塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 中 微 V S 北 方 华 创 V S 泛 林 半 导 体 V S 应 用 材 料 半 导 体 设 备 产 业 链 深 度 梳 理 从 2 0 2 0 年 下 半 年 开 始 ， 半 导 体 产 能 紧 缺 的 问 题 就 开 始 发 酵 ， 从 手 机 电 源 管 理 芯 片 汽 车 芯 片 存 储 芯 片 ， 挨 个 开 始 涨 价 ， 德 国 整 车 厂 甚 至 写 联 名 信 ， 向 台 积 电 要 产 能 。 晶 圆 厂 扩 产 能 ， 核 心 就 是 要 做 设 备 采 购 。 半 导 体 设 备 行 业 ， 可 分 为 六 大 主 要 设 备 ， 按 投 资 额 占 比 由 大 到 小 ， 分 别 为 ： 光 刻 机 （ 3 0 % ） 、 刻 蚀 机 （ 2 0 % ） 、 镀 膜 设 备 （ 1 5 % ） 、 清 洗 设 备 （ 1 0 % ） 、 测 量 设 备 （ 1 0 % ） 、 离 子 注 入 设 备 （ 5 % ） 。 本 文 ， 重 点 研 究 刻 蚀 设 备 。 刻 蚀 设 备 所 在 的 半 导 体 产 业 链 ， 上 中 下 游 分 别 为 ： 上 游 为 设 备 和 原 材 料 供 应 商 。 国 内 设 备 代 表 公 司 有 ， 刻 蚀 机 ： 中 微 公 司 、 北 方 华 创 ； 镀 膜 设 备 ： 北 方 华 创 、 芯 微 源 ； 清 洗 设 备 ： 北 方 华 创 、 盛 美 股 份 、 至 纯 科 技 ； 测 量 设 备 ： 长 川 科 技 、 精 测 电 子 、 华 峰 测 控塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 中 游 为 晶 圆 制 造 厂 。 全 球 产 能 排 名 前 五 的 晶 圆 厂 依 次 是 ： 三 星 电 子 、 台 积 电 、 美 光 科 技 、 S K 海 力 士 、 铠 侠 ， 其 合 计 产 能 占 全 球 晶 圆 厂 总 产 能 的 5 0 % ， 是 半 导 体 设 备 的 主 要 采 购 方 ； 下 游 为 半 导 体 应 用 领 域 。 主 要 分 为 ： 集 成 电 路 、 光 电 子 器 件 、 分 立 器 件 、 传 感 器 等 四 大 类 终 端 应 用 ， 其 中 ， 集 成 电 路 为 主 要 应 用 终 端 ， 占 比 为 8 4 % ， 其 次 为 光 电 子 器 件 ， 占 比 9 塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 图 ： 半 导 体 产 业 链 来 源 ： 塔 坚 研 究塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 对 于 这 条 产 业 链 ， 有 几 个 值 得 我 们 深 入 思 考 的 问 题 ： 1 ） 半 导 体 设 备 产 业 链 ， 其 长 期 增 长 驱 动 力 是 什 么 ？ 短 期 受 什 么 因 子 扰 动 ？ 2 ） 中 微 公 司 V S 北 方 华 创 ， 它 们 的 竞 争 力 差 异 究 竟 在 哪 里 ？ 竞 争 力 的 核 心 指 标 ， 到 底 该 看 什 么 ？ （ 壹 ） 本 报 告 ， 我 们 选 取 应 用 材 料 V S 北 方 华 创 V S 泛 林 半 导 体 V S 中 微 公 司 V S 盛 美 股 份 V S 芯 源 微 ， 作 为 刻 蚀 设 备 代 表 性 公 司 进 行 对 比 。 从 收 入 结 构 来 看 ， 五 家 公 司 均 以 半 导 体 设 备 为 主 ， 但 侧 重 点 略 有 不 同塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 图 ： 收 入 结 构 来 源 ： 塔 坚 研 究 单 从 收 入 规 模 维 度 ： 泛 林 半 导 体 （ 1 0 3 3 . 5 亿 元 人 民 币 ） 应 用 材 料 （ 6 6 3 . 6 5 亿 元 人 民 币 ） 北 方 华 创 （ 4 0 . 5 8 亿 元 ） 中 微 公 司 （ 1 9 . 4 7 亿 元 ） 盛 美 股 份 （ 7 . 5 6 亿 元 ） 芯 源 微 （ 2 . 1 2 亿 元 ） 。 其 中 ： 北 方 华 创 V S 中 微 公 司 均 以 半 导 体 设 备 为 主 ， 前 者 产 品 覆 盖 面 广 ， 后 者 专 注 I C 刻 蚀 设 备 。 北 方 华 创 2 0 1 9 年 收 入 4 0 . 5 8 亿 元 ， 6 0 % 以 上 的 收 入 来 自 泛 半 导 体 设 备 ， 覆 盖 半 导 体 I C 、 L E D 、 光 伏 三 大 领 域 。 其 半 导 体 设 备 产 品 众 多 ， 包 括 刻 蚀 机 、 P V D 、 C V D 、 A L D 、 氧 化 / 扩 散 炉 、 清 洗 机 、 外 延 设 备 等 。 中 微 公 司 2 0 1 9 年 收 入 1 9 . 4 7 亿 元 ， 8 1 % 收 入 来 自 半 导 体 设 备 ， 其 余 为 半 导 体 设 备 配 件 。 其 以 半 导 体 I C 刻 蚀 设 备 起 家 ， 由 于 单 一 半 导 体 产 品 周 期 波 动 大 ， 而 后 拓 展 M O C V D 设 备 （ 用 于 L E D 外 延 片 生 长 ） 。 应 用 材 料 V S 泛 林 半 导 体 前 者 产 品 ， 基 本 覆 盖 晶 圆 制 造 过 程 中 除 光 刻 机 外 的 所 有 设 备 ； 后 者 以 刻 蚀 设 备 为 主塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 应 用 材 料 （ A M A T ） 2 0 1 9 财 年 收 入 1 4 6 . 0 8 亿 美 元 ， 以 泛 半 导 体 设 备 为 主 （ 包 括 ： 芯 片 、 光 伏 、 L E D ） ， 共 有 四 大 事 业 部 门 ： 半 导 体 设 备 （ 占 比 6 2 % ） 、 面 板 显 示 设 备 （ 1 1 % ） 、 服 务 （ 2 6 % ） 、 其 他 （ 1 % ） 。 泛 林 半 导 体 （ L R C X ） 2 0 1 9 财 年 收 入 9 6 . 5 4 亿 美 元 ， 1 0 0 % 来 自 半 导 体 I C 设 备 ， 未 披 露 产 品 收 入 结 构 ， 根 据 其 市 占 率 ， 我 们 倒 推 出 其 主 营 业 务 为 刻 蚀 设 备 ， 占 营 收 比 重 在 5 0 % 以 上 ， 其 余 为 半 导 体 清 洗 设 备 、 薄 膜 沉 积 设 备 等 。 芯 源 微 V S 盛 美 股 份 两 家 刻 蚀 设 备 专 用 于 先 进 封 装 （ 后 道 ） 。 盛 美 股 份 产 品 以 半 导 体 清 洗 设 备 为 主 （ 占 比 8 4 % ） ， 1 0 . 6 % 来 自 半 导 体 电 镀 设 备 ， 5 . 3 % 来 自 现 金 封 装 刻 蚀 设 备 （ 封 装 用 湿 法 刻 蚀 ， 晶 圆 制 造 用 干 法 刻 蚀 ， 其 中 技 术 差 异 ， 详 见 我 们 之 前 在 科 技 版 报 告 库 中 的 “ 刻 蚀 设 备 ” 一 篇 ， 此 处 不 详 述 ） 。 芯 源 微 产 品 以 光 刻 工 序 中 的 涂 胶 显 影 设 备 为 主 （ 占 比 6 4 % ） ， 1 2 . 2 6 % 来 自 封 装 用 湿 法 刻 蚀 设 备 ， 1 1 % 来 自 清 洗 机塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 从 半 导 体 I C 制 造 前 道 设 备 来 看 ， 应 用 材 料 、 北 方 华 创 基 本 覆 盖 除 光 刻 机 之 外 的 所 有 前 道 设 备 ； 泛 林 半 导 体 、 中 微 主 攻 刻 蚀 设 备 。 盛 美 以 清 洗 机 为 主 ， 芯 源 微 以 涂 胶 设 备 为 主 ， 两 家 公 司 刻 蚀 设 备 主 要 用 于 后 段 封 测 。 接 下 来 ， 我 们 从 2 0 2 0 年 3 季 报 数 据 ， 分 别 对 比 一 下 四 家 公 司 的 增 长 情 况 ： 图 ： 2 0 2 0 年 三 季 度 数 据 （ 单 位 ： 亿 元 人 民 币 、 % ） ， 来 源 ： 塔 坚 研 究 从 增 速 来 看 ， 北 方 华 创 中 微 公 司 应 用 材 料 泛 林 半 导 体 ， 盛 美 股 份 还 未 上 市 ， 无 三 季 度 数 据塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 泛 林 半 导 体 其 收 入 负 增 长 是 由 于 统 计 的 财 务 年 份 差 异 导 致 （ 2 0 2 0 财 年 三 季 报 的 报 告 期 为 2 0 1 9 / 1 2 / 2 9 - 2 0 2 0 / 0 3 / 2 9 ） ， 2 0 1 9 年 为 半 导 体 周 期 低 点 ， 晶 圆 厂 扩 产 需 求 较 低 。 单 看 2 0 2 1 财 年 1 季 报 （ 报 告 期 2 0 2 0 / 6 / 3 0 - 2 0 2 1 / 9 / 3 0 ） ， 其 营 业 收 入 同 比 增 长 4 6 . 7 % ， 净 利 润 同 比 增 长 7 6 . 7 9 % 。 其 增 长 主 要 来 自 于 中 国 晶 圆 厂 设 备 订 单 大 幅 增 加 ， 中 国 订 单 占 比 从 2 7 % 提 升 至 3 7 % ， 成 为 其 设 备 收 入 的 主 要 来 源 。 应 用 材 料 截 至 2 0 2 0 年 7 月 ， 营 业 收 入 约 8 1 3 . 4 1 亿 元 人 民 币 ， 同 比 增 长 1 5 . 2 9 % ， 净 利 润 1 6 1 . 7 2 亿 元 人 民 币 ， 同 比 增 长 2 3 . 9 % 。 其 增 长 主 要 来 自 于 中 国 、 韩 国 晶 圆 厂 的 大 规 模 扩 产 带 来 的 设 备 采 购 需 求 提 升 ， 分 地 域 来 看 ， 中 国 占 其 收 入 比 重 提 升 至 3 3 % ， 为 其 主 要 收 入 来 源 。 中 微 公 司 刻 蚀 设 备 为 业 绩 增 长 主 要 贡 献 ， L E D 设 备 拉 低 增 速 。 2 0 2 0 年 前 三 季 度 营 业 收 入 、 净 利 润 分 别 同 比 增 长 2 0 . 8 3 % 、 1 0 5 . 2 6 % 。 其 发 布 2 0 2 0 年 业 绩 预 告 ， 预 计 2 0 2 0 年 营 业 收 入 同 比 增 长 1 6 . 8 % ， 净 利 润 同 比 增 长 同 比 增 加 1 3 3 . 3 4 % 到 1 7 5 . 7 7 塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 其 中 ， 刻 蚀 设 备 收 入 增 长 约 5 8 . 5 % ， 但 M O C V D 设 备 收 入 下 降 约 3 8 . 5 % ， 刻 蚀 设 备 与 M O C V D 设 备 占 比 从 2 0 1 9 年 的 4 8 % / 5 2 % 变 为 2 0 2 0 年 的 7 0 % / 3 0 % 。 整 体 来 看 ， 半 导 体 设 备 成 长 性 更 强 。 北 方 华 创 光 伏 及 半 导 体 行 业 的 双 重 景 气 度 拉 动 其 业 绩 增 长 。 2 0 2 0 年 前 三 季 度 营 业 收 入 、 净 利 润 分 别 同 比 增 长 4 0 . 3 1 % 、 4 8 . 8 6 % 。 3 季 度 毛 利 率 下 降 ， 主 要 由 于 光 伏 设 备 占 比 增 高 。 分 业 务 来 看 ， 光 伏 及 锂 电 设 备 增 速 居 首 （ 7 5 % 以 上 ） ， 其 次 是 半 导 体 设 备 （ 2 8 . 7 7 % ） ， 再 次 是 电 子 元 件 （ 1 2 . 3 1 % ） 。 由 于 泛 林 半 导 体 报 告 期 比 其 他 公 司 早 半 年 ， 我 们 将 其 季 度 增 速 前 置 调 整 2 个 季 度 ， 能 够 发 现 ， 几 家 设 备 公 司 的 季 度 增 速 存 在 一 定 规 律 性 ， 与 半 导 体 行 业 周 期 波 动 较 为 一 致塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 图 ： 季 度 收 入 增 速 （ 单 位 ： % ） 来 源 ： 塔 坚 研 究 （ 贰 ） 好 ， 增 长 看 完 后 ， 我 们 再 来 看 回 报 对 比 ： 从 回 报 水 平 （ R O I C ） 来 看 ， 泛 林 半 导 体 应 用 材 料 盛 美 股 份 中 微 公 司 北 方 华 创 。 海 外 龙 头 回 报 水 平 基 本 在 国 内 两 大 设 备 公 司 的 5 - 6 倍塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 图 ： 回 报 数 据 （ 单 位 ： % ） 来 源 ： 塔 坚 研 究 回 报 的 差 异 ， 来 自 两 方 面 ： 1 ） 销 售 净 利 率 ； 2 ） 总 资 产 周 转 率 。 销 售 净 利 率 北 方 华 创 的 净 利 率 为 9 . 1 7 % ， 低 于 中 微 公 司 的 9 . 6 9 % 、 芯 源 微 的 1 3 . 7 3 % 、 盛 美 股 份 的 1 7 . 8 3 % 、 应 用 材 料 的 1 8 . 5 2 % 、 阿 斯 麦 的 2 1 . 9 3 % 、 泛 林 半 导 体 的 2 2 . 7 % 、 科 天 半 导 体 的 2 5 . 7 2 塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 单 看 各 家 半 导 体 芯 片 设 备 业 务 的 毛 利 率 ， 6 家 公 司 基 本 都 在 4 5 % 左 右 （ 半 导 体 设 备 行 业 基 本 毛 利 率 ） ， 导 致 综 合 净 利 率 有 差 异 ， 主 要 来 自 两 方 面 ： 1 ） 半 导 体 设 备 公 司 ， 除 了 芯 片 设 备 外 ， 普 遍 存 在 部 分 泛 半 导 体 设 备 拉 低 整 体 毛 利 率 的 情 况 ， 包 括 光 伏 、 L E D 、 面 板 设 备 等 ， 毛 利 率 基 本 在 3 5 % 左 右 。 涉 及 以 上 设 备 业 务 的 中 微 公 司 、 北 方 华 创 ， 毛 利 率 会 低 于 行 业 平 均 水 平 。 2 ） 收 入 体 量 较 小 ， 但 研 发 其 实 是 刚 性 的 ， 导 致 研 发 费 用 率 波 动 较 高 ， 如 中 微 公 司 ， 研 发 费 用 率 近 年 来 持 续 提 升 ， 从 5 . 8 % 上 升 至 2 0 2 0 年 三 季 度 的 1 4 % ， 海 外 半 导 体 公 司 稳 定 在 1 0 % 左 右 。 总 资 产 周 转 率 北 方 华 创 的 总 资 产 周 转 率 为 0 . 3 4 次 ， 低 于 中 微 公 司 的 0 . 4 7 次 、 应 用 材 料 的 0 . 7 9 次 、 泛 林 半 导 体 的 0 . 7 9 次 。 总 资 产 周 转 率 国 内 公 司 远 低 于 海 外 同 行 ， 主 要 原 因 是 存 货 周 转 率 较 低 。 国 内 设 备 厂 商 会 通 过 放 宽 设 备 使 用 验 证 期 来 吸 引 客 户 ， 导 致 其 大 量 销 售 设 备 在 客 户 验 证 阶 段 ， 这 类 机 器 作 为 存 货 占 比 较 高 ， 拉 低 了 周 转 率塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 但 是 北 方 华 创 与 应 用 材 料 相 比 ， 二 者 净 利 率 水 平 和 净 资 产 收 益 率 差 距 较 大 ， 由 于 应 用 材 料 的 总 资 产 周 转 率 几 乎 是 北 方 华 创 的 3 倍 ， 所 以 二 者 的 净 资 产 收 益 率 也 有 较 大 差 距 。 图 ： 杜 邦 因 素 拆 分 （ 单 位 ： % 、 次 ） 来 源 ： 塔 坚 研 究 （ 叁塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 半 导 体 设 备 行 业 ， 增 长 驱 动 力 主 要 来 自 于 下 游 产 能 的 扩 张 。 其 公 式 可 以 表 达 为 ： 刻 蚀 设 备 市 场 规 模 = 半 导 体 设 备 市 场 规 模 * 刻 蚀 设 备 占 比 ； 核 心 因 子 一 ： 全 球 半 导 体 设 备 的 市 场 规 模 。 2 0 1 8 年 - 2 0 2 0 年 Q 3 ， 全 球 半 导 体 设 备 市 场 规 模 分 别 为 5 7 2 . 2 亿 美 元 、 5 0 3 . 1 亿 美 元 ， 同 比 增 速 为 - 5 . 4 % 、 2 6 % 。 中 国 大 陆 、 中 国 台 湾 、 韩 国 地 区 成 为 全 球 半 导 体 设 备 采 购 主 力 ， 分 别 占 比 2 7 % 、 2 4 % 、 2 4 % ， 合 计 占 比 达 到 7 5 % ， 并 且 这 一 趋 势 还 在 加 速 。 从 前 三 季 度 设 备 采 购 同 比 增 速 来 看 ， 中 国 、 韩 国 同 比 增 速 达 到 5 0 % 、 5 7 % ， 而 北 美 、 欧 洲 增 速 分 别 为 - 1 6 % 、 - 7 % 。 从 上 述 趋 势 来 看 ， 未 来 东 亚 地 区 ， 是 半 导 体 设 备 的 主 要 市 场塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 图 ： 半 导 体 设 备 市 场 规 模 来 源 ： W I N D 半 导 体 设 备 的 销 售 规 模 ， 其 核 心 驱 动 因 素 是 晶 圆 加 工 厂 的 资 本 开 支 ， 而 晶 圆 加 工 厂 的 资 本 开 支 规 划 ， 有 两 个 因 素 决 定 ： 1 ） 管 理 层 对 半 导 体 行 业 周 期 景 气 度 的 判 断 ； 2 ） 产 业 转 移 带 来 的 机 会 。 首 先 ， 半 导 体 周 期 景 气 度 ， 目 前 到 了 什 么 位 置 ？ 半 导 体 当 前 出 现 紧 缺 严 重 ， 主 要 是 供 给 与 需 求 的 不 匹 配 导 致 。 其 传 导 路 径 如 下 ： 供 给 减 少 、 价 格 上 升 利 润 率 提 升 加 大 资 本 开 支 设 备 采 购 额 提 升塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 图 ： 半 导 体 周 期 传 导 图 来 源 ： 塔 坚 研 究 需 求 端 回 顾 2 0 2 0 年 ， 整 个 半 导 体 需 求 端 （ 除 L E D 外 ） 开 始 回 暖 ， 全 球 半 导 体 销 量 同 比 增 长 6 . 2 % ， 需 求 增 速 排 名 前 三 的 依 次 是 ， 存 储 芯 片 同 比 增 长 1 2 . 2 % 、 传 感 器 同 比 7 . 4 % 、 逻 辑 电 路 6 . 5 塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 图 ： 半 导 体 销 售 额 同 比 增 速 来 源 ： W I N D 半 导 体 集 成 电 路 下 游 需 求 主 要 有 四 大 类 ： 消 费 电 子 、 服 务 器 、 个 人 电 脑 、 汽 车 及 工 业 。 需 求 端 景 气 度 如 下 ： 1 ） 智 能 手 机 ， 中 等 景 气 。 2 0 2 0 年 全 球 共 销 售 1 3 . 4 亿 部 ， 同 比 下 降 2 . 2 8 % ， 5 G 手 机 销 量 3 . 2 6 亿 部 ， 渗 透 率 2 4 % 。 注 意 ， 虽 然 智 能 手 机 销 量 在 下 降 ， 5 G 手 机 的 硅 含 量 相 比 4 G 增 加 3 5 % ， 若 按 此 计 算 ， 智 能 手 机 对 半 导 体 需 求 为 正 向 拉 动 。 2 ） 服 务 器 及 P C ， 高 景 气 。 卫 生 事 件 导 致 在 家 办 公 及 宅 家 游 戏 风 潮 ， 拉 动 笔 记 本 电 脑 及 服 务 器 需 求 增 长 ， 分 别 同 比 增 加 1 5 % 、 3 . 8 塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 3 ） 汽 车 ， 高 景 气 。 全 球 共 销 售 汽 车 7 6 8 0 万 辆 ， 同 比 下 降 1 5 % ， 电 动 车 销 量 3 2 4 万 辆 ， 同 比 增 长 5 0 % 。 与 智 能 手 机 情 况 相 近 ， 虽 然 汽 车 销 量 在 下 降 ， 但 新 能 源 车 芯 片 用 量 是 燃 油 车 的 3 倍 ， 电 动 化 和 智 能 化 带 来 的 芯 片 用 来 大 幅 提 升 。 供 给 端 2 0 1 9 年 全 球 半 导 体 产 业 资 本 支 出 为 9 4 6 亿 美 元 ， 同 比 下 降 1 1 . 7 % 。 2 0 1 9 年 全 球 晶 圆 厂 扩 产 并 不 积 极 ， 导 致 2 0 2 0 年 半 导 体 行 业 整 体 产 能 出 现 下 滑 。 结 合 供 需 来 看 ， 问 题 来 了 需 求 高 景 气 ， 供 给 却 没 有 恢 复 ， 因 此 ， 半 导 体 景 气 度 上 升 有 迹 可 循 。 那 么 ， 未 来 两 年 ， 管 理 层 资 本 支 出 预 算 是 否 会 增 加 ？ 我 们 重 点 来 看 全 球 晶 圆 厂 产 能 排 名 前 8 （ 合 计 占 全 球 总 产 能 6 0 % 以 上 ） 的 厂 商 ： 1 ） 中 国 台 积 电 。 2 0 2 1 年 资 本 支 出 预 计 2 5 0 亿 美 元 至 2 8 0 亿 美 元 ， 同 比 增 加 3 8 % - 5 4 % ， 其 中 8 0 % 用 于 3 n m 、 5 n m 、 7 n m 先 进 制 程 ， 1 0 % 将 投 向 特 殊 制 程 工 艺 ， 1 0 % 将 投 向 先 进 封 装 等 领 域塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 2 ） 三 星 电 子 。 2 0 2 1 年 计 划 资 本 支 出 增 加 2 0 % ， 金 额 约 2 9 6 亿 美 元 ， 其 中 6 8 % 用 来 投 资 存 储 芯 片 ， 3 2 % 用 来 逻 辑 芯 片 代 工 。 预 计 到 2 0 2 1 年 N A N D 增 加 月 产 能 达 7 . 3 - 8 . 5 万 片 ， D R A M 增 加 3 万 片 产 能 。 3 ） 美 光 / 海 力 士 。 美 光 2 0 2 1 年 资 本 支 出 预 计 8 2 亿 美 元 ， 同 比 增 加 1 0 % 至 9 0 亿 美 元 ， 预 计 到 2 0 2 1 年 D R A M 同 比 增 长 1 5 % 1 9 % ， N A N D 同 比 增 长 3 0 % 。 海 力 士 由 于 利 润 下 滑 ， 预 计 下 修 资 本 支 出 ， 2 0 2 1 年 投 资 主 要 用 来 技 术 升 级 。 4 ） 铠 侠 （ 原 东 芝 存 储 器 ） 。 存 储 器 I C 供 应 商 以 前 是 ， 计 划 扩 大 生 产 规 模 ， 重 点 在 3 D N A N D 闪 存 。 5 ） 英 特 尔 / 台 联 电 / 格 芯 （ G l o b a l F o u n d r y ） 。 联 电 格 芯 均 上 修 资 本 支 出 ， 重 点 在 先 进 制 程 扩 产 ， 英 特 尔 资 本 支 出 与 2 0 2 0 年 相 近 ， 用 于 突 破 先 进 制 程 ， 其 3 n m 预 计 转 单 台 积 电 。 结 合 以 上 信 息 ， 可 以 推 断 ， 半 导 体 行 业 景 气 度 已 经 位 于 较 高 水 平 ， 管 理 层 基 本 都 采 取 了 积 极 的 扩 产 态 度 。 从 前 五 大 厂 商 来 看 ， 未 来 1 年 扩 产 重 点 在 两 方 面 ： 1 ） 先 进 制 程 ； 2 ） 3 D N A N D 。 我 们 预 计 ， 2 0 2 0 年 - 2 0 2 1 年 全 球 半 导 体 设 备 投 资 额 分 别 同 比 增 长 2 3 % 、 1 2 % ， 预 计 从 2 0 2 2 年 开 始 ， 随 着 供 应 爬 坡 ， 景 气 度 开 始 下 降塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 图 ： 全 球 半 导 体 设 备 投 资 额 来 源 ： 塔 坚 研 究 具 体 来 看 国 内 半 导 体 产 业 ， 由 于 国 内 晶 圆 厂 的 产 能 和 资 本 支 出 规 划 主 要 受 到 政 策 、 产 业 转 移 的 影 响 。 我 们 分 开 测 算 。 根 据 广 发 证 券 ， 国 内 晶 圆 厂 近 三 年 建 设 带 来 的 设 备 需 求 预 计 约 为 1 8 0 亿 美 元 、 2 6 4 亿 美 元 、 3 5 3 亿 美 元 ， 增 速 分 别 为 3 3 . 7 % 、 4 7 . 0 % 、 3 3 . 6 % 。 短 期 内 ， 晶 圆 厂 扩 张 仍 以 存 储 芯 片 、 低 端 制 程 逻 辑 芯 片 为 主 。 在 建 项 目 中 ， 产 能 扩 张 幅 度 有 大 至 下 依 次 是 ： 3 D N A N D D R A M 逻 辑 芯 片 。 其 中 ， 长 江 存 储 （ 以 3 D N A N D 为 主 ） 、 合 肥 长 鑫 （ 3 D N A N D 为 主 ） 、 中 芯 国 际 （ 低 端 制 程 为 主 ） 、 紫 光 存 储 （ 3 D N A N D 为 主 ） ， 士 兰 微 、 华 润 微 、 中 车 时 代 等 主 要 以 功 率 半 导 体 、 传 统 制 程 为 主塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 图 ： 国 内 已 建 已 规 划 1 2 英 寸 产 能 格 局 来 源 ： 浙 商 证 券 图 ： 国 内 已 建 已 规 划 8 英 寸 产 能 格 局 来 源 ： 浙 商 证 券 综 上 ， 未 来 两 年 的 设 备 支 出 ， 海 外 重 点 看 先 进 制 程 、 存 储 带 来 的 设 备 投 入 ， 国 内 重 点 存 储 芯 片 厂 扩 张 带 来 的 设 备 投 入 。 图 ： 国 内 半 导 体 市 场 规 模 测 算 来 源 ： 塔 坚 研 究塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 看 完 半 导 体 设 备 整 体 投 资 额 的 增 速 后 ， 我 们 再 细 分 来 看 刻 蚀 设 备 。 （ 肆 ） 核 心 因 子 二 ： 刻 蚀 设 备 占 设 备 投 资 额 比 重 。 一 般 情 况 下 ， 新 晶 圆 投 建 或 老 厂 房 的 C A P E X ， 绝 大 部 分 是 设 备 采 购 ， 约 占 总 投 入 的 7 0 - 8 0 % 。 其 中 ， 光 刻 （ 2 0 % ） 刻 蚀 （ 2 0 % ） 薄 膜 沉 积 （ 1 5 % ） 前 道 检 测 （ 1 0 % ） 清 洗 （ 7 % ） 。 根 据 上 文 结 论 ， 未 来 1 - 2 年 晶 圆 厂 C A P E X 重 点 在 ： 1 ） 先 进 制 程 ； 2 ） 存 储 。 我 们 一 一 来 分 析 。 先 进 制 程 方 面 ， 在 E U V 光 刻 机 市 场 化 前 ， 由 于 D U V 光 刻 机 的 光 源 精 度 不 足 ， 想 要 继 续 提 升 制 程 ， 需 要 采 用 “ 多 次 曝 光 ” 技 术 ， 导 致 刻 蚀 设 备 、 薄 膜 沉 积 设 备 使 用 量 大 幅 增 加塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 从 具 体 数 据 来 看 ， 刻 蚀 设 备 在 晶 圆 产 线 的 价 值 占 比 ， 从 2 0 1 1 年 大 约 1 3 % 上 升 到 2 0 1 7 年 的 2 4 % 左 右 ， 而 光 刻 机 的 价 值 占 比 从 大 约 3 3 % 下 滑 到 2 1 % 左 右 ， 薄 膜 沉 积 （ C V D ） 设 备 从 1 1 % 提 升 至 1 6 % 左 右 。 图 ： 各 类 设 备 占 晶 圆 厂 价 值 占 比 来 源 ： 华 创 证 券 从 半 导 体 全 行 业 维 度 来 看 ， 随 着 阿 斯 麦 的 E U V 光 刻 机 突 破 现 有 的 技 术 瓶 颈 后 ， 对 刻 蚀 设 备 的 要 求 会 有 所 下 降 ， 因 此 ， 理 论 上 需 求 也 会 有 所 下 降 ， 但 需 要 注 意 的 是 ， 国 产 刻 蚀 设 备 的 逻 辑 相 反 。 国 内 方 面 ， 受 制 于 宏 观 情 况 ， 大 陆 晶 圆 厂 较 难 采 购 E U V 光 刻 机 ， 因 此 ， 逻 辑 芯 片 领 域 ， 对 刻 蚀 设 备 的 需 求 量 仍 较 大塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 国 内 刻 蚀 设 备 占 比 的 提 升 的 驱 动 ， 主 要 来 自 于 存 储 制 造 ， 国 内 存 储 扩 产 主 要 为 N A N D ， 其 中 3 D N A N D 随 着 层 数 翻 倍 ， 导 致 刻 蚀 设 备 占 比 存 在 向 上 的 可 能 性 。 在 闪 存 制 造 工 艺 中 ， 晶 圆 厂 通 过 增 加 叠 堆 层 数 ， 来 提 升 提 高 性 能 。 从 2 D N A N D 3 D N A N D ， 再 从 3 2 层 3 D N A N D 6 4 层 1 2 8 层 过 渡 过 程 中 ， 每 增 加 一 层 ， 都 需 要 增 加 刻 蚀 步 骤 。 根 据 东 京 电 子 ， 2 D N A N D 刻 蚀 设 备 占 设 备 成 本 比 重 为 1 6 % ， 而 到 了 3 D N A N D ， 刻 蚀 设 备 占 比 达 到 4 9 % 。 全 球 第 二 大 N A N D 制 造 商 K I O X I A （ 铠 侠 ） 指 出 ： “ 3 D N A N D i s e t c h d r i v e n ” ， 即 3 D N A N D 受 刻 蚀 驱 动 。 来 源 ： 东 京 电 子 、 国 融 证 券塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 综 上 ， 全 球 刻 蚀 设 备 市 场 规 模 ， 未 来 五 年 从 1 1 9 亿 美 元 增 长 至 2 1 1 亿 美 元 ， 五 年 复 合 增 速 1 2 % ， 其 中 3 D N A N D 刻 蚀 设 备 复 合 增 速 1 8 % ， D R A M 刻 蚀 设 备 复 合 增 速 1 2 % ， 逻 辑 芯 片 刻 蚀 设 备 2 % 。 图 ： 刻 蚀 设 备 市 场 规 模 来 源 ： 塔 坚 研 究 国 内 刻 蚀 设 备 市 场 规 模 ， 未 来 五 年 从 2 5 亿 美 元 增 长 至 6 6 亿 美 元 ， 五 年 复 合 增 速 2 1 % ， 其 中 存 储 刻 蚀 设 备 复 合 增 速 2 5 % ， 逻 辑 设 备 增 速 1 9 % 。 图 ： 国 内 刻 蚀 设 备 市 场 规 模 来 源 ： 塔 坚 研 究塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 研 究 至 此 ， 我 们 可 以 发 现 ， 因 此 ， 国 内 刻 蚀 设 备 ， 远 期 总 体 增 速 能 够 达 到 2 1 % ， 其 中 ， 存 储 客 户 的 增 速 更 快 ， 因 此 ， 在 刻 蚀 设 备 中 ， 得 存 储 客 户 者 得 天 下 。 （ 伍 ） 短 期 高 频 指 标 ， 我 们 分 别 采 用 D X I 指 数 、 N A N D 现 货 价 格 、 半 导 体 设 备 出 货 量 、 下 游 景 气 度 等 多 个 维 度 进 行 追 踪 。 以 上 ， 仅 为 本 报 告 部 分 内 容 , 仅 供 试 读 。 如 需 获 取 本 报 告 全 文 及 其 他 更 多 内 容 ， 请 订 阅 科 技 版 报 告 库 。 一 分 耕 耘 一 分 收 获 ， 只 有 厚 积 薄 发 的 硬 核 分 析 ， 才 能 在 关 键 时 刻 洞 见 未 来 。 订 阅 方 法 长 按 下 方 二 维 码 ， 一 键 订 阅 扫 码 了 解 核 心 产 品 - 科 技 版 报 告 库 了 解 更 多 ， 可 咨 询 工 作 人 员 ： b g y s y x m 2 0 1 8塔坚发布于 2 0 2 1 - 3 - 2 财务分析专业研究机构 【 版 权 与 免 责 声 明 】 1 ） 版 权 声 明 ： 版 权 所 有 ， 违 者 必 究 ， 未 经 许 可 不 得 以 任 何 形 式 翻 版 、 拷 贝 、 复 制 、 传 播 。 2 ） 尊 重 原 创 声 明 ： 如 报 告 内 容 有 引 用 但 未 标 注 来 源 ， 请 随 时 联 系 我 们 ， 我 们 会 删 除 、 更 正 相 关 内 容 。 3 ） 内 容 声 明 ： 我 们 只 负 责 财 务 分 析 、 产 业 研 究 ， 内 容 不 支 持 任 何 形 式 决 策 依 据 ， 也 不 支 撑 任 何 形 式 投 资 建 议 。 本 文 是 基 于 公 众 公 司 属 性 ， 根 据 其 法 定 义 务 内 向 公 众 公 开 披 露 的 财 报 、 审 计 、 公 告 等 信 息 整 理 ， 不 为 未 来 变 化 做 背 书 ， 未 来 发 生 任 何 变 化 均 与 本 文 无 关 。 我 们 力 求 信 息 准 确 ， 但 不 保 证 其 完 整 性 、 准 确 性 、 及 时 性 。 所 有 内 容 仅 服 务 于 行 业 研 究 、 学 术 讨 论 需 求 ， 如 为 股 市 相 关 人 士 ， 请 务 必 取 消 对 本 号 的 关 注 。 4 ） 阅 读 权 限 声 明 ： 我 们 仅 在 公 众 平 台 仅 呈 现 部 分 报 告 内 容 ， 标 题 内 容 格 式 均 自 主 决 定 ， 如 有 异 议 ， 请 取 消 对 本 号 的 关 注 。 5 ） 主 题 声 明 ： 鉴 于 工 作 量 巨 大 ， 仅 覆 盖 部 分 重 点 行 业 及 案 例 ， 不 保 证 您 需 要 的 行 业 都 能 覆 盖 ， 也 不 接 受 私 人 咨 询 和 问 答 ， 请 谅 解 。 6 ） 平 台 声 明 ： 所 有 内 容 以 微 信 平 台 为 唯 一 出 口 ， 不 为 任 何 其 他 平 台 内 容 负 责 ， 对 仿 冒 、 侵 权 平 台 ， 我 们 保 留 法 律 追 诉 权 力 。 【 数 据 支 持 】 部 分 数 据 ， 由 以 下 机 构 提 供 支 持 ， 特 此 鸣 谢 国 内 市 场 ： W i n d 数 据 、 东 方 财 富 C h o i c e 数 据 、 理 杏 仁 ； 海