敬请参阅末页重要声明及评级说明 证券研究报告 制冷压缩机龙头，第二增长极真空泵发力 主要观点 ： Table_Summary 制冷压缩机龙头企业，真空业务加速增长 公司以螺杆技术为基础，不断开拓离心、磁悬浮离心、涡旋外延技术，在制冷产品、空压机产品、真空泵产品等领域已拥有较强的技术实力，为美的、海尔、盾安等多个知名厂家提供制冷压缩机产品，同时为晶盛、捷佳等知名厂家提供真空泵产品。 2016-2021 年，公司营收和归母净利润CAGR 分别为 25.08%/23.59%。 据公司业绩 快报 ， 2022 上半年 预计 实现营收 13.69 亿元，同比增长 3.08%， 预计实现 归母净利润 2.46 亿元，同比增长 24.17%。 真空泵：乘光伏之风，半导体全面拓展 1.光伏真空泵市场：下游扩产带动行业空间 提升。 根据 CPIA 数据， 2021年全球光伏新增装机 170 GW，创历史新高。其中，我国光伏新增装机54.88GW，同比增长 13.9。我们测算 2022/2023 年硅片环节真空泵市场将达 20.9/24.8 亿元，同比增长 16.76%/18.66%，其中新增装机市场13.5/14.4 亿元，维修市场 7.5/10.2 亿元。 2022/2023 年电池片环节真空泵市场将达 8.7/5.3 亿元。 2.半导体真空泵市场：国产替代空间下的未来可期。 我们测算， 2022 年全球半导体用干式真空泵设备 /维修市场分别为 147.3/49.1 亿元，同比增长均为 9.3%。设备需求中，新增 /存量替换需求分别为 44.7/102.6 亿元，存量替换为大部分的市场需求来源。我国大陆仅 12 英寸晶圆扩产将在2022 年带来 11.4 亿元的新增干式真空泵市场，并在 5 年内共计带来 91.4亿元的新增市场，半导体设备市场增长及国产替代带来真空泵广阔空间。 3.公司真空业务近年来持续高增，通过扩产、产品研发、维修体系完善三方向拓展。 2021 年真空业务营收 10.43 亿元，同比增长 59.71%，毛利率43.14%，较上年提高 1.53%。公司真空产品在太阳能光 伏产业已深耕多年，主要应用于拉晶及电池片制程，拉晶环节占比较多，在电池片环节主要应用于 PERC 工艺环节，在 TOPCon 工艺的出货量有所增加，在 HJT工艺技术环节处于配合客户测试阶段。公司半导体真空泵主要为螺杆式，已有能满足半导体最先进工艺的全系列中真空干式真空泵产品，并拥有SEMI 安全基准验证证书，目前已进行小批量供货。 压缩机业务 稳扎稳打，多维稳定增长 1.中央空调压缩机：顺周期的稳步增长。 公司持续研发高效、变频压缩机，以及包括 RT 系列、 RTM 系列、 RTA 系列 在内的离心压缩机，以顺应市场对绿色高效节能产品的需求。随着国家节能减排政策的不断深入，公司空调产品有望保持稳定增长趋势。 2.冷冻冷藏压缩机：冷链市场发展下的快速增长。 随着城镇化进程加快以及电商冷链物流系统的发展，我国冷链需求快速增加 ， 2021 年，我国冷链物流市场总规模为 4184 亿元，同比增长 9.19%，公司半封闭螺杆压缩机有 30%以上的增长。公司针对不同客户需求，持续推出多种型号的低温冷冻冷藏压缩机，凭借既有产品的良好口碑及不断更新的节能产品。 3.热泵压缩机：持续受益政策的清洁能源产品。 近年来，“煤改电 ”政策 Table_StockNameRptType 汉钟精机（ 002158） 公司 深度 Table_Rank 投资评级：买入（首次 ） 报告日期： 2022-08-02 Table_BaseData 收盘价（元） 24.00 近 12 个月最高 /最低（元） 30.08/12.94 总股本（百万股） 534.72 流通股本（百万股） 533.37 流通股比例（ %） 99.75 总市值（亿元） 128.33 流通市值（亿元） 128.01 Table_Chart 公司价格与沪深 300 走势比较 Table_Author 分析师： 张帆 执业证书号： S0010522070003 邮箱： -50%-40%-30%-20%-10%0%10%20%30%沪深 300 汉钟精机 敬请参阅末页重要声明及评级说明 2 / 30 证券研究报告 Table_CompanyRptType1 汉钟精机 （ 002158） 和空气源热泵补贴政策相继推出，清洁能源产业优势凸显，推动了热泵采暖零售市场的发展。 2021 年我国热泵行业市场规模 248.2 亿元，同比增长 22.9%。公司持续推出热泵压 缩机产品，丰富产业链，未来随着补贴政策的不断推出，公司热泵产品将有广阔成长空间。 4.空气压缩机：无油空压机与变频技术带来增量空间。 2016-2020 年国内空气压缩机行业销售额 CAGR 为 4.37%， 2020 年市场销售额达到583.36 亿元。随着工业技术进步对无油的环境要求日益严格，无油空压机市场潜力巨大，同时为顺应节能技术发展趋势，变频技 术也将逐渐应用在螺杆式空气压缩机上。公司永磁变频和无油空压机产品将为公司空压业务带来广阔 空间。 盈利预测、估值及投资评级 我们预测公司 2022-2024 年营业收入分别为 33.77/39.81/47.17 亿元，归母净利润分别为 5.78/7.01/8.39 亿元， 2021-2024 年归母净利润 CAGR为 20%，以当前总股本 5.35 亿股计算的摊薄 EPS 为 1.08/1.31/1.57 元，首次覆盖给予“买入”评级 。 风险提示 1）光伏行业后续扩产不及预期的风险。 2）半导体行业客户拓展不及预期的风险。 3）海外收入占比较高的风险。 4）原材料大幅波动的风险。 5）测算市场空间的误差风险。 6）研究依据的信息更新不及时，未能充分反映公司最新状况的风险。 重要财务指标 单位: 百万元主要财务指标 2021 2022E 2023E 2024E营业收入 2 ,9 8 1 3 ,3 7 7 3 ,9 8 1 4 ,7 1 7 收入同比( % ) 3 1 .2 % 1 3 .3 % 1 7 .9 % 1 8 .5 %归属母公司净利润 487 578 701 839 净利润同比(% ) 3 4 .1 % 1 8 .7 % 2 1 .2 % 1 9 .7 %毛利率(% ) 3 4 .8 % 3 5 .6 % 3 6 .2 % 3 6 .7 %R O E ( % ) 1 8 .5 % 1 9 .3 % 2 0 .2 % 2 0 .8 %每股收益( 元) 0 .9 1 1 .0 8 1 .3 1 1 .5 7P / E 2 6 .7 3 2 2 .5 1 1 8 .5 7 1 5 .5 1P / B 4 .9 8 4 .3 6 3 .7 7 3 .2 5E V / E B I T D A 3 0 .4 5 2 5 .9 8 2 2 .2 5 1 8 .9 6资料来源：w i n d ，华安证券研究所 敬请参阅末页重要声明及评级说明 3 / 30 证券研究报告 Table_CompanyRptType1 汉钟精机 （ 002158） 正文目录 1 制冷压缩机龙头企业，真空业务加速增长 . 6 1.1 制冷压缩机龙头企业 . 6 1.2 产线丰富，真空业务加速增 长 . 8 1.3 营收持续增长，持续投入研发 . 9 2 真空泵：乘光伏之风， 开半导体之先 . 10 2.1 光伏真空泵市场：下游扩产带动行业空间提升 . 11 2.2 半导体真空泵市场：国产替代空间下的未来可期 . 14 2.3 真空行业集中度较高，收购成就行业龙头 . 17 2.4 扩产 、产品研发、维修体系完善三方向拓展真空泵市场 . 19 3 压缩机业务稳扎稳打，多维稳定增长 . 21 3.1 中央空调压缩机：顺周期的稳步增长 . 21 3.2 冷冻冷藏压缩机：冷链市场发展下的快速增长 . 22 3.3 热泵压缩机：持续受益政策的清洁能源产品 . 23 3.4 空气压缩机：无油空压机与变频技术带来增量空间 . 24 4 投资建议 . 26 4.1 基本假设与营业收入预测 . 26 4.2 估值和投资建议 . 27 风险提示 . 28 敬请参阅末页重要声明及评级说明 4 / 30 证券研究报告 Table_CompanyRptType1 汉钟精机 （ 002158） 图表目录 图表 1 公司发展历程 . 6 图表 2 子公司及主要业务（截至 2022 年 4 月 28 日） . 7 图表 3 公司股权结构（截至 2022 年 7 月 18 日） . 7 图表 4 公司主要产品系列 . 8 图表 5 2018-2021 分产品营业收入 . 8 图表 6 2018-2021 分产品毛利率（ %） . 8 图表 7 公司近年营运表现 . 9 图表 8 公司近年盈利表现 . 9 图表 9 2017-2022Q1 公司期间费用率 . 9 图表 10 2017-2022Q1 公司研发费用 . 9 图表 11 真空度范围划分 . 10 图表 12 气体传输泵分类 . 10 图表 13 油封 VS 干式真空泵 . 10 图表 14 2019 年全球真空泵应用领域构成情况 . 11 图表 15 光伏产业链图示 . 11 图表 16 全球光伏新增装机及预测（ GW） . 12 图表 17 我国光 伏新增装机及预测（ GW） . 12 图表 18 2019-2022 年全球光伏产能预测 . 12 图表 19 全球硅片环节真空泵市场规模测算 . 13 图表 20 全球电池片环节真空泵市场规模测算 . 14 图表 21 芯 片制备流程 . 15 图表 22 全球晶圆产能变化（百万片，折算成 8 寸晶圆） . 15 图表 23 全球半导体用干式真空泵市场规模测算 . 15 图表 24 我国芯片市场规模（十亿美元） . 16 图表 25 我国芯 片生产规模（十亿美元） . 16 图表 26 8 英寸半导体产能和晶圆厂数量 . 16 图表 27 17-26 年中国大陆地区 12 英寸厂增量预测（座） . 16 图表 28 全球各国 /地区半导体设备销售额（十亿美元） . 17 图表 29 2022 年晶圆厂设备支出估计（亿美元） . 17 图表 30 半导体设备国产化率（截至 2019 年 12 月） . 17 图表 31 2019 年全球真空市场竞争格局 . 18 图表 32 ATLAS 主要产品分类 . 18 图表 33 ATLAS 收购真空领域相关公司历程 . 19 图表 34 2017-2021 年 ATLAS 营收构成（百万 CHF） . 19 图表 35 2021 年 ATLAS 真空业务收入构成 . 19 图表 36 公司真空业务近年来持续高增 . 20 图表 37 公司应用于半导体工艺的真空泵产品系列 . 20 图表 38 压缩机业务分产品业绩情况 . 21 图表 39 中央空调的分类 . 21 图表 40 2012-2021 中 国中央空调销售情况 . 21 图表 41 中央空调用压缩机主要产品种类 . 22 敬请参阅末页重要声明及评级说明 5 / 30 证券研究报告 Table_CompanyRptType1 汉钟精机 （ 002158） 图表 42 2017-2021 中国冷链物流市场规模 . 22 图表 43 2017-2021 中国冷库容量 . 22 图表 44 冷冻冷藏主要产品种类 . 23 图表 45 2017-2021 中国热泵行业市场规模 . 23 图表 46 2017-2021 中国热泵行业分产品销量 . 23 图表 47 2016-2021 中国空压机行业销售额 . 24 图表 48 2014-2019 中国螺杆式空压机销量 . 24 图表 49 2020 年中国空压行业国内企业市场份额 . 24 图表 50 公司营业收入预测 . 26 图表 51 可比公司估值 . 27 敬请参阅末页重要声明及评级说明 6 / 30 证券研究报告 Table_CompanyRptType1 汉钟精机 （ 002158） 1 制冷压缩机龙头企业，真空业务加速增长 1.1 制冷压缩机龙头企业 汉钟精机创立于 1994 年，于 2007 年在深圳证券交易所上市。公司主要产品包括R 系列制冷压缩机、 A 系列空气压缩机组和机体、 L 系列冷冻冷藏压缩机组及 P 系列真空产品。 公司以螺杆技术为基础，不断开拓离心、磁悬浮离心、涡旋外延技术，在制冷产品、空压机产品、真空泵产品等领域已拥有较强的技术实力，为美的、海尔、盾安等多个知名厂家提供制冷压缩机产品，同时为隆基股份、晶盛、捷佳等知名厂家提供真空泵产品。 图表 1 公 司发展历程 资料来源：华安证券研究所整理 分 /子公司协同发展。 随着公司的发展规模不断扩大，济南、广州、南京、重庆分公司相继设立，子公司浙江汉声、上海柯茂、香港汉钟、越南汉钟、韩国汉钟、浙江柯茂、楚雄汉钟、越南北宁汉钟等陆续创立，经营范围拓展至越南、韩国等地，子公司深化产品细分领域，在经营范围和业务内容上与公司发展形成协同效应。 敬请参阅末页重要声明及评级说明 7 / 30 证券研究报告 Table_CompanyRptType1 汉钟精机 （ 002158） 图表 2 子公司及主要业务（截至 2022 年 4 月 28 日） 资料来源：华安证券研究所整理 股权结构稳定。 公司控股股东为境外法人巴拿马海尔梅斯公司，持股比例 32.70%；境外法人 CAPITAL HARVEST TECHNOLOGY LIMITED 为公司第二大股东，持股比例28.64%，二者不存在关联关系。公司实际控制人为廖哲男先生，其持股汉钟投资控股23.09%股权，汉钟投资控股 100%持股巴拿马海尔梅斯公司。 图表 3 公司股权结构（截至 2022 年 7 月 18 日） 资料来源： 同花顺 ifind，华安证券研究所 子公司 成立时间 控股时间 主要经营地 业务性质 主营业务上海柯茂 2009 上海 制造业离 心 式 压 缩 机 、 离 心 式 冷 水 机 组 、 热 泵 机 组 、 冷 冻 机 、 风 机 、 离 心泵、气体压缩机及零部件研发、生产、销售及相关配套服务浙江汉声 2009 浙江 制造业研 发 、 生 产 、 加 工 、 组 装 、 维 修 （ 精 密 铸 件 、 压 缩 机 零 件 、 汽 车 配件、精密主件、五金机械）；批发及零售；进出口业务等香港汉钟 2011 香港 国际贸易、海外投资 越南汉钟 2012 越南 生产销售 台湾真空 2010 2017 台湾 贸易 青 岛 世 纪 东元2008 2016 青岛 制造业研 发 、 设 计 、 销 售 空 调 制 冷 相 关 专 业 设 备 及 压 缩 机 和 零 配 件 ， 提 供相关产品的安装、调试和售后服务 , 并提供技术咨询服务台湾汉钟 1994 2017 台湾 制造业 安徽汉杨 2018 安徽 制造业精 密 铸 件 、 压 缩 机 零 件 、 汽 车 配 件 、 机 床 、 泵 阀 零 部 件 的 研 发 、 生产、加工、销售及售后服务韩国汉钟 2018 2018 韩国 贸易 浙江柯茂 2020 浙江 制造业环 境 保 护 专 用 设 备 、 制 冷 、 空 调 设 备 、 发 电 机 及 发 电 机 组 等 制 造 和销售；技术进出口、货物进出口楚雄汉钟 2021 云南 制造业一 般 项 目 : 机 械 电 气 设 备 制 造 ； 泵 、 真 空 设 备 及 机 械 电 气 设 备 销售；工业机器人安装、维修，专用设备修理、通用设备修理北宁汉钟 2022 越南 敬请参阅末页重要声明及评级说明 8 / 30 证券研究报告 Table_CompanyRptType1 汉钟精机 （ 002158） 1.2 产线丰富，真空业务加速增长 公司产品线不断丰富。 公司产品主要分为压缩机（组）产品 和真空泵产品两类。公司生产的压缩机产品包括制冷压缩机产品和空气压缩机产品两大类，其中制冷压缩机产品包含商用中央空调压缩机、冷冻冷藏压缩机和热泵压缩机 。 2021 年公司压缩机产品营收 16.97 亿元，同比增长 17.45%，为公司第一大业务。公司生产的真空泵产品主要用于光伏、半导体、锂电池、医药化工等行业， 2021 年真空泵营收 10.43 亿元，同比增长 59.71%。 图表 4 公司主要产品系列 资料来源：华安证券研究所整理 真空业务取得较快成长。 随着真空业务放量，公司第一大主营业务压缩机产品的营收占比从 2018 年的 75.13%下降到 2021 年的 56.93%，真空产品营收占比从 2018 年的 15.74%上升到 2021 年的 34.98%。公司在保持传统压缩机业务稳步发展的同时，进一步发力拓展真空产品在光伏行业和半导体行业的应用。 图表 5 2018-2021 分产品营业收入 图表 6 2018-2021 分产品毛利率（ %） 资料来源： WIND，华安证券研究所 资料来源： WIND，华安证券研究 所 分类 产品 型号 图片 下游应用商用中央空调压缩机R E 系列半封闭式螺杆压缩机、R C 2 - E 系列螺杆压缩机、R C 2系列螺杆式冷媒压缩机房地产开发、百货仓储物流、大型公共建筑等冷冻冷藏压缩机R H系列半封闭螺杆式高压压缩机、R G 系列开启式螺杆压缩机、R C 2 - D 系列压缩机、R C 2 - P Z 系列压缩机、LBI I - P LU S系列半封闭螺杆式冷冻压缩机、LT- S( - L) 系列半封闭螺杆式冷冻压缩机、LT系列半封闭双级变频螺杆式冷冻压缩机冷冻冷藏、工业制程冷却、冷冻干燥、冷链物流及制冰系统等多个行业与领域，热泵压缩机R C 2 - P LU S单级低环温高温热泵压缩机、L T - S- H( A ) 单机双级高温热泵压缩机、R C 2 - G & T 高温热泵压缩机高温热水、集中供暖等多个行业空气压缩机机组Ha n b e l l 6 系列、Ha n b e l l D 系列、Ha n b e l l A T - A D 系列、Ha n b e l l L系列空气压缩机机体 永磁一体机、A D 集成系列、双段系列、單段系列涡旋式空气压缩机 5 . 5 K W 无油涡旋、3 . 7 K W 无油涡旋螺杆真空泵 P A 油螺杆真空泵、P D 系列螺杆真空泵、P S系列螺杆真空泵半导体用真空泵I P M 半导体中度严苛系列、I P H半导体中度严苛系列、P M F半导体干净系列压缩机空压产品工业自动化领域：机械、冶金、电子电力、医药、包装、化工、食品、采矿、纺织、交通等众多业务领域真空产品多晶硅制备工艺、半导体刻蚀工艺、化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%2018 2019 2020 2021压缩机 真空产品 铸件产品 零件及维修01020304050602018 2019 2020 2021压缩机 真空产品 零件及维修 铸件产品 敬请参阅末页重要声明及评级说明 9 / 30 证券研究报告 Table_CompanyRptType1 汉钟精机 （ 002158） 1.3 营收持续增长，持续投入研发 2016-2021 年，公司营收和归母净利润 CAGR 分别为 25.08%/23.59%。 2022 年第一季度公司营业收入 5.95 亿元，同比增长 2.67%，归母净利润 0.91 亿元，同比增长22.67%。 2021 年国内外疫情反复，国际局势不稳定性增加，公司通过稳健发展各项业务，积极推进产品创新，取得了较好的经营业绩，收入和利润都有稳定的增长。 2018 年以来，公司逐步扩大制冷产品在节能领域的应用，加强真空泵产品在光伏和半导体产业的应用，力推空压产品在医药化工及激光 切割 等行业的应用，公司毛利率保持在 30%以上，净利率也呈持续上升趋势，从 2018 年的 11.70%上升到 2021 年的16.34%。 图表 7 公司近年营运表现 图表 8 公司近年盈利表现 资料来源： WIND，华安证券研究所 资料来源： WIND，华安证券研究所 期间费用率稳定，持续投入研发。 公司期间费用率近年来整体较为稳定， 2022 年第一季度公司期间费用率 10.12%。公司持续进行研发投入， 2021 年公司研发费用1.85 亿元，研发费用率 6.21%，截至 2021 年底，公司已拥有 77 项专利，其中发明专利 7 项、实用新型专利 59 项、外观设计专利 11 项。 图表 9 2017-2022Q1 公司期间费用率 图表 10 2017-2022Q1 公司研发费用 资料来源： WIND，华安证券研究所 资料来源： WIND，华安证券研究所 10 16 17 18 23 30 6 36%35%33%35%36%35%33%30%31%32%33%34%35%36%37%05101520253035营业收入（亿元） 毛利率（ %）1.7 2.3 2.0 2.5 3.6 4.9 0.9 17%14%12%14%16% 16%15%0%2%4%6%8%10%12%14%16%18%0.001.002.003.004.005.006.00归母净利润（亿元） 净利率（ %）6.5% 7.6%4.8%5.1% 5.8%5.7% 6.0% 5.0%4.7% 5.3%0.5%1.3% 0.7% 1.0%-1.1%-2.00%0.00%2.00%4.00%6.00%8.00%10.00%2018 2019 2020 2021 2022Q1销售费用率（ %） 管理费用率（ %）财务费用率（ %）1.1 1.2 1.7 1.9 0.3 6.6% 6.7%7.6%6.2%5.5%0.00%1.00%2.00%3.00%4.00%5.00%6.00%7.00%8.00%0.000.200.400.600.801.001.201.401.601.802.002018 2019 2020 2021 2022Q1研发费用（亿元） 研发费用率（ %） 敬请参阅末页重要声明及评级说明 10 / 30 证券研究报告 Table_CompanyRptType1 汉钟精机 （ 002158） 2 真空泵：乘光伏之风，开半导体之先 真空泵是真空获得设备中的主要种类，用于获得、改善和（或）维持真空环境。真空技术主要是建立低于大气压力的物理环境，以及在此中进行工艺制作、 物理测量和科学试验等所需的技术获得的真空度可以分为四档。 图表 11 真空度范围划分 资料来源： 中科仪招股说明书， 华安证券研究所 按照工作原理的不同，真空泵分为气体传输泵和气体粘合或捕集泵两大类，其中气体传输泵的市场规模占比约为 65%。公司的主要产品干式真空泵罗茨泵和螺杆泵是气体传输 -变容真空泵的一种。 图表 12 气体传输泵分类 资料来源：中科仪招股说明书，华安证券研究所 图表 13 油封 VS 干式真空泵 资料来源： 中科仪招股说明书 ，华安证券研究所 全球真空市场规模为 45.4 亿欧元，我国干式螺杆真空泵渗透率提升。 根据 ISVT数据， 2019 年全球真空市场规模为 45.4 亿欧元。真空泵被广泛应用于制药、化工、食真空度范围 气压范围 主要应用领域低真空 10 5 P a -1 0 2 Pa 利用低真空获得的压力差来夹持、提升和运输物料，以及吸尘和过滤。中真空 10 2 P a -1 0 -1 Pa 一般用于排除物料中吸留或溶解的气体或水分、制造灯泡、真空冶金和用作热绝缘。高真空 10 -1 P a -1 0 -5 Pa 用于热绝缘、电绝缘和避免分子电子、离子碰撞的场合。超高真空 10 -5 Pa 常用于可控热核聚变的研究，时间基准氢分子镜的制作，化学的科研。密封方式主要应用真空度范围往复式真空泵 柱塞泵 -油类密封或无密封液体103 1 05Pa爪式 无密封液体10-1 1 05Pa涡旋式 无密封液体10-1 1 05Pa罗茨式 无密封液体10-3 1 05Pa螺杆式 无密封液体10-2 1 05Pa旋片式 油类密封10-2 1 05Pa定片泵 油类密封10-2 1 05Pa滑阀式 油类密封10-1 1 05Pa液环真空泵 - 水或油密封102 1 05Pa牵引分子泵 涡轮分子泵 无密封液体10-8 1 0-1Pa涡轮泵 - 无密封液体10-2 1 05Pa液体喷射泵 水封102 1 05Pa气体喷射泵 无密封液体10-1 1 05Pa蒸汽喷射泵 油类密封10-1 1 05Pa扩散泵 - 油类密封10-8 1 0-1Pa扩散喷射泵 - 油类密封10-2 1 00Pa离子传输泵 - - 无密封液体10-9 1 01Pa变容真空泵气体传输泵按工作原理分类旋转式真空泵动量真空泵牵引式真空泵流体携带泵推进物喷射泵干式机械泵油封式机械泵设备类型 工作原理油封（液封）真空泵 用泵油来密封相对运动零部件间的间隙，以减少压缩腔末端的残余死 空间。干式真空泵不用油封或液封的变容真空泵，通常在大气压到 1 0 -2 P a 的压力范围内工作。在泵的抽气通道中，不能使用任何油类或密封液体，排气口与大气相通，能够连续向大气排气。 敬请参阅末页重要声明及评级说明 11 / 30 证券研究报告 Table_CompanyRptType1 汉钟精机 （ 002158） 品、电子等下游行业， 2019 年半导体领域是规模最大的下游市场，占比 37%，规模约17.3 亿欧元。我国 2020 年真空泵产量达 526.64 万台， 2020 年以来真空泵行业结构转型趋势明显，干式螺杆真空泵的出现替代了大部分油螺杆真空泵，在制药、医疗器械、半导体行业均有应用。 图表 14 2019 年全球真空泵应用领域构成情况 资料来源： ISVT，华安证券研究所 2.1 光伏真空泵市场：下游扩产带动行业空间提升 真空泵为光伏设备的关键部件之一。 光伏电池主要分为四大流程：硅料制程、硅片制程、电池片制程和组件制程。真空泵主要应用于硅片拉晶，电池片高方阻扩散（低压扩散炉）和 PVD、 PECVD 镀膜工艺，组件层压环节等。设备中的真空稳定性是工艺稳定的关键技术之一，以电池片镀膜为例，真空镀膜技术的优点有：薄膜厚度可进行控制，以制备具有各种不同功能的功能性薄膜；环境清洁，薄膜不易受到污染，因此可获得致密性好、纯度高和涂层均匀的薄膜。 图表 15 光伏产业链图示 资料来源： 迈为股份招股说明书 ，华安证券研究所 37.00%18.00%8.00%8.00%7.00%7.00%6.00%6.00% 2.00%半导体 工业真空 仪器制造 工艺真空 粗真空平板显示器 科学研究 薄膜沉积 太阳能 敬请参阅末页重要声明及评级说明 12 / 30 证券研究报告 Table_CompanyRptType1 汉钟精机 （ 002158） 光伏装机持续高增长。 根据 CPIA 数据， 2021 年全球光伏新增装机 170 GW，创历史新高。其中，我国光伏新增装机 54.88GW，同比增长 13.9；欧盟新增装机25.9GW，同比增长近 34；美国预计新增装机近 26.8GW，预期同比增长约 39.6；印度新增装机 11.89GW，同比增长 218左右。 2022 年，在光伏发电成本持续下降推动下，全球光伏新增装机仍将快速增长，保守情况下预计 2025 年全球 /我国新增装机量为 270/90GW。 图表 16 全球光伏新增装机及预测（ GW） 图表 17 我国光伏新增装机及预测（ GW） 资料来源： CPIA，华安证券研究所 资料来源： CPIA，华安证券研究所 图表 18 2019-2022 年全球光伏产能预测 资料来源： CPIA， 中商产业研究院， 华安证券研究所 2022/2023 年硅片环节真空泵市场将达 13.3/14.2 亿元，其中新增装机市场 10.5 /10.4 亿元，维修市场 2.8/3.8 亿元，随着存量真空泵的规模扩大，维修和替换需求将贡献更多市场增量。 2021 年 ,我国大陆硅片产能约 407.2GW,同比增加 69.7%;产值约226.6GW,同比增加 40.4%,占全球硅片产值的 97.3%，在全球硅片市场中处于领先地位，且仍处在积极扩产期。我们对硅片环节干式真空泵做以下假设测算规模： （ 1）参考 CPIA 的数据，假设 2022/2023 年硅片新增产能 150.7/149.2GW; （ 2）每 GW 干式真空泵需求量 100 台； 170195220245270300 315170240275300330360 3661001502002503003504002021 2022E 2023E 2024E 2025E 2027E 2030E保守情况 乐观情况54.8875 8085 90100 10554.8890 95100110122 12850607080901001101201301402021 2022E 2023E 2024E 2025E 2027E 2030E保守情况 乐观情况68 61 77 92 185 247 415 566 211 249 424 580 219 320 465 594 01002003004005006007002019 2020 2021 2022E多晶硅 硅片 电池 组件 敬请参阅末页重要声明及评级说明 13 / 30 证券研究报告 Table_CompanyRptType1 汉钟精机 （ 002158） （ 3）因硅片环节维修周期较长，对存量干式真空泵的 1/3 估算每年 2 万元 /台的维修费 用。 图表 19 全球硅片环节真空泵市场规 模测算 全球 2021 2022E 2023E 光伏新增装机量 (GW) 170 195 220 容配比 1.3 1.3 1.3 硅片需求 (GW) 223.9 253.5 286 硅片产能利用率 54% 45% 40% 硅片总产能 (GW) 415.1 565.8 715 硅片新增产能 (GW) 167.7 150.7 149.2 每 GW 需干式真空泵 100 100 100 干式真空泵需求量（台） 16,770 15,070 14,920 单价（万元 /台） 7 7 7 新增装机市场空间（亿元） 11.7 10.5 10.4 存量干式真空泵（台） 24,740 41,510 56,580 维修市场规模（亿元） 1.6 2.8 3.8 设备和维修总需求（亿元） 13.4 13.3 14.2 资料来源： CPIA，华安证券研究所 2022/2023 年电池片环节真空泵市场将达 13.8/12.5 亿元，其中新增装机市场8.7/5.3 亿元，维修市场 5.1/7.2 亿元，类似的，维修和替换需求将贡献更多市场增量 。我们对电池片环节干式真空泵做以下假设测算规模： （ 1）参考 CPIA 对光伏新增装机量及电池片产能的预测，假设 2022/2023 年电池片新增产能 174/117.5GW; （ 2）假设 2022/2023 年 HJT/TOPCon/PERC 产能占比分别为 5%/9%/83%，8%/15%/73%； （ 3） HJT/TOPCon 相较 PERC 每 GW 对干式真空泵需求量较少，单台价值量更高； （ 4）按 PERC 对真空泵的价值量需求估算 2021 年的存量干式真空泵体量，按存量真空泵每年 2 万元 /台的维修费用计算维修市场需求。 敬请参阅末页重要声明及评级说明 14 / 30 证券研究报告 Table_CompanyRptType1 汉钟精机 （ 002158） 图表 20 全球电 池片环节真 空泵市场规模测算 全球 2021 2022E 2023E 光伏新增装机量 (GW) 170 195 220 容配比 1.3 1.3 1.3 电池片需求 (GW) 223.9 253.5 286 电池片产能利用率 53% 42% 40% 电池片总产能 (GW) 423.5 597.5 715 电池片新增产能 (GW) 174.1 174 117.5 HJT 总产能 (GW) 6.4 29.3 57.2 HJT 新增产能 (GW) 22.9 27.9 TOPCON 总产能 (GW) 8.8 53.8 107.3 TOPCON 新增产能 (GW) 45.0 53.5 每 GW 需干式真空泵（台） 50 50 50 干式真空泵需求量（台） 755.0 3,397.6 4,069.9 单价（万元 /台） 10 10 10 HJT+TOPCon 新增装机规模（亿元） 0.8 3.4 4.1 PERC 总产能 (GW) 385.4 495.9 522.0 PERC 新增产能 (GW) 136.0 110.5 26.0 每 GW 需干式真空泵（台） 60 60 60 PERC 干式真空泵需求量（台） 8,159.1 6,632.4 1,561.5 单价（万元 /台） 8 8 8 PERC 新增装机规模（亿元） 6.5 5.3 1.2 新增装机市场规模（亿元） 7.3 8.7 5.3 存量干式真空泵（台） 14,964.0 25,410.0 35,850.0 维修需求（亿元） 3.0 5.1 7.2 设备和维修总需求（亿元） 10.3 13.8 12.5 资料来源： CPIA，华安证券研究所 2.2 半导体真空泵市场：国产替代空间下的未来可期 随着全球半导体市场的稳步增长，干式真空泵在半导体领域的应用市场空间不断增长。 干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备，应用于单晶拉晶、 Load-Lock、刻蚀、 CVD、原子层沉积（ ALD）、封装、测试等清洁或严苛制程。根据 IC Insights 数据，2021 年全球晶圆产能 2.43 亿片（折算成 8 英寸），增长 8.5%，预计 2022 年将增长8.7%，达 2.64 亿片，新增晶圆开工量创历史新高，产能利用率有望维持在 93%的高水平。 敬请参阅末页重要声明及评级说明 15 / 30 证券研究报告 Table_CompanyRptType1 汉钟精机 （ 002158） 图表 21 芯片制备流程 图表 22 全球晶圆产能变化（百万片，折算成 8 寸晶圆） 资料来源： 电子发烧友 ，华安证券研究所 资料来源： Knometa Research， SIA, IC insights，华安证券研究所 2022 年全球半导体用干式真空泵市场将达 196.4 亿元，同比增长 9.3%。 我们参考IC insights 及中科仪招股书的数据，进行以下假设： （ 1）参考 IC insights 对全球晶圆产能数据，换算假设 2022 年晶圆月产能 976.3万片（ 12 英寸当量） ; （ 2） 12 英寸晶圆每 3.5 万片 /月产能需要约 2,000 台真空泵，其中，中真空干式真空泵 1,000-1,200 台； （ 3）存量干式真空泵每年更换 20%； （ 4）干式真空泵每年维修市场规模占设备市场规模 1/3。 经测算， 2022 年全球半导体用干式真空泵设备 /维修市场分别为 147.3/49.1 亿元，同比增长均为 9.3%。设备需求中，新增 /存量替换需求分别为 44.7/102.6 亿元，存量替换为大部分的市场需求来源。 图表 23 全球半导体用干式真空泵市场规模测算 资料来源： IC insights，中科仪招股说明书，华安证券研究所 2026 年我国 IC 市场 /生产规模分别为 2740/582 亿美元， 2021-2026 年CAGR8%/13.3%。 根据 IC insights 数据，我国大陆从 2005 年以来都是集成电路的第一大消费国， 2021 年我国大陆集成电路市场规模 1865 亿美元，占全球市场的 36.5%，但生产市场 312 亿美元，占全球 /我国大陆需求市场的 6.1%/16.7%，台积电、 SK 海力士、三星、英特尔、联电和其他在中国拥有晶圆厂的公司提供了我国市场的大部分产品。-10%-5%0%5%10