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半导体行业污染物排放标准DB32/ 3747-2020.pdf

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半导体行业污染物排放标准DB32/ 3747-2020.pdf

DB32/3747-2020 江 苏 省 地 方 标 准 半导体行 业污染物 排放标准 Emission standard of pollutants for semiconductor industry 2020-02-06 发布 2020-03-01 实施 ICS 13.020.40 Z 60 DB32/3747-2020 I 目 次 前 言.II 1 范围.1 2 规范 性引 用文 件.1 3 术语 和定 义.3 4 水污 染物 排放 控制 要求.4 5 大气 污染 物排 放控 制要 求.6 6 污染 物监 测要 求.8 7 达标 判定.10 8 标准 的实 施与 监督.11 DB32/3747-2020 II 前 言 本标准 规定 了半 导体 企业 的水污 染物 和大 气污 染物 排放限 值、监测 和监 控要 求,以 及标 准实 施 与监督等 相关 规定。本标准 未规 定的 污染 物项 目仍执 行国 家或 地方 相应 的污染 物排 放标 准。本标准 实施 后,国家 新发 布的行 业标 准严 于本 标准 时,应 执行 国家 标准。环 境影响 评价 文件 或 排污许可 证要 求严 于本 标准 时,按 照批 复的 环境 影响 评价文 件或 排污 许可 证执 行。本标准 根据GB/T 1.1 起草。本标准 为首 次发 布。本标准 由江 苏省 生态 环境 厅 提出 并归 口。本标准 江苏 省人 民政 府于2019 年12 月11 日 批准。DB32/3747-2020 1 半 导体行 业污染物 排放标 准 1 范围 本标准 规定 了半 导体 企业 的水污 染物 和大 气污 染物 排放标 准 限 值、监测 要求、达标 判定、实 施 与监督。本标准 适用 于半 导体 企业 的水污 染物 排放 管理、大 气污染 物排 放管 理,以及 半导体 企业 排污 许 可管理、建设 项目 环境 影响 评 价、建设项 目环 境保 护设 施 设计、竣工 验收 及其 投产 后 的污染 控制 与管 理。半导体 企业 与污 水集 中处 理设施 采用 协商 方式 确定 企业水 污染 物间 接排 放限 值时,污水 集中 处 理设施的 水污 染物 排放 管理 也适用 于本 标准。2 规 范性 引用 文件 下列文 件对 于本 文件 的应 用是必 不可 少的。凡 是注 日期的 引用 文件,仅 注日 期的版 本适 用于 本 文件。凡 是不 注日 期的 引用 文件,其最 新版 本(包括 所有的 修改 单)适用 于本 文件。GB 3095 环 境空 气质 量标 准 GB 3838 地 表水 环境 质量 标准 GB/T 6920 水质 pH 值的 测定 玻璃 电极 法 GB/T 7466 水质 总 铬的 测 定 GB/T 7467 水质 六 价铬 的 测定 二苯 碳酰 二肼 分光 光 度法 GB/T 7470 水质 铅 的测 定 双硫 腙分 光光 度法 GB/T 7471 水质 镉 的测 定 双硫 腙分 光光 度法 GB/T 7475 水 质 铜、锌、铅、镉 的测 定 原子 吸收 分 光光度 法 GB/T 7484 水质 氟 化物 的 测定 离子 选择 电极 法 GB/T 7485 水质 总 砷的 测 定 二 乙基 二硫 代氨 基甲 酸 银分光 光度 法 GB/T 7494 水质 阴 离子 表 面活性 剂的 测定 亚 甲蓝 分 光光度 法 GB 8978 污 水综 合排 放标 准 GB/T 11893 水质 总磷 的 测定 钼酸 铵分 光光 度法 GB/T 11901 水质 悬浮 物 的测定 重 量法 GB/T 11907 水质 银的 测 定 火 焰原 子吸 收分 光光 度 法 GB/T 11910 水质 镍的 测 定 丁 二酮 肟分 光光 度法 GB/T 11912 水质 镍的 测 定 火 焰原 子吸 收分 光光 度 法 GB 13271 锅炉 大气 污染物 排放标 准 GB/T 15432 环 境空 气 总 悬浮颗 粒物 的测 定 重量 法 GB/T 15516 空 气质 量 甲 醛的测 定 乙酰 丙酮 分光 光 度法 GB/T 16157 固 定污 染源 排 气中颗 粒物 测定 与气 态污 染物采 样方 法 GB/T 16489 水质 硫化 物 的测定 亚 甲基 蓝分 光光 度 法 HJ/T 27 固定 污染 源排 气 中氯化 氢的 测定 硫 氰酸 汞 分光光 度法 HJ/T 28 固定 污染 源排 气 中氰化 氢的 测定 异 烟酸-吡唑啉 酮分 光光 度法 HJ/T 30 固定 污染 源排 气 中氯气 的测 定 甲基 橙分 光 光度法 HJ 38 固 定污 染源 废气 总 烃、甲 烷和 非甲 烷总 烃的 测定 气相 色谱 法 DB32/3747-2020 2 HJ/T 42 固定 污染 源排 气 中氮氧 化物 的测 定紫 外分 光光度 法 HJ/T 43 固定 污染 源排 气 中氮氧 化物 的测 定盐 酸萘 乙二胺 分光 光度 法 HJ/T 55 大气 污染 物无 组 织排放 监测 技术 导则 HJ/T 60 水质 硫 化物 的测 定 碘 量法 HJ/T 65 大气 固定 污染 源 锡的测 定 石墨 炉原 子吸 收 分光光 度法 HJ/T 67 大气 固定 污染 源 氟化物 的测 定 离子 选择 电 极法 HJ 75 固 定污 染源 烟气(SO2、NOx、颗粒 物)排放 连续监 测技 术规 范 HJ 76 固 定污 染源 烟气(SO2、NOx、颗粒 物)排放 连续监 测系 统技 术要 求及 检测方 法 HJ 84 水质 无 机阴 离子 的 测定 离子 色谱 法 HJ/T 91 地表 水和 污水 监 测技术 规范 HJ/T 195 水质 氨 氮的 测 定 气 相分 子吸 收光 谱法 HJ/T 199 水质 总 氮的 测 定 气 相分 子吸 收光 谱法 HJ/T 200 水质 硫 化物 的 测定 气相 分子 吸收 光谱 法 HJ/T 397 固 定源 废气 监测 技术规 范 HJ/T 399 水质 化 学需 氧 量的测 定 快速 消解 分光 光 度法 HJ 484 水质 氰化 物的 测 定 容 量法 和分 光光 度法 HJ 485 水质 铜的 测定 二 乙基二 硫代 氨基 甲酸 钠分 光光度 法 HJ 486 水质 铜的 测定 2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光 光度法 HJ 487 水质 氟化 物的 测 定 茜 素磺 酸锆 目视 比色 法 HJ 488 水质 氟化 物的 测 定 氟 试剂 分光 光度 法 HJ 489 水质 银的 测定 3,5-Br2-PADAP 分光 光度 HJ 490 水质 银的 测定 镉 试剂 2B 分光 光度 法 HJ 493 水质 采样 样品 的 保存和 管理 技术 规定 HJ 494 水质 采样 技术 指 导 HJ 495 水质 采样 方案 设 计技术 指导 HJ 501 水质 总有 机碳 的 测定 燃烧 氧化-非分 散红 外吸收 法 HJ 533 环 境空 气和 废气 氨的测 定 纳氏 试剂 分光 光 度法 HJ 534 环 境空 气 氨的 测 定 次 氯酸 钠-水杨酸 分光 光度法 HJ 535 水质 氨氮 的测 定 纳氏试 剂分 光光 度法 HJ 536 水质 氨氮 的测 定 水杨酸 分光 光度 法 HJ 537 水质 氨氮 的测 定 蒸馏-中和滴 定法 HJ 544 固 定污 染源 废气 硫酸雾 的测 定 离子 色谱 法 HJ 548 固 定污 染源 废气 氯化氢 的测 定 硝酸 银容 量 法 HJ 549 环 境空 气和 废气 氯化氢 的测定 离子 色谱 法 HJ 604 环 境空 气 总烃、甲烷和 非甲 烷总 烃的 测定 直接进 样-气相色 谱法 HJ 636 水质 总氮 的测 定 碱性过 硫酸 钾消 解紫 外分 光光度 法 HJ 637 水质 石油 类和 动 植物油 的测 定 红外 分光 光 度法 HJ 644 环 境空 气 挥发 性 有机物 的测 定 吸附 管采 样-热脱附/气相 色谱-质谱法 HJ 657 空 气和 废气 颗粒 物 中铅等 金属 元素 的测 定电 感耦合 等离 子体 质谱 HJ 659 水质 氰化 物等 的 测定 真空 检测 管-电子比 色法 HJ 665 水质 氨氮 的测 定 连续流 动-水杨酸 分光 光度 法 HJ 666 水质 氨氮 的测 定 流动注 射-水杨酸 分光 光度 法 HJ 667 水质 总氮 的测 定 连续流 动-盐酸萘 乙二 胺分 光光度 法 HJ 668 水质 总氮 的测 定 流动注 射-盐酸萘 乙二 胺分 光光度 法 DB32/3747-2020 3 HJ 670 水质 磷酸 盐和 总 磷的测 定 连续 流动-钼酸 铵分光 光度 法 HJ 671 水质 总磷 的测 定 流动注 射-钼酸铵 分光 光度 法 HJ 683 环 境空 气 醛、酮 类化合 物的 测定 高效 液相 色谱法 HJ 692 固 定污 染源废 气 氮氧化 物的 测定 非 分散 红 外吸收 法 HJ 693 固 定污 染源废 气 氮氧化 物的 测定 定 电位 电 解法 HJ 694 水质 汞、砷、硒、铋和 锑的 测定 原 子荧 光 法 HJ 700 水质 65 种 元素 的 测定 电感 耦合 等离 子体 质 谱 法 HJ 732 固 定污 染源 废弃 挥 发性有 机物 的采 样 气袋 法 HJ 734 固 定污 染物 源废 气 挥发 性有 机物 的测 定 固 相吸附-热脱 附/气相 色谱-质谱法 HJ 759 环 境空 气 挥发 性 有机物 的测 定 罐采 样/气 相色谱-质谱 法 HJ 776 水质 32 种 元素 的 测定 电感 耦合 等离 子体 发 射光谱 法 HJ 777 空 气和 废气 颗 粒 物中金 属元 素的 测定 电 感 耦合等 离子 体发 射光 谱法 HJ 828 水质 化学 需氧 量 的测定 重 铬酸 盐法 HJ 836 固 定污 染源 废气 低浓度 颗粒 物的 测定 重量法 HJ 908 水质 六价 铬的 测 定 流 动注 射-二苯碳 酰二 肼光度 法 HJ 955 环 境空 气 氟化 物 的测定 滤 膜采 样/氟离 子 选择电 极法 HJ 970 水质 石油 类的 测 定 紫 外分 光光 度法 污染 源自 动监 控管 理办 法(国家 环境 保护 总局 令 第 28 号)环境 监测 管理 办法(国 家环境 保护 总局 令 第 39 号)3 术 语和 定义 下列术 语和 定义 适用 于本 标准。3.1 半 导体 企业 semiconductor industry 从事半 导体 分立 器件 或集 成电路 的制 造、封装 测试 的企业。3.2 现有 企业 existing facility 指本标 准实 施之 日前 已建 成投产 或环 境影 响评 价文 件已通 过审 批的 半导 体企 业。3.3 新 建企 业 new facility 指本标 准实 施之 日起 环境 影响评 价文 件通 过审 批的 新建、改建 和扩 建的 半导 体工业 建设 项目。3.4 直 接排 放 direct discharge 指 排污 单位 直接 向环 境水 体排放 水污 染物 的行 为。3.5 间 接排 放 indirect discharge 排污单 位向 污水 集中 处理 设施 排 放水 污染 物的 行为。3.6 污 水集 中处 理设 施 concentrated wastewater treatment facilities 为两家 及两 家以 上排 污单 位提供 污水 处理 服务 的污 水处理 设施,包 括各 种规 模和类 型的 城镇 污 水集中处 理设 施、工业 集聚 区(经 济技 术开 发区、高 新技术 产业 开发 区、出口 加工区 等各 类工 业园 区)污水集 中处 理设 施,以及 其他由 两家 及两 家以 上排 污单位 共用 的污 水处 理设 施等。DB32/3747-2020 4 3.7 排 水量 effluent volume 企业或 生产 设施 排放 到企 业法定 边界 外的 废水 量。包括与 生产 有直 接或 间接 关系的 各种 外排 废 水(含厂 区生 活污 水、冷却 废水、厂区 锅炉 和电 站废 水等)。3.8 单 位产 品基 准排 水量 benchmark effluent volume per unit product 用于核 定水 污染 物排 放浓 度而规 定的 生产 单位 产品 的污水 排放 量上 限值。3.9 挥 发性 有机 物 volatile organic compounds,VOCs 参与大 气光化 学反 应的有 机化合 物,或 者根 据有关 规定确 定的有 机化 合物。在表征VOCs 总体排 放情况时,根 据行 业特 征和 环 境管理 要求,可 采用 总挥 发 性有机 物(以TVOC 表示)、非甲烷 总烃(以NMHC表示)作为 污染 物控 制项 目。3.10 非 甲烷 总烃 non-methane hydrocarbon 采用规 定的 监测 方法,检 测器有 明显 响应 的除 甲烷 外的碳 氢化 合物 的总 称(以碳计)。本标 准使 用“非甲 烷总 烃(NMHC)”作为 排气 筒和 厂界 挥发 性有机 物排 放的 综合 控制 指标。3.11 总挥发 性有 机物 total volatile organic compounds(TVOC)采用规 定的 监测 方法,对 废气中 的单 项 挥 发性 有机 物 进行 测量,加和 得到 挥 发性有 机物 的总 量,以单项挥 发性 有机 物 的 质量 浓度之 和计。实际 工作 中,应 按预 期分 析结 果,对 占总量90%以上 的单 项挥发性有机 物 进 行测 量,加和 得出。3.12 标准状 态 standard condition 温度为273.15K、压力 为101 325 Pa 时的 状态。本 标 准规定 的大 气污 染物 排放 浓度限 值均 以标 准状态下的 干气 体为 基准。3.13 企 业边 界 enterprise boundary 指半导 体工 业企 业的 法定 边界。若难 以确 定法 定边 界,则 指企 业的 实际 占地 边界。4 水 污染 物排 放控 制要求 4.1 水 污染 物排 放限 值见 表1。4.2 企业向城镇污 水处理厂排放废 水时,其第二类水污染物 排放应达到表1 中间接排放 限值;废水进 入具备处 理此 类污 水工 艺和 能力的 集中 式工 业 废 水处 理厂的 企业,其 第二 类水 污 染物排 放可 与集 中式 工业污水处 理厂 商定 间接 排放 限值,并签 订协 议报 当地 环境保 护主 管部 门备 案。企业与 集中 式工 业 废 水处理厂商定 的间 接排 放限 值,不得宽 于 污水 综合 排放 标准 中规 定的 接管 限值。未签 订协 议的 企业,其 第二类水 污染 物执 行表1中 的 间接排 放限 值。4.3 在 国土 开发 密度 高、环 境承载 能力 开始 减弱,或 水环境 容量 较小、生 态环 境脆弱,容 易发 生严 重水环境污 染问 题而 需要 采取 特别保 护措 施地 区的 企业,根据 生态 环境 保护 工作 要求,执行 表 1 规定 的 特别排放 限值。执行水 污染 物特 别排 放限 值的地 域范 围、时 间,由省 级 生态 环境 主管 部门 或设 区市人 民政 府 规定。DB32/3747-2020 5 表 1 水污 染物 排放 限值 单位为 mg/L 序号 污染物项目 直接排放限值 特别排放限值 间接排放限值 污染物排放监控位置 1 总镉(按 Cd 计)0.05 0.01 0.05/0.01a 车间或生产设施废水排放口 2 总铬(按 Cr 计)0.5 0.5 0.5/0.5 3 六价铬(按 Cr6+计)0.1 0.1 0.1/0.1 4 总砷(按 As 计)0.2 0.1 0.2/0.1 5 总铅(按 Pb 计)0.2 0.1 0.2/0.1 6 总镍(按 Ni 计)0.5 0.1 0.5/0.1 7 总银(按 Ag 计)0.3 0.1 0.3/0.1 8 氟化物(按 F 计)10 8 15 企业废水总排放口 9 总铜(按 Cu 计)0.3 0.3 0.3 10 总锌 1.0 1.0 1.0 11 硫化物(按 S 计)1.0 1.0 1.0 12 总氰化物(按 CN-计)0.2 0.2 0.2 13 pH(无量纲)6.0 9.0 6.0 9.0 6.0 9.0 14 悬浮物(SS)50 20 250 15 化学需氧量(COD)60 50 300 16 氨氮 10 8 20 17 总氮 15 10 35 18 总磷 1.0 0.5 3.0 19 石油类 3.0 1.0 5.0 20 阴离子表面活性剂(LAS)1.0 0.5 1.0 21 总有机碳(TOC)20 15 90 a“/”左右分别对应执行排放限值和特别排放限值的地区第一类污染物的间接排放限值要求。4.3 不 同类 型的 半导 体生 产 企业,其单 位产 品基 准排 水量执 行 表 2 规 定。表 2 单位 产品 基准 排水 量 序号 产品规格 单位 单位产品基准排水量 污染物排放监控位置 1 6 英寸芯片生产 m3/片 3.2 排水量计量位置与污染物排放监控位置一致 2 8 英寸芯片生产 m3/片 6.0 3 12 英寸芯片生产 掩膜层数 35 层及以下 m3/片 11 掩膜层数 35 层以上 20 4 封装产品 传统封装产品 m3/千块产品 2.0 圆片级封装产品 m3/片 11 5 分立器件 m3/万块产品 3.5 注:本表中规定的单位产品基准排水量值应按照满产情况进行测算。DB32/3747-2020 6 4.4 水 污染 物排 放限 值适 用于单 位产 品实 际排 水量 不高于 单位 产品 基准 排水 量的情 况。若单 位产 品 实 际排水量 超过 单位 产品 基准 排水量,应 按公 式(1)将 实测水 污染 物浓 度换 算为 水污染 物基 准水 量排 放浓度,并 以水 污染 物基 准水 量排放 浓度 作为 判定 排放 是否达 标的 依据。产 品产 量和排 水量 统计 周期 为 一 个工作日。在企业 的生 产设 施同 时生 产两种 以上 产品,可 适用 不 同排放 控制 要求 或不 同行 业污染 物排 放标 准时,且生产 设施 产生 的污 水混 合处理 排放 的情 况下,应 执行排 放标 准中 规定 的最 严格的 浓度 限值,并 按 公 式(1)换 算水 污染 物基 准水 量排放 浓度:实基总基 i iQ YQ(1)式中:基 水污 染物 基准 排水 量排放 浓度,单位为 mg/L;Q 总 排水 总量,单位为 m3;Yi 某种 产品 产量,产 品单位 见 表 2;Qi基 某种 产品 的单 位产 品基准 排水 量,产品 单位 见表 2;实 实测 水污 染物 排放 浓度,单位 为 mg/L。若 Q 总 与 Yi Qi基 的比 值小 于 1,则以 水污 染物 实测 浓度作 为判 定排 放是 否达 标的依 据。5 大气 污染 物排 放控 制要 求 5.1 有 组织 排放 控制 要求 5.1.1 大气 污染 物排 放限 值 见表3。表 3 大气 污染 物排 放限 值 单位为 mg/m3 序号 污染物项目 最高允许排放浓度 1 颗粒物 20 2 硫酸雾 5.0 3 氯化氢 10 4 氟化物(以 F 计)1.5 5 氮氧化物a 50 6 氰化氢 0.5 7 氯气 5.0 8 氨 10 9 锡及其化合物 1.0 10 砷化氢b 1.0 11 磷化氢b 1.0 12 异丙醇 40 13 三氯乙烯b 1.0 14 苯 1.0 15 苯系物c 25 16 甲醛 5.0 17 非甲烷总烃 50 DB32/3747-2020 7 序号 污染物项目 最高允许排放浓度 18 TVOC 100 a适用于酸洗、薄膜等工段产生的工艺废气。b待国家污染物监测方法标准发布后实施。c苯系物包括苯、甲苯、二甲苯、三甲苯、乙苯和苯乙烯。5.1.2 废气收 集处理 系统 应 与生产 工艺设 备同 步运行。废气 收集处 理系 统发生 故障或 检修时,对 应的生产工艺 设备 应停 止运 行,待检修 完毕 后同 步投 入使 用;生 产工 艺设 备不 能停 止运行 或不 能及 时停 止 运 行的,应 设置 废气 应急 处理 设施或 采取 其他 替代 措施。5.1.3 进入VOCs 燃烧(焚 烧、氧 化)装置 的废 气含 氧量可 满足 自身 燃烧、氧 化反应,不 需另 外补 充 空 气的(燃 烧器 需要 补充 空气 助燃的 除外),以实 测浓 度作为 达标 判定 依据,但 装置出 口烟 气含 氧量 不 得 高于装置 进口 废气 含氧 量。吸附、吸收、冷凝、生物、膜分 离等其 他VOCs 处 理 设施,以实测 浓度 作为达 标判定 依据,不得 稀释排放。进入VOCs燃 烧(焚 烧、氧 化)装 置的废 气需 要补充 氧气(空气)进行 燃烧、氧化反 应的,排气 筒中实测 大气 污染 物排 放浓 度,应 按公 式(2)换算 为 基准含 氧量 为3%的大 气污 染物基 准排 放浓 度。实实基基 OO-21-21(2)式中:基 大 气污 染物 基准 排 放浓度,单位为 mg/m3;O 基 干 烟气 基 准含氧 量,%;O 实 实 测的 干烟 气含 氧 量,%;实 实 测大 气污 染物 排 放浓度,单 位为mg/m3。5.1.4 排放 氯气、氰化 氢 的排气 筒高 度不 低于25m,其 他排 气筒 高度 不低 于15m(因安全 考虑 或由 特殊工艺要 求的 除外),具体 高度以 及与 周围 建筑 物的 距离应 根据 环境 影响 评价 文件确 定。5.1.5 当执 行不 同排 放控 制要求 的废 气合 并排 气筒 排放时,应 在废 气混 合前 进行监 测,并执 行相 应 的 排放控制 要求;若 可选 择的 监控位 置只 能对 混合 后的 废气进 行监 测,则应 按各 排放控 制要 求中 最严 格 的 规定执行。5.2 无 组织 排放 控制 要求 企业边 界大 气污 染物 任 何 1 小时 平均 浓度 执行 表 4 规定的 限值。表 4 企业 边界 大气 污染 物 浓度限 值 单位为 mg/m3 序号 污染物项目 浓度限值 1 氯化氢 0.2 2 氰化氢 0.024 3 氯气 0.4 4 硫酸雾 1.2 5 氨 1.0 6 甲醛 0.2 7 苯 0.4 8 非甲烷总烃 2.0 DB32/3747-2020 8 6 污染 物监测 要求 6.1 污 染物 监测 的一 般要 求 6.1.1 企业 应按 照 环境 监 测管理 办法 等 规定,建 立企业 监测 制度,制 定监 测方案,对 污染 物排 放状况及其 对周 边环 境质 量的 影响开 展自 行监 测,保存 原始监 测记 录,并公 布监 测结果。6.1.2 企业 安装 污染 源排 放 自动监 控设 备的 要求,按 有关法 律和 污 染源 自动 监控管 理办 法 的规 定执行。6.1.3 企业 应按 照环 境监 测 管理规 定和 技术 规范 的要 求,设 计、建设、维 护永 久性采 样口、采 样测 试平台和排 污口 标志。6.1.4 对企 业排 放的 废水 和 废气的 采样,应 根据 监测 污 染物的 种类,在 规定 的污 染 物排放 监控 位置 进行。有废水、废 气处 理设 施的,应在 该设 施后 监控。6.2 水 污染 物监 测要 求 6.2.1 水污 染物 的监 测采 样 按HJ/T 91、HJ 493、HJ 494、HJ 495 的 规定 执行。6.2.2 对企 业排 放水 污染 物 浓度的 测定 采用 表5 所列 的 方法标 准。6.2.3 本标 准发 布实 施后,表5所 列污 染物 如有 新发 布 的国家 环境 监测 分析 方法 标准,其方 法适 用范 围 和条件相 同的,也 适用 于本 排放标 准对 应污 染物 的测 定。表 5 水 污染 物 浓 度测 定方法 标准 序号 污染物项目 标准名称 标准编号 1 pH 值 水质 pH 值的测定 玻璃电 极法 GB/T 6920 2 悬浮物(SS)水质 悬浮物的测定 重量法 GB/T 11901 3 化学需氧量(COD)水质 化学需氧量的测定 重 铬酸盐法 HJ 828 水质 化学需氧量的测定 快 速消解分光光度法 HJ/T 399 4 总有机碳(TOC)水质总有机碳的测定燃烧氧化-非分散红外吸收法 HJ 501 5 总氰化物 水质 氰化物的测定 容量法 和分光光度法 HJ 484 水质 氰化物等的测定 真空 检测管-电子比色法 HJ 659 6 石油类 水质 石油类和动植物油的测 定 红外光度法 HJ 637 水质 石油类的测定 紫外分光 光度法 HJ 970 7 氨氮 水质 氨氮的测定 气相分子 吸收光谱法 HJ/T 195 水质 氨氮的测定 纳氏试剂 分光光度法 HJ 535 水质 氨氮的测定 水杨酸分 光光度法 HJ 536 水质 氨氮的测定 蒸馏-中和 滴定法 HJ 537 水质 氨氮的测定 连续流动-水杨酸分光光度法 HJ 665 水质 氨氮的测定 流动注射-水杨酸分光光度法 HJ 666 8 总氮 水质 总氮的测定 气相分子 吸收光谱法 HJ/T 199 水质 总氮的测定 碱性过硫 酸钾消解紫外分光光度法 HJ 636 水质 总氮的测定 连续流动-盐酸萘乙二胺分光光度法 HJ 667 水质 总氮的测定 流动注射-盐酸萘乙二胺分光光度法 HJ 668 9 总磷 水质 总磷的测定 钼酸铵分 光光度法 GB/T 11893 水质 磷酸盐和总磷的测定 连续流动-钼酸铵分光光度法 HJ 670 水质 总磷的测定 流动注射-钼酸铵分光光度法 HJ 671 10 硫化物 水质 硫化物的测定 亚甲基 蓝分光光度法 GB/T 16489 水质 硫化物的测定 碘量法 HJ/T 60 DB32/3747-2020 9 序号 污染物项目 标准名称 标准编号 水质 硫化物的测定 气相分 子吸收光谱法 HJ/T 200 11 氟化物 水质 氟化物的测定 离子选 择电极法 GB/T 7484 水质 氟化物的测定 茜素磺 酸锆目视比色法 HJ 487 水质 氟化物的测定 氟试剂 分光光度法 HJ 488 水质 无机阴离子的测定 离 子色谱法 HJ 84 12 阴离子表面活性剂(LAS)水质 阴离子表面活性剂的测 定 亚甲蓝分光光度法 GB/T 7494 13 总铜 水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法 GB/T 7475 水质 铜的测定 二乙基二硫 代氨基甲酸钠分光光度法 HJ 485 水质 铜的测定 2,9-二甲基-1,10-菲啰啉分光光度法 HJ 486 水质 32 种元素的测定 电感 耦合等离子体发射光谱法 HJ776 水质 65 种元素的测定 电感 耦合等离子体质谱 法 HJ 700 14 总锌 水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法 GB/T 7475 水质 32 种元素的测定 电感 耦合等离子体发射光谱法 HJ776 水质 65 种元素的测定 电感 耦合等离子体质谱法 HJ 700 15 总镉 水质 镉的测定 双硫腙分光 光度法 GB/T 7471 水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法 GB/T 7475 水质 32 种元素的测定 电感 耦合等离子体发射光谱法 HJ 776 水质 65 种元素的测定 电感 耦合等离子体质谱 法 HJ 700 16 总铬 水质 总铬的测定 GB/T 7466 水质 32 种元素的测定 电感 耦合等离子体发射光谱法 HJ 776 水质 65 种元素的测定 电感 耦合等离子体质谱 法 HJ 700 17 六价铬 水质 六价铬的测定 二苯碳 酰二肼分光光度法 GB/T 7467 水质 六价铬的测定 流动注 射-二苯碳酰二肼光度法 HJ 908 18 总砷 水质 总砷的测定 二乙基二 硫代氨基甲酸银分光光度法 GB/T 7485 水质 汞、砷、硒、铋和锑的 测定 原子荧光法 HJ 694 水质 32 种元素的测定 电感 耦合等离子体发射光谱法 HJ776 水质 65 种元素的测定 电感 耦合等离子体质谱 法 HJ 700 19 总铅 水质 铅的测定 双硫腙分光 光度法 GB/T 7470 水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法 GB/T 7475 水质 32 种元素的测定 电感 耦合等离子体发射光谱法 HJ 776 水质 65 种元素的测定 电感 耦合等离子体质谱 法 HJ 700 20 总镍 水质 镍的测定 火焰原子吸 收分光光度法 GB/T 11912 水质 镍的测定 丁二酮肟分 光光度法 GB/T 11910 水质 32 种元素的测定 电感 耦合等离子体发射光谱法 HJ 776 水质 65 种元素的测定 电感 耦合等离子体质谱 法 HJ 700 21 总银 水质 银的测定 火焰原子吸 收分光光度法 GB/T 11907 水质 银的测定 3,5-Br2-PADAP 分光光度 HJ 489 水质 银的测定 镉试剂2B 分 光光度法 HJ 490 水质 32 种元素的测定 电感 耦合等离子体发射光谱法 HJ 776 水质 65 种元素的测定 电感 耦合等离子体质谱 法 HJ 700 DB32/3747-2020 10 6.3 大 气污 染物 监测 要求 6.3.1 排气 筒中 大气 污染 物 的监测 采样 按GB/T 16157、HJ/T 397、HJ 75、HJ 76、HJ 732 规 定执 行;大 气污染物 无组 织排 放的 监测 按HJ/T 55 规定 执行。6.3.2 对企 业排 放大 气污 染 物浓度 的测 定采 用表6所 列 的方法 标准。6.3.3 本标 准发 布后,表6 所列污 染物 如有 新发 布的 国家环 境监 测分 析方 法标 准,其 方法 适用 范围 和 条 件相同的,也 适用 于本 排放 标准对 应污 染物 的测 定。表 6 大气 污染 物 浓 度测 定 方法标准 序号 污染物项目 标准名称 标准编号 1 颗粒物 固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法 GB/T 16157 环境空气 总悬浮颗粒物的测定 重量法 GB/T 15432 固定污染源废气 低浓度颗粒物的测定 重量法 HJ 836 2 硫酸雾 固定污染源废气 硫酸雾的测 定 离子色谱法 HJ 544 3 氯化氢 固定污染源排气中氯化氢的测定 硫氰酸汞分光光度法 HJ/T 27 固定污染源废气 氯化氢的测 定 硝酸银容量法 HJ 548 环境空气和废气 氯化氢的测 定 离子色谱法 HJ 549 4 氟化物 大气固定污染源 氟化物的测 定 离子选择电极法 HJ/T 67 环境空气 氟化物的测定 滤膜 采样/氟离子选择电极法 HJ 955 5 氮氧化物 固定污染源排气中氮氧化物的测定 紫外分光光度法 HJ/T 42 固定污染源排气中氮氧化物的测定 盐酸萘乙二胺分光光度法 HJ/T 43 固定污染源废气 氮氧化物的测定 非分散红外吸收 HJ 692 固定污染源废气 氮氧化物的测定 定电位电解法 HJ 693 6 氰化氢 固定污染源排气中氰化氢的测定 异烟酸-吡唑啉酮分光光度法 HJ/T 28 7 氯气 固定污染源排气中氯气的测定 甲基橙分光光度法 HJ/T 30 8 氨 环境空气和废气 氨的测定 纳氏试剂分光光度法 HJ 533 环境空气 氨的测定 次氯酸 钠-水杨酸分光光度法 HJ 534 9 锡及其化合物 空气和废气 颗粒物中铅等金 属元素的测定 电感耦合等离 子体质谱法 HJ 657 空气和废气 颗粒物中金属元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法 HJ 777 大气固定污染源 锡的测定 石 墨炉原子吸收分光光度法 HJ/T 65 10 异丙醇 固定污染物源废气 挥发性有 机物的测定 固相吸附热脱 附/气相色谱 质谱法 HJ 734 11 苯、苯系物 环境空气 挥发性有机物的测 定 吸附管采样-热脱附/气相色 谱-质谱法 HJ 644 固定污染源废气 挥发性有机物的测定 固相吸附-热脱附/气相 色谱-质谱法 HJ 734 环境空气挥发性有机物的测定罐采样/气相色谱-质谱法 HJ 759 12 甲醛 空气质量 甲醛的测定 乙酰 丙酮分光光度法 GB/T 15516 环境空气 醛、酮类化合物的 测定高效液相色谱法 HJ 683 13 非甲烷总烃 固定污染源废气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 气相色谱法 HJ 38 环境空气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 直接进样-气相色谱法 HJ 604 7 达标 判定 7.1 采 用手 工监 测时,按 照 相关监 测技 术规 范要 求获 取的监 测结 果超 过本 标准 排放浓 度限 值的,判 定为排放超 标。各 级生 态环 境 主管部 门在 对企 业进 行监 督性检 查时,可以 现场 即 时采样 或监 测的 结果,作 为判定排 污行 为是 否符 合排 放标准 以及 实施 相关 环境 保护管 理措 施的 依据。DB32/3747-2020 11 7.2 企 业按 照法 律法 规及 标准规 范要 求与 生态 环境 部门联 网的 自动 监测 有效 数据,大气 污染 物 以 任意1小时平 均浓 度值 作为 达标 考核的 依据,水 污染 物以 日均值 作为 达标 考核 的依 据。7.3 国 家和 省对 达标 判定 另有要 求的,从 其规 定。8 标准 的实 施与 监督 8.1 新建 企业 自2020 年7 月1日起,现有 企业 自2022 年7月1日 起执 行 本 标准。8.2 本 标准 由县 级以 上人 民政府 生态 环境 主管 部门 负责监 督实 施。8.3 在 任何 情况 下,企业 均 应遵守 本标 准的 污染 物排 放控制 要求,采 取必 要措 施保证 污染 防治 设施 正常运行。

注意事项

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