20230517-民生证券-中科飞测-688361.SH-新股研究报告_专注半导体质控设备_国产破局现曙光_35页_3mb.pdf
本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 1 688361.SH 2023 05 17 2022 5.1 2020-2022 46.40%3.85 1.18 IPO 10 23.60 75.52 Gartner 2021 104 57.8 33 11.4 11.3%2022 130 2020 50.8%2022 3.57%2022 2.55 1.3 3D 2022 0.41/0.17 2023-2025 7.73/11.05/14.27 0.23/0.91/1.59 PE 332/83/47 Table_Forcast/2022A 2023E 2024E 2025E 509 773 1,105 1,427%41.2 51.9 42.9 29.1 12 23 91 159%-78.0 93.9 298.4 75.8 0.04 0.07 0.28 0.50 PE 643 332 83 47 PB 13.3 3.3 3.2 3.0 Wind EPS 3.2 PE/PB Table_Author S0100521120004(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 2 1.3 1.1.3 1.2.4 1.3.6 1.4.7 2.9 2.1.9 2.2.10 2.3.12 3.16 3.1.16 3.2.22 4.24 4.1.24 4.2.27 5.29 5.1.29 5.2.30 5.3.30 6.31.33.33(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 3 1 1.1 28nm 1 2022 33.27%8%8%6%6%5%(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 4 2 2022 1.2 2020-2022 2.4 5.1 46.40%2022 75.53%23.08%3 2020-2022 4 2020-2022/2020-2022 101 138 235.05/363.86/8%8%6%6%5%67%01234562020 2021 20220%20%40%60%80%100%120%2020 2021 2022(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 5 2022 48.70%2022 52.63%35.84%2020-2021 2021-2022 5/6%2022 2.06 40.40%2020 7 2020-2022%2022 1174.35 2021 78.02%2.31%2021 12 2022 0501001502002503003504000501001502020 2021 2022 0%20%40%60%2020 2021 2022 0%5%10%15%20%25%30%35%40%45%05000100001500020000250002020 2021 2022(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 6 8 2020-2022 1.3 2019 1 CHEN LU Rudolph Technologies 2014 12 2017 5 2017 5 Finance Director 2016 5 2019 8 2019 8 2020 12 2020 12 2022 10 2022 10 2016 6 01000200030004000500060002020 2021 2022(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 7 2015 3 2014 2023 4 27 30.54%4.84%6.07%5 CHEN LU 8 1 9 2023 4 27 1.4 IPO 10 3.09(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 8 2 1 30895.84 30800 2 14563.06 14200 3 55000 55000 100458.9 100000(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 9 2 2.1 CMP CMP Inspection Metrology 3-Michael Quirk&Julian Serda(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 10 10 Michael Quirk&Julian Serda 2.2 Gartner 2021 923.35 104.13 11.3%Gartner 2022 130.06 24.9%11 2021 12 2020-2022 Gartner Gartner Gartner 2021 57.8 Inspection 10.0 34.8 Review 6.1 Metrology 33.0 11.4 18.6%4.0%2.3%2.9%22.4%31.2%4.1%11.3%3.4%0204060801001201402020 2021 2022E(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 11 13 2021 Gartner VLSI Research 2016-2021 7 25.8 29.81%2019 2018 3.8%2019 35.2%VLSI Research 2022 31.1 14 VLSI Research 0%10%20%30%40%50%60%051015202530352016 2017 2018 2019 2020 2021 2022E YoY(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 12 2.3 VLSI Research 2020 50.8%82.4%15 2020 VLSI Research QY Research VLSI Research 2016-2020 35.7%13.2%16 2020 VLSI Research QY Research 51%12%9%5%6%5%3%2%8%55%9%7%4%3%2%20%(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 13 2.3.1 KLA KLA KLA SK KLA 1975 Ken Levy Bob Anderson KLA KLA WISARD CV KLA 90 KLA 90 KLA 20 1997 KLA Tencor 17 KLA(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 14 2.3.2/2022 10 7 128 3D NAND 18nm DRAM 14nm KLA/1 2018/OCD Review SEM FIB-SEM 2018-2022 259 1.65 182%18 2018-2022 2 2005 12 TFX3000 14 2022 7186.26 2920.95 2.594.1356.74110.62164.90501001502002018 2019 2020 2021 2022 CAGR:182%(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 15 2019-2022 2022 7.46 3.57%4 2019-2022/2019 2020 2021 2022 0.12 0.10%0.2 0.15%0.41 0.25%0.72 0.34%0.04 0.03%0.57 0.42%1.11 0.67%1.65 0.79%0.56 0.47%2.38 1.74%3.61 2.17%5.09 2.44%0.72 0.60%3.15 2.31%5.13 3.08%7.46 3.57%VLSI Research 2021 2022 2022 2.5 5 22 1.6 0.4 2.5 1.3 0.7 VLSI Research,(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 16 3 3.1 1 2 3 19 Reduction of Ingrown Stacking Faults in 4 H-SiC epitaxy Through Silicon Via(TSV)Defect Modeling,Measurement,and Analysis Semiengineering/SEM Review(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 17 6 20 Michael Quirk&Julian Serda(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 18 3.1.1 21 0.5 m 3 m 80wph(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 19 7 BIRCH-100 Rudolph F30 0.5 m 0.5 m 80wph 3 m 120wph 10 m 3.1.2 22(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 20 SPRUCE-600 SPRUCE-800 60nm 23nm S-600 102nm 100wph S-800 26nm 25wph 8 KLA SPRUCE-600 Surfscan SP1 130nm 130nm 60nm 60nm 100wph 102nm SPRUCE-800 Surfscan SP3 2Xnm 2Xnm 23nm 23nm 25wph 26nm KLA 28nm 1Xnm KLA Surfscan 5nm 40nm 9 KLA Surfscan 4Xnm Surfscan SP-A3 3Xnm Surfscan SP3 2Xnm Surfscan SP5 1Xnm Surfscan SP5XP 7nm Surfscan SP7 5nm Surfscan SP7XP KLA(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 21 3.1.3 1 SEM e-beam 2 23 microtronic 3(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 22 24 25 wikipedia semanticscholar 3.2 2020-2022 2022 2.55 66.28%1.30 33.51%26 2020-2022 0123452020 2021 2022(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 23 2022 47 2020 2017 SPRUCE-600 542.34 35 370.60 27 2020-2022/28 2020-2022/KLA 6 2 10 0100200300400500600010203040502020 2021 2022 05010015020025030035040005101520253035402020 2021 2022(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 24 4 4.1 4.1.1/29 4.1.2 CD 1 OCD OCD OCD FinFET V-NAND DRAM(ADI)(AEI)(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 25 30 16/14nm FinFET 2 CD-SEM CD-SEM/CD-SEM 31 CD-SEM 32 CD-SEM Utilization of Spin-on and Reactive Ion Etch Critical Dimension Shrink with Double Patterning for 32 nm and Beyond Contact Level Interconnects 4.1.3 Overlay(overlay ovl)(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 26 CPM z 33 4.1.4 11 CYPRESS-U950 NX Wafer 0.1nm 0.1nm 0.1nm 2Xnm(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 27 4.2 3D 2022 1.18 4138.86 3D 1655.25 5957.92 34 2020-2022 2022 15 21 275.92 ASP 3D 28 59.12 35 2020-2022/36 2020-2022 3D/8 KLA 6 2/1/2 020004000600080001000012000140002020 2021 2022 3D 0501001502002503000510152025302020 2021 2022 0102030405060700510152025302020 2021 2022(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 28 12 X(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 29 5 5.1 2023-2025 56.7/45.7/28.4%2023-2025 53.0%3D 2023-2025 36.4/32.0/30.6%3D 2023-2025 22.0/24.0/26.0%2023-2025 50.0/50.0/50.0%50.0%13 2020 2021 2022 2023E 2024E 2025E 237.59 360.55 509.24 773.46 1105.34 1427.28 YOY 324.4%51.8%41.2%51.9%42.9%29.1%41.1%49.0%48.7%46.5%47.4%47.7%97.70 176.53 247.85 359.92 523.97 681.11 155.89 265.22 384.61 602.50 877.70 1126.90 YOY 366.4%70.1%45.0%56.7%45.7%28.4%47.8%51.7%52.6%53.0%53.0%53.0%74.56 137.01 202.42 319.33 465.18 597.26 81.51 93.97 117.52 160.30 211.65 276.40 YOY 266.6%15.3%25.1%36.4%32.0%30.6%24.9%17.0%20.3%22.0%24.0%26.0%20.30 15.97 23.80 35.27 50.80 71.86 0.19 1.36 7.11 10.66 15.99 23.98 YOY-42.6%614.7%423.3%50.0%50.0%50.0%70.1%54.9%46.4%50.0%50.0%50.0%0.13 0.75 3.30 5.33 7.99 11.99 Wind(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 30 5.2 2023-2025 10.0/9.5/9.0%2022 2023-2025 11.5/11.0/10.5%2022 40.4%2022 2023-2025 35.0/30.0/26.0%2021-2022 2023 IPO 2023-2025-0.3/-1.4/-0.9%14/2021A 2022A 2023E 2024E 2025E 8.8%10.6%10.0%9.5%9.0%11.0%11.8%11.5%11.0%10.5%26.4%40.4%35.0%30.0%26.0%-1.0%-0.1%-0.3%-1.4%-0.9%wind 5.3 2023-2025 PE 90/63/46 2023-2025 EPS 0.07/0.28/0.50 PE 332/83/47 2023-2025 2023 PEG 15 EPS PE PEG（2023）22A 23E 24E 25E 22A 23E 24E 25E 688072.SH 412.88 2.91 4.25 6.37 8.66 142 97 65 48 2.27 688037.SH 264.66 2.16 2.92 4.22 6.13 122 91 63 43 2.02 300567.SZ 106.53 0.98 1.28 1.75 2.31 109 83 61 46 2.42 124 90 63 46 2.24 688361.SH 23.60 0.04 0.07 0.28 0.50 643 332 83 47 2.01 wind Wind 2023 5 16(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 31 6 1 2 3(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 32 TABLE_FINANCE 2022A 2023E 2024E 2025E 2022A 2023E 2024E 2025E 509 773 1,105 1,427%261 414 581 746 41.24 51.89 42.91 29.13 1 0 0 0 EBIT-75.42 211.49 158.43 78.60 54 77 105 128-78.02 93.91 298.36 75.78 60 89 122 150%206 271 332 371 48.67 46.53 47.40 47.72 EBIT 12 37 96 171 2.31 2.94 8.21 11.17-0-2-16-13 ROA 0.71 0.64 2.34 3.68-14-17-22-25 ROE 2.06 0.99 3.81 6.28 1 2 2 3 13 24 93 162 1.45 2.63 2.29 2.06-1-1-1-1 0.42 1.54 1.12 0.95 12 23 92 162 0.25 1.33 0.87 0.69 0 0 1 2%65.57 36.04 38.55 41.30 12 23 91 159 12 23 91 159 94.22 90.00 90.00 90.00 EBITDA 44 84 171 266 1,202.79 1,000.00 900.00 800.00 0.37 0.30 0.30 0.35 2022A 2023E 2024E 2025E 240 1,572 1,202 1,153 0.04 0.07 0.28 0.50 144 202 288 372 1.78 7.16 7.44 7.94 51 79 110 142 0.21 0.06 0.04 0.65 861 1,116 1,412 1,611 0.00 0.00 0.00 0.00 114 135 163 190 1,410 3,103 3,175 3,467 PE 643 332 83 47 0 0 0 0 PB 13.3 3.3 3.2 3.0 109 251 386 519 EV/EBITDA 169.27 72.72 37.37 24.21 35 82 127 171%0.00 0.00 0.00 0.00 242 478 700 860 1,652 3,581 3,874 4,328 165 65 0 0 2022A 2023E 2024E 2025E 164 238 319 409 12 23 91 159 645 878 1,066 1,272 33 47 75 95 973 1,180 1,385 1,681 4-73-177-74 0 0 0 0 67 20 14 208 110 110 109 107-117-265-280-236 110 110 109 107 40 0 0 0 1,083 1,291 1,494 1,787-76-264-278-233 240 320 320 320 0 1,698 0 0 0 0 0 0 65-100-84 0 569 2,290 2,381 2,540 39 1,575-106-23 1,652 3,581 3,874 4,328 29 1,331-370-48 EPS 3.2 PE/PB(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 33 1.3 2 2022.4 3 2020-2022.4 4 2020-2022.4 5/.5 6%.5 7 2020-2022%.5 8 2020-2022.6 9.7 10.10 11 2021.10 12 2020-2022.10 13 2021.11 14.11 15 2020.12 16 2020.12 17 KLA.13 18 2018-2022.14 19.16 20.17 21.18 22.19 23.21 24.22 25.22 26 2020-2022.22 27 2020-2022/.23 28 2020-2022/.23 29.24 30 16/14nm FinFET.25 31 CD-SEM.25 32 CD-SEM.25 33.26 34 2020-2022.27 35 2020-2022/.27 36 2020-2022 3D/.27.1 1.6 2.8 3.9 4 2019-2022.15 5.15 6.17 7.19 8 KLA.20 9 KLA Surfscan.20 10.23(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 34 11.26 12.28 13.29 14.30 15.30.32(688361)/本公司具 备证券 投资咨 询业务 资格，请务必 阅读最 后一页 免责声 明 证券研究 报告 35。12 A 300 500 15%5%15%-5%5%5%5%-5%5%5%8 1 5F 200120 28 A 18 100005 6001 32 05 518026
