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20230410_兴业证券_电子行业证券研究报告:射频电源刻蚀&PECVD设备核心零部件国产替代迫在眉睫_27页.pdf

  • 资源ID:172225       资源大小:3.49MB        全文页数:27页
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20230410_兴业证券_电子行业证券研究报告:射频电源刻蚀&PECVD设备核心零部件国产替代迫在眉睫_27页.pdf

请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明 industryId investSuggestion(investSuggestionChange relatedReport 2023-04-02 AI iPhone 2023-03-26 GPT-4 2023-03-19 emailAuthor S0190520070005 S0190522080002 summary PECVD/PEALD PECVD 2022 20-30 MKS AE&PECVD MKS AE title&PECVD createTime1 2023 04 10 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-2-1.-4-1.1 PECVD.-4-1.2.-7-2.-11-2.1.-11-2.2.-14-2.3.-15-2.3.1 MKS Instruments.-15-2.3.2 Advanced Energy.-16-3.-18-3.1.-18-3.2.-20-3.3.-21-3.3.1.-21-3.3.2.-24-4.-24-5.-24-1.-4-2.-5-3 CCP.-6-4 ICP.-6-5 PECVD.-6-6.-7-7.-7-8.-8-9.-8-10.-8-11.-9-12.-9-13.-9-14.-10-15.-10-16.-12-17 2022.-13-18.-13-19.-14-20 MKS.-14-21 AE.-14-22 MKS.-15-23 MKS.-16-24 MKS.-16-1ZBYyRsPnOoPsMmPrMsNnM9PdN8OnPnNoMmPkPrRmQfQmNnM7NpPvNMYnOnRMYrNtM 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-3-25 MKS.-16-26 AE.-17-27 AE.-17-28 AE.-17-29.-18-30.-19-31 2020.-19-32 2011 2021.-20-33.-21-34 2022H1.-22-35 2022H1.-22-36.-23-37.-23-38.-24-1.-4-2 ISM Industrial Scientific Medical.-7-3.-11-4.-22-请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-4-1 1.1 PECVD UPS AC-DC DC-DC DC-AC AC-AC 1 Radio Frequency RF 300kHz-300GHz 1-1 TLF 0.03 0.3Hz 10 000 1 000 Mm 0 TLF 0.3 3Hz 1 000 100 Mm 1 ELF 3 30Hz 100 10 Mm 2 SLF 30 300Hz 10 1 Mm 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-5-3 ULF 300 3 000Hz 1 000 100 km 4 VLF 3 30kHz 100 10 km 5 LF 30 300kHz 10 1 km 6 MF 300 3 000kHz 1 000 100 m 7 HF 3 30MHz 100 10 m 8 VHF 30 300MHz 10 1 m 9 UHF 300 3 000MHz 10 1 dm 10 SHF 3 30GHz 10 1 cm 11 EHF 30 300GHz 10 1 mm 12 THF 300 3 000GHz 10 1 dmm LED PECVD 2 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-6-3 CCP 4 ICP PECVD PECVD 5 PECVD PECVD PEALD/请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-7-1.2/6 7 2MHz 13.56MHz 27.12MHz 40.68MHz 60MHz Industrial Scientific Medical,ISM 13.56MHz 2 ISM Industrial Scientific Medical 6.765-6.795 MHz 6.78 MHz 13.553-13.567 MHz 13.560 MHz 26.957-27.283 MHz 27.120 MHz 40.66-40.70 MHz 40.68 MHz 433.05-434.79 MHz 433.92 MHz 902-928 MHz 915 MHz 2 2.400-2.500 GHz 2.450 GHz Wi-Fi 5.725-5.875 GHz 5.800 GHz Wi-Fi 24.00-24.25 GHz 24.125 GHz 61.0-61.5 GHz 61.25 GHz 122-123 GHz 122.5 GHz 244-246 GHz 245 GHz 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-8-8 9 10 Matching Network Advanced Energy MKS Comdel XP power 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-9-11 12 AE PECVD 13 AE 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-10-PECVD 14 AE 3D FinFET 3D NAND 70:1 15 AE 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-11-2 2.1 PECVD 10-20%3 20%-40%Ferrortec Ferrotec Hana 10%-20%AE MKS Pearl 10%-25%EFEM Brooks Rorze ASML/10%-30%Ichor Fujikin Compart System Edward V AT Fujikin SMC 1%-3%MKS Horiba Inficon Compart System 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-12-5-10%Zeiss Cymer Gigaphoton PECVD 25%MOCVD 20%15%IO 15%16 2022 2022 230 45%90%15%17 PECVD 5.6 PEALD 25-30 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-13-17 2022 Gartner Advanced Energy Comet 2019 640 12 2022 21 2022 20-30 Comet 2021-2025 10.3%18 Comet 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-14-19 AE Comet 2.2 MKS Advanced Energy Comet DAIHEN Trumpf MKS AE 20 MKS 21 AE MKS AE 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-15-MKS VLSI research MKS 2020 10%AE 2021 MKS AE 2022 AE 9.3 21 44%AE DC MKS AE 2.3 2.3.1 MKS Instruments MKS 1961 PCB IoT 22 MKS MKS MKS MFC 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-16-23 MKS MKS MKS 2022 20.4/MKS 24 MKS 25 MKS MKS MKS 2.3.2 Advanced Energy Advanced Eneygy DC 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-17-26 AE AE 27 AE AE AE 2022 18.5 9.3 DC 28 AE AE 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-18-3 3.1 2022 10 3D NAND DRAM 232L 3D NAND 19nm DRAM 2020 2021 2022 2023 2022 2-3 29 ASML TWINSCAN NXT 2000i 1980 Di 3D NAND 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-19-2021 296 250-300 30 SEMI Wind 31 2020 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-20-3.2 2022 22%PECVD 33%+PECVD/PEALD 35%-40%250-300 87.5-120 45%90%15%6.5-8.9 32 2011 2021 Gartner MKS AE 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-21-0 1 3.3 3.3.1 1996/33 LED LED/请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-22-34 2022H1 35 2022H1 4 TPM3 TPM5 RLS RHH RMA MSD DD IGBT KRQ30 ReneSola LED AS SCR DS SCR DD IGBT PD KTY KTY AS SCR DS SCR DD IGBT SMS Group ABB ST ST TPH TPH KTY KTY Fives Stein Saint Gobain CDGM ST ST TPH TPH Fives Stein LED LED MOCVD PD 2017 MOCVD 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-23-PECVD 36 37 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-24-3.3.2 2013 LCD LED 38 2016 1KW 2019 PECVD 2022 3+%4&PECVD MKS AE 5 请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-25-请 务必阅读 正文之 后的信 息披露 和重要声 明-26-12 A 300 500 15%5%15%-5%5%-5%/1934 15a-6/36 15 200135 6 SK 32 01-08 100020 5001 T2 52 518035 前沿报告库是中国新经济产业咨询报告共享平台。行业范围涵盖新一代信息技术、5G、物联网、新能源、新材料、新消费、大健康、大数据、智能制造等新兴领域。为企事业单位、科研院所、投融资机构等提供研究和决策参考。扫一扫免费获取海量报告

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