 2019 12 2016 2 2019 12 2019 12,LIXIANG 10 ALD 35 2020“”2019 2018“”2018 2016“”28nmHfO2 2021“”2021“”2020“”2019“”15 N 6 30(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 9 Novellus System Lam KLA 1.5 ALD ALD ALD 2022 0.94 24.29%12 2019-2022 Wind 97 2 4 3 2 5 1 1 7-0%20%40%0200040006000800010000120002019 2020 2021 2022Q1-Q3(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 10 ALD HJT ALD 3 1 TOPCon ALD PEALD TOPCon TOPCon 2 ALD ALD ALD 3 ALD ALD 4 PEALD/PECVD ALD PEALD 5 Mini-LED Mini LED 300mm/200mm 6 6/8 ALD MEMS 7 ALD ALD FeRAM FeFET 8 300mm ALD 10nm 9 28nm High-k ALD 10(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 11 11 12(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 12 2 ALD 2.1 ALD ALD ALD/10/1nm ALD TALD TMA Al2O3 13 ALD ALD ALD 1 2 3 ALD ALD MEMS ALD(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 13 14 ALD 2.2 ALD 2.2.1 80%16%21%15 厂务 25%光刻 20%刻蚀 17%薄膜 16%量测 8%5%3%2%2%其他3%设备75%厂务光刻刻蚀薄膜量测清洗CMP热处理注入(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 14 Maximize Market Research 2017 125 2020 172 11.2%2025 340 13.3%16 2017-2025 Maximize Market Research Physical Vapor Deposition PVD Chemical Vapor Deposition CVD Atomic Layer Deposition ALD 1 PVD PVD 2 CVD CVD LPCVD APCVD PECVD MOCVD 3 ALD ALD DRAM 3DNAND ALD1251451551721902202602803400501001502002503003504002017 2018 2019 2020 2021E 2022E 2023E 2024E 2025E(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 15 17 ALD 45nm PVD CVD ALD PVD CVD ALD 0.1nm 4 PVD CVD ALD PVD CVD ALD 5nm 0.5-2nm 0.07-0.1nm(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 16 18 PVD CVD ALD CVD PECVD Gartner 2021 PECVD 63.2 30.56%PVD 43.6 21.08%ALD 27 13.06%19 2021 Gartner 28nm 3D ALD 0204060801001201402021 2022 2023 2024PECVD ALD PVD30.56%21.08%13.06%35.30%PECVDPVDALD(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 17 2.2.2 ALD Thermal ALD Plasma Enhanced ALD PE-ALD 200-500 ALD ALD PE-ALD PEALD CCPPEALD ICPPEALD 20 21 CCPPE-ALD ALD 28nm DRAM 3DNAND 1 High-k 65nm SiO2 45nm 28nm SiO2 1 k 10nm k SiO2 ALD k k TiO2 HfO2 AI2O3 ZrO2 Ta 2O5 HfO 2 5.8eV(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 18 22 SiO2 high-k 23 MOS k real world tech 2 2001 22nm/16nm/14nm FinFET 100%ALD 24 ALD 3 3D 3D ALD 3D(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 19 25 2D 3D ALD 40nm 7nm ALD 1 11 FeRAM ReRAM 3DNAND DRAM ALD 26 ALD 27 ALD 2.2.3 ALD AMS TEL 60%Lam AMAT ALD 02468101240nm 28nm 14nm 7nm012345678910FeRAM 3D NAND DRAM(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 20 1 ASM 1999 Microchemistry ALD 2 TEL ALD 3 AMAT LED 2022 Picosun ALD LED MEMS 4 Lam ALD 28 2020 ALD Gartner A PVD PECVD ALD MOCVD ALD ALD ALD 46%29%10%16%ASMTELLam(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 21 ALD 2.3 ALD 2.3.1 2010 2011 2021 2011 32.2GW 2021 170GW 5 2021 307GW 21%7 2021 54.88GW 13.9%9 29 2014-2021 GW 2010 2021 2021 197.9GW 2020 46.8%2007 14 0501001502002503003502014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 22 30 2011-2021 Al-BSFPERC TOPCon HJT IBC P P PERC N N TOPCon HJT IBC 31 2020-2030 TOPCon PERC PERC N HJT CPIA 2021 TOPCon GW 2.2 HJT 4 0501001502002502011 2012 2013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021(GW)GW 0501001502002503003502014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 23 5 PERC TOPCon HJT 2020 2021/GW/GW PERC 2.25 22.80%1.94 23.10%TOPCon 2.7 23.50%2.2 24.00%HJT 4.5-5.5 23.80%4 24.20%CPIA 2.3.2 2010 2021 400 32 2013-2021 2018-2021 PERC PERC PERC TOPCon HJT TOPCon PERC HJT 4 10%50%25%15%-20%0%20%40%0102030405060702013 2014 2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 24 33 PERC N-PERT TOPCon HJT XBC TOPCon N 2020 N 33-40%PERC 25%6 TOPCon PERC 2021.5 16GW TOPCon 8GW 20.25 36.43%2021.5 15GW TOPCon 15GW 46.64 34.57%2021.5 5GW 3GW N 3GW 10.15 33.00%2021.4 6.5GW N 6.5GW 36.15 37.34%2021.4 10GW 2GW N 2GW 11.33 36.63%2020.12 16GW PERC 16GW 54.21 24.71%2020.12 10GW 5GW PERC 5GW 16.99 26.73%2020.12 8GW TOPCon 8GW 31.41 39.12%2020.8 7.5GW PERC 7.5GW 17.78 26.17%2020.8 7.5GW PERC 7.5GW 18.72 24.85%ALD PECVD 300724.SZ 002371.SZ(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 25 Centrotherm ALD 7 2021 0.9 2020 ALD PECVD LPCVD 3.11 2020 ALD PECVD ALD ALD 50.47 PECVD PECVD ALD 96.84 PECVD 2020 PECVD 3-5 4.70 2020 PECVD PVD PECVD PECVD LPCVD PECVD LPCVD TOPCon Centrotherm 1.07 2020 PECVD 3.30 2019 2020 PECVD PECVD 4.28 ALD PECVD PEALD ALD ALD Wind ALD 8 2021 MW 2021 MW 1 42480 25440 2 40800 32930 3 36000 19470 4 30600 18940 5 29400 18900 6 19800 12630 7 13150 8960 8 9750 7070 9 9000 5000 10 8200 5640 TOP10 246.1 155-2021 360.6 197.9-(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 26 3+3.1 0 1 Thermal-ALD P QL PE-ALD T-ALD P-Lite Dragon 9 P 12 8 TALD HfO2 k HfO2 k ZrO2 La2O3 TiO2 k P-Lite 8 6 TALD TiN Al2O3 AlN PEALD Al2O3 AlN QL 12 8 25 12 25 8 TALD Al2O3 TiO2 Dragon-High-k 28nm High-k 28nm(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 27 34 SiO2 K ALD 10 ALD/12 12 2 RT-200 2 4 RT-250 2 Uptime 80%85%MTBF 200 200 MWBB 1100,000 1100,000 MTTR 6 6 1.2%1.2%0.5%0.5%Adders560nm Adders560nm 2E10/2E10/High-k ALD Thermal ALD k PEALD 11 ALD TALD Hf02 k 28nm Hf02 k Zr02 k La203 k Ti02 k Tin AI2O3 AIN PEALD AI2O3 AIN(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 28 3.2 TOPCon ALD ALD PECVD/PEALD/PERC TOPCon ALD ALD PEALD ALD PECVD TOPCon HJT IBC ALD/PEALD ALD/PEALD/PECVD ALD ALD 12 KF ALD ALD Al2O3 TALD Al2O3 PERC TOPCon KF PECVD PECVD SiNx PECVD SiNX PERC PECVD SiNX TOPCon ZR PEALD PEALD PECVD Al2O3 SiNx TOPCon SiOx PEALD PECVD Al2O3 SiNX PERC PEALD PECVD Al2O3 SiNX TOPCon PEALD PECVD TOPCon XH TOPCon TOPCon KF ALD AL2O3 PERC AL2O3 SiNx TOPcon AL2O3 AL2O3 P PERC TOPCon SiNx(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 29 PERC PERC ZR PEALD PEALD PECVD PERC TOPCon PERC PERC Al2O3 SiNX TOPCon TOPCon SiOX PECVD XH KF PERC AL2O3 SiNx TOPcon AL2O3 ALD AL2O3 ALD 2021 TOPCon ALD PECVD TOPCon ALD 35 36 PERC Al 2O 3 PECVD ALD TOPCon Al2O3 PECVD ALD ALD TOPCon Al2O3 ALD TOPCon ALD ZR5000 2PEALD ALD TOPCon/(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 30 ALD 2nm PERC TOPCon PEALD 37 PERC TOPCon ALD SiNx AIOx KF XH TunnelSiO2 Poly-Si(n)SiNx ZR KF-P 38 TOPCon(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 31 TOPCon 2022 Q3 50%TOPCon XBC 35%13 1 PEALD PECVD 2021.4 TOPCon 2 PEALD TALD 2021.6 TOPCon 3 TALD 2021.11 TOPCon 4 TALD 2022.2 HBC 5 TALD 2022.2 TOPCon 6 TALD 2022.3 HBC 7 TALD 2022.3 N(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 32 4 116543.56 10 3 ALD ALD 120 ALD 2.64 2 ALD ALD 40 ALD 6.33 3 ALD 1.18 14 1 2.64 2.50 2 6.33 5.00 3 1.18 1.00 4 1.50 1.50 11.65 10.00(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 33 5 5.1 2022 2023 2022-2024 78.0/113.2/41.4%2021 PECVD ALD 2023 2022-2024 31.7/39.3/41.3%2021 2022-2024 109.5/57.0/37.2%2022H1 2022 2022-2024 47.5/46.8/47.1%2021 2022-2024-52.8/16.7/14.3%2022-2024 67.0/67.0/67.0%2022-2024 40.0/30.0/30.0%50%15 2020 2021 2022E 2023E 2024E 312.55 427.92 603.43 1198.56 1671.76 YOY 44.8%36.9%41.0%98.6%39.5%51.9%45.8%36.6%41.4%43.0%162.20 195.84 221.08 496.26 718.30 299.17 275.28 490.05 1044.89 1477.00 YOY 48.1%-8.0%78.0%113.2%41.4%50.8%32.9%31.7%39.3%41.3%152.07 90.45 155.53 410.21 610.65 25.20 52.80 82.92 113.80 YOY 0.0%109.5%57.0%37.2%52.2%47.5%46.8%47.1%13.15 25.06 38.78 53.56 13.31 127.03 60.00 70.00 80.00(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 34 YOY-3.8%854.4%-52.8%16.7%14.3%75.6%72.7%67.0%67.0%67.0%10.06 92.33 40.20 46.90 53.60 0.07 0.41 0.57 0.75 0.97 YOY 75.0%485.7%40.0%30.0%30.0%100.0%-21.3%50.0%50.0%50.0%0.07-0.09 0.29 0.37 0.49 Wind 5.2 2020-2021 2022-2024 7.6/7.5/7.4%2022 Q1-Q3 2021 2022-2024 7.0/6.8/6.5%2021 22.7%2022-2024 20.0/18.7/18.0%2020-2021 IPO 2022-2024-0.1/-2.0/-1.1%16/2020A 2021A 2022E 2023E 2024E 9.3%7.8%7.6%7.5%7.4%6.7%6.0%7.0%6.8%6.5%17.2%22.7%20.0%18.7%18.0%0.6%0.5%-0.1%-2.0%-1.1%wind 5.3-U ALD PECVD LPCVD 2022-2024 PE 73/52/39 2022-2024 EPS 0.07/0.26/0.44 PE 398/107/63+ALD ALD 2022-2024 2023 PEG 1.56(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 35 17 EPS PE PEG（2023）21A 22E 23E 24E 21A 22E 23E 24E 688082.SH 82.69 0.68 1.27 1.65 2.16 122 65 50 38 1.65-U 688072.SH 205.58 0.72 2.05 3.18 4.63 286 100 65 44 1.41 688012.SH 99.45 1.76 1.81 2.33 2.96 57 55 43 34 1.59 155 73 52 39 1.55 688147.SH 28.00 0.10 0.07 0.26 0.44 276 398 107 63 1.56 wind Wind 2023 1 5 5.4 ALD ALD(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 36 6 1 TOPCon HJT 2 TOPCon HJT 2022 3(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 37 TABLE_FINANCE 2021A 2022E 2023E 2024E 2021A 2022E 2023E 2024E 428 603 1,199 1,672%232 382 702 953 36.91 41.01 98.63 39.48 2 3 6 8 EBIT-49.70 3.30 275.42 70.75 34 46 90 124-19.12-30.73 273.41 68.29 26 42 82 109%97 121 224 301 45.77 36.64 41.40 42.97 EBIT 32 33 124 211 10.78 5.29 9.95 12.01 2-0-23-19 ROA 3.40 1.05 3.37 5.06-13-15-18-21 ROE 5.22 1.65 5.79 8.89 11 14 17 19 40 14 112 193 2.86 2.66 2.10 1.93 0 2 2 2 1.21 1.48 1.02 0.83 41 16 114 195 0.27 1.12 0.66 0.43-6-16-6-6%34.89 36.15 41.76 43.02 46 32 119 201 46 32 119 201 68.67 70.00 57.00 55.00 EBITDA 48 56 155 261 633.78 850.00 600.00 530.00 0.35 0.27 0.36 0.45 2021A 2022E 2023E 2024E 120 1,206 954 723 0.10 0.07 0.26 0.44 152 195 302 408 1.94 4.27 4.53 4.97 10 15 28 38-0.17 0.27 0.18 0.08 403 875 1,136 1,364 0.00 0.00 0.00 0.00 592 564 631 709 1,276 2,856 3,052 3,242 PE 276 398 107 63 0 0 0 0 PB 14.4 6.6 6.2 5.6 36 85 286 520 EV/EBITDA 266.29 206.54 76.13 46.02 8 17 26 33%0.00 0.00 0.00 0.00 81 181 483 722 1,357 3,037 3,534 3,964 67 17 0 0 2021A 2022E 2023E 2024E 197 576 904 1,071 46 32 119 201 183 480 547 610 16 23 31 50 446 1,073 1,451 1,681-146 73-84-231 0 0 0 0-76 121 84 38 27 25 25 24-23-81-328-284 27 25 25 24-495 100 0 0 473 1,098 1,476 1,705-512 11-311-265 409 454 454 454 190 1,023 0 0 0 0 0 0 48-62-20 0 883 1,939 2,058 2,259 232 954-24-4 1,357 3,037 3,534 3,964-356 1,086-252-231(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 38 1.3 2 2019-2022.4 3 2019-2022.4 4.5 5.5 6.6 7.6 8.6 9 2021.7 10 2022 1-6.7 11.8 12 2019-2022.9 13 ALD.12 14 ALD.13 15.13 16 2017-2025.14 17.15 18 PVD CVD ALD.16 19 2021.16 20.17 21 CCPPE-ALD.17 22 SiO2 high-k.18 23 MOS k.18 24 ALD.18 25 2D 3D.19 26 ALD.19 27 ALD.19 28 2020 ALD.20 29 2014-2021 GW.21 30 2011-2021.22 31 2020-2030.22 32 2013-2021.23 33 PERC N-PERT TOPCon HJT XBC.24 34 SiO2 K.27 35.29 36.29 37 PERC TOPCon.30 38 TOPCon.30.1 1.5 2.9 3.10 4 PVD CVD ALD.15 5 PERC TOPCon HJT.23 6 TOPCon PERC.24 7.25 8.25(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 39 9.26 10 ALD.27 11 ALD.27 12.28 13.31 14.32 15.33 16.34 17.35.37(688147)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 40。12 A 300 500 15%5%15%-5%5%5%5%-5%5%5%8 1 5F 200120 28 A 18 100005 6001 32 05 518026